ICS_13.040.35
C 70
GE
中华人民共和国国家标准
GB/T25915.3—2010/ISO14644-3:2005
洁净室及相关受控环境第3部分：检测方法
Cleanrooms and associated controlled environments-
Part 3:Test methods
(ISO14644-3.2005,IDT)
2011-05-01实
2011-01-14发布
中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局
中国国家标准化管理委员会 发布 GB/T25915.3—2010/ISO14644-3:2005
目 次
前言引言 1 范围
I
规范性引用文件 3 术语和定义 3.1 一般术语 3.2 空气悬浮粒子测量 3.3 空气过滤器和过滤系统 3. 4 气流 3.5 静电测量 3. 6 测量器具和测量条件 3.7 占用状态 4检测规程
2
4
4.1 洁净室检测 4.2原理 5检测报告附录A（资料性附录） 检测项目的选择和实施顺序附录B（资料性附录） 检测方法附录C（资料性附录） 检测仪器参考文献
C
10
13 40 53 GB/T 25915.3—2010/ISO14644-3:2005
前言
GB/T25915《洁净室及相关受控环境》分为八个部分：
第1部分：空气洁净度等级；第2部分：证实持续符合GB/T25915.1的检测与监测技术要求；
.第3部分：检测方法
第4部分：设计、建造、启动；第5部分：运行；第6部分：词汇；第7部分：隔离装置（洁净风罩、手套箱、隔离器、微环境）；第8部分：空气分子污染分级。
本部分是GB/T25915的第3部分。 本部分按照GB/T1.1-一2009给出的规则起草。 本部分使用翻译法等同采用ISO14644-3：2005《洁净室及相关受控环境第3部分：检测方法》。 本部分由全国洁净室及相关受控环境标准化技术委员会（SAC/TC319)提出并归口。 本部分由苏州尚科洁净技术有限公司、上海科信检测科技有限公司、北京市产品质量监督检验所负
责起草，苏州英德尔室内空气技术有限公司、北京控制工程研究所、苏州克林络姆空调系统工程有限公司、苏州工业园区宏基洁净科技有限公司、苏州高科净化有限责任公司、净微（苏州）科技有限公司、莱特浩斯仪器（苏州）有限公司、深圳金开利环境科技有限公司参加起草。
本部分主要起草人：吴俊民、涂光备、丁卫敏、张利群、蔡杰、陈思源、张训彪、严勤丰、边炳秀、郭良、 徐伟。 GB/T25915.3—2010/ISO14644-3:2005
引言
洁净室及相关受控环境将空气污染物控制在合适的水平，以便完成对污染敏感的工作。航天、微电子、制药、医疗器械、食品、医疗等行业的产品和工艺受益于对空气污染的控制。
GB/T25915的本部分给出了对GB/T25915其他各部分所介绍并规定的洁净室特征进行检测的方法。
注：本部分并未包括所有洁净室参数的检测规程。涉及特定产品和特定工艺的洁净室和洁净区及相关参数的检测
规程和所用仪器，在SAC/TC319编制的其他文件中讨论[例如，对活物质的控制与检测规程（GB/T25916)，洁净室功能性检测（GB/T25915.4—2010)J，隔离装置检测(GB/T25915.72010)。此外，洁净室的检测活动中也可以考虑采用其他适用标准。
GB/T25915的本部分的陈述中参照了美国材料与试验协会（ASTM)，欧洲标准化委员会（CEN)，德国标准化协会（DIN），美国环境科学技术学会（IEST），日本空气洁净协会（JACA），日本工业标准 (JIS)和国际半导体制造协会（SEMI)等团体编制的标准。
Ⅱ GB/T25915.32010/IS014644-3:2005
洁净室及相关受控环境第3部分：检测方法
警告—GB/T25915的本部分的应用可能涉及有害材料、作业和设备。GB/T25915的本部分未提及与应用有关的所有安全性问题。使用前，GB/T25915本部分的用户有责任制定适当的安全和卫生措施，并遵守各种强制性规定。
1范围
GB/T25915的本部分规定了洁净室和洁净区空气悬浮粒子洁净度等级的检测方法，以及洁净室和洁净区性能的检测方法。性能检测针对是空态、静态和动态3种可能的占用状态下的单向流和非单向流型式洁净室和洁净区。本文件推荐了测定性能参数用检测仪器和检测规程。某些检测方法受限于洁净室或洁净区的类型，为此，本文件推荐了若干替代方法。为了满足不同用户的要求，对于某些检测项目，本文件推荐了几种不同的方法和仪器。若需方与供方协商同意，也可以使用本部分未介绍的其他替代方法。替代方法未必给出相同的测量结果。
本部分不适用于测量洁净室或隔离装置内的产品或工艺，
2规范性引用文件
下列文件对于本文件的应用是必不可少的。凡是注日期的引用文件，仅注日期的版本适用于本文件。凡是不注日期的引用文件，其最新版本（包括所有的修改单）适用于本文件。
GB/T25915.1一2010洁净室及相关受控环境第1部分：空气洁净度等级（ISO14644-1：1999， IDT)
GB/T25915.2—2010 洁净室及相关受控环境 意第2部分：证明持续符合GB/T25915.1的检测与监测技术要求（ISO14644-2：2000，IDT）
GB/T25915.4一2010洁净室及相关受控环境 重第4部分：设计、建造、启动（ISO14644-4：2001， IDT)
ISO7726:1998 热环境人体功效学物理量测量仪器
3术语和定义
下列术语和定义适用于本文件。 3.1一般术语 3. 1. 1
洁净室cleanroom 空气悬浮粒子浓度受控的房间，其建造和使用方式使房间内进人的、产生的、滞留的粒子最少
内温度、湿度、压力等其他相关参数按要求受控。
[GB/T25915.1—2010,2.1.1] GB/T25915.3—2010/IS014644-3:2005
3.1.2
洁净区cleanzone 空气悬浮粒子浓度受控的专用空间，其建造和使用方式使区内进人的、产生的、滞留的粒子最少，区
内温度、湿度、压力等其他相关参数按要求受控。
注：洁净区可以是开放的或封闭的；在也可不在洁净室内。 ［GB/T25915.1—2010,2.1.2]
3.1.3
设施installation 连同所有建筑结构、空气处理系统以及服务、公用系统的洁净室，或一个或数个这样的洁净区。 注：改写GB/T25915.12010，定义2.1.3。
3. 1. 4
隔离装置separativedevice 采用构造和动力学方法在确定的容积内外创建可靠隔离水平的设备。 注：某些行业专用隔离装置有：洁净风罩、隔离箱、手套箱、隔离器、微环境，
3.2空气悬浮粒子测量 3.2.1
气溶胶发生器aerosolgenerator 能以加热、液压、气动、超声波、静电等方式生成浓度恒定、粒径范围适当的（例如0.05μm～2μm）
微粒物质的器具。 3.2.2
空气悬浮粒子airborneparticle 悬浮在空气中、活或非活、固体或液体、粒径（对GB/T25915的本部分而言）1nm100μm的
粒子。
注：用于洁净度等级的，参见GB/T25915.1—2010，2.2.1。 3.2.3
数量中值粒径 count median particle diameter CMD 按粒径排列粒子时，处于中位数的粒子的粒径值。 注：占一半数量的粒子其粒径小于数量中值粒径，占另一半数量的粒子其粒径大于该数量中值粒径。
3.2.4
大粒子 macroparticle 当量直径大于5um的粒子，［GB/T25915.1--2010,2.2.6
3.2.5
M描述符Mdescriptor 每立方米空气中大粒子的实测或规定浓度。M描述符中的当量粒径与测量方法有关。 注：M描述符可作为采样点平均浓度上限（或置信上限，该值随洁净室或洁净区性能测定采样点数量而定）。不能
用M描述符规定悬浮粒子洁净度等级，但可将其单独或随洁净度等级引述。 [GB/T25915.1—2010,2.3.2]
3.2.6
质量中值粒径 mass median particle diameter MMD 按质量排列粒子时，处于中位数的粒子的粒径值。 注：占全部粒子质量一半的粒子其粒径小于质量中值粒径，占另一半质量的粒子其粒径大于该中值粒径。 2 GB/T25915.3-2010/ISO14644-3.2005
3.2.7
粒子浓度particleconcentration 单位体积空气中粒子的个数。 [GB/T25915.1—2010,2.2.3]
3.2.8
粒径particlesize 给定的粒径测量仪器所显示的、与被测粒子的响应量相当的球形体直径。 注：离散粒子计数器给出的是当量光学粒径。 [GB/T25915.1—2010,2.2.2]
3.2.9
粒径分布 5particle sizedistribution 粒子按粒径累计得出的浓度。 [GB/T25915.1—2010,2.2.4]
3.2.10
测试气溶胶testaerosol 具有已知并受控的粒径分布及浓度的固体和（或）液体粒子的气态悬浮物。
3.2.11
U描述符 Udescriptor 包括超微粒子在内的、每立方米空气粒子的实测或规定浓度。 注：U描述符可作为采样点平均浓度上限（或暨信上限，该值随洁净室或洁净区性能测定采样点数量而定）。不能
用U描述符确定空气洁净度等级，但可将其单独或随洁净度等级引述。 [GB/T25915.1—2010,2.3.1]
3.2.12
超微粒子ultrafineparticle 当量直径小于0.1μm的粒子。 [GB/T25915.1—2010,2.2.5]
3.3空气过滤器和过滤系统 3. 3. .1
气溶胶发尘aerosolchallenge 对过滤器和已装过滤系统施用检测气溶胶的过程。
3.3.2
渗漏限值designated leak 需方与供方商定的、可用离散粒子计数器或气溶胶光度计扫描测出的设施渗漏最大允许透过率。
3.3.3
稀释装置 dilution system 按已知容积比将气溶胶与无粒子稀释空气混合，以降低气溶胶浓度的装置。
3.3.4
过滤系统 filtersystem 由过滤器、安装架及其他支撑装置或箱体组成的系统。
3.3.5
末端过滤器 finalfilter 空气进入洁净室之前最末端位置上的过滤器。 GB/T25915.32010/ISO14644-3:2005
3.3.6
已装过滤系统installedfiltersystem 已安装在顶棚、侧墙、装置、风管上的过滤系统。
3.3.7
已装过滤系统检漏installedfiltersystemleakagetest 为确认过滤器安装良好，向设施内无旁路渗漏，过滤器及其安装框架均无缺陷和渗漏而进行的检测，
3.3.8
渗漏leak （过滤系统）因密封性欠佳或缺陷使污染物漏出，造成下风向浓度超过预期值。
3.3.9
扫描 scanning 让气溶胶光度计或离散粒子计数器的采样口覆盖面，以略有重叠的往复行程移过规定的检测区来
查找过滤器及其他部件渗漏的方法。 3.3.10
标准渗漏透过率 standardleakpenetration 离散粒子计数器或气溶胶光度计的采样头停顿在渗漏处，以标准采样流量测得的渗漏透过率。 注：透过率为过滤器下风向与上风向粒子浓度之比。
3.4气流 3.4.1
换气次数airexchangerate 单位时间的换气值，以单位时间送人的空气体积除以该空间的体积计算。
3.4.2
平均风量 taverage air flowrate 单位时间内通过的平均空气容积，可据此确定洁净室或洁净区的换气次数。 注：风量的单位为立方米每小时（m*/h)。
3.4.3
测量平面 measuringplane 用来检测或测量风速等性能参数的横断面。
3.4.4
非单向流 non-unidirectionalairflow 送人洁净区的空气以诱导方式与区内空气混合的一种气流分布。 ［GB/T25915.4—2010,3.6]
3.4.5
送风量 supplyairflowrate 单位时间内从末端过滤器或风管送人设施的体积空气量。
3.4.6
总风量 total airflowrate 单位时间内通过设施某断面的体积空气量。
3.4.7
单向流 unidirectional airflow 通过洁净区整个断面、风速稳定、大致平行的受控气流。 注：这种气流可定向清除洁净区的粒子。 [GB/T25915.4—2010,3.11] 4