ICS 13.040.35
GB CCS C 70
中华人民共和国国家标准
GB/T 25915.2—2021/ISO 14644-2:2015
代替GB/T 25915.2—2010
洁净室及相关受控环境
第 2 部分∶洁净室空气粒子浓度的监测Cleanrooms and associated controlled environments—Part 2: Monitoring to provide evidence of cleanroom performance related to air cleanliness by particle concentration
(ISO 14644-2:2015,IDT)
2022-03-01实施
2021-08-20发布
国家市场监督管理总局发布
国家标准化管理委员会
GB/T 25915.2—2021/ISO 14644-2:2015
洁净室及相关受控环境
第2部分∶洁净室空气粒子浓度的监测
1 范围
本文件规定了监测计划的基本要求。这个监测计划依据所测量的空气中悬浮粒子浓度或对其有影响的其他参数，监测洁净室或洁净区按粒子浓度划分的空气洁净度方面的性能。
本文件适用于粒径0.1 μm～5 μm 粒子浓度的监测。
本文件不适用于振动或工程系统一般维护等监测。超细粒子（小于0.1 μm 的粒子）浓度的监测，将在另一个标准中规定。
2 规范性引用文件
下列文件中的内容通过文中的规范性引用而构成本文件必不可少的条款。其中，注日期的引用文件，仅该日期对应的版本适用于本文件;不注日期的引用文件，其最新版本（包括所有的修改单）适用于本文件。
GB/T 25915.1—2021 洁净室及相关受控环境 第1部分∶按粒子浓度划分空气洁净度等级(ISO 14644-1:2015,MOD)
注∶GB/T 25915.1—2021被引用的内容与ISO 14644-1∶2015 被引用的内容没有技术上的差异。
3 术语和定义
GB/T 25915.1—2021界定的以及下列术语和定义适用于本文件。3.1
检测 test
为确定设施或其某个组成部分的性能，按规定方法实施的程序。3.2
监测 monitoring
为证明设施性能，按规定的方法和计划进行的测量。
注 1∶监测可以是连续的、间歇的或定期的，如是定期的，要规定频度。注2;监测信息可用于动态趋势的观察，提供过程支撑。3.3
干预值 action level
用户设定的参数值，当超过该值时，需要立即干预，查明原因并采取纠正措施。3.4
预警值 alert level
用户设定的参数值，偏离正常条件时可给出早期预警。当超过该值时，宜加强关注或采取纠正措施。