ICS 01.040.13;13.040.35 C 70
GB
中华人民共和国国家标准
GB/T25915.6—2010/ISO14644-6:2007
洁净室及相关受控环境
第6部分：词汇
Cleanrooms and associated controlled environments-
Part 6:Vocabulary
（ISO14644-6:2007,IDT)
2011-05-01实施
2011-01-14发布
HO
中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局中国国家标准化管理委员会
发布
数码防伪 GB/T25915.6—2010/ISO14644-6:2007
目 次
前言引言 1范围 2术语和定义参考文献索引
II V
17 18 GB/T25915.6—2010/ISO14644-6:2007
前 言
GB/T25915《洁净室及相关受控环境》包含八个部分：
第1部分：空气洁净度等级；第2部分：证实持续符合GB/T25915.1的检测与监测技术要求；第3部分：检测方法；第4部分：设计、建造、启动；第5部分：运行；第6部分：词汇；第7部分：隔离装置（洁净风罩、手套箱、隔离器、微环境）；第8部分：空气分子污染分级。
本部分是GB/T25915的第6部分本部分按照GB/T1.1一2009给出的规则起草。 本部分使用翻译法等同采用ISO14644-6：2007《洁净室及相关受控环境第6部分：词汇》。 本部分由全国洁净室及相关受控环境标准化技术委员会（SAC/TC319)提出并归口。 本部分由苏州市洁净室科技促进中心、中国电子学会洁净技术分会、深圳市标准化研究院负责起
草，江苏姑苏净化科技有限公司、浙江盾安机电科技有限公司、北京世源希达工程技术公司、深圳市兴科净机电工程有限公司、中国石化集团上海工程有限公司、烟台宝源净化有限公司、燕山大学建筑工程与力学学院、爱思克空气系统产品（苏州有限公司、德州艾荷过滤设备有限公司参加起草。
本部分主要起草人：王尧、陈刚、缪德骅、涂有、乐细明、耿佐力、章洪伟、陈绍丽、尤荣法、欧阳建、 曾世清、杨长治、于自强、刘之媛、张勇、王大千。 GB/T25915.6—2010/ISO14644-6:2007
引言
为了完成对污染敏感的活动，洁净室及相关受控环境将空气悬浮粒子污染控制在适当的水平。产品或工艺受益于空气粒子物污染控制的领域有：航天、微电子、制药、医疗器械、食品、医疗等行业。 GB/T25915.6—2010/ISO14644-6:2007
洁净室及相关受控环境
第6部分：词汇
范围
1
GB/T25915的本部分给出了洁净室和相关受控环境有关的术语和定义，是本系列标准其他部分出现的术语和定义的汇总。本部分也包括了GB/T25916.1和GB/T25916.2中的术语和定义。
2术语和定义
2. 1
6个月6months 动态（2.97)运行的整个期间，定期复检的平均间隔不超过183d，最长间隔不超过190d的周期。 [GB/T25915.2—2010,3.2.3]
2.2
12个月 12months 动态（2.97)运行的整个期间，定期复检的平均间隔不超过366d，最长间隔不超过400d的周期。 [GB/T25915.2—2010,3.2.4]
2. 3
24个月 24months 动态（2.97)运行的整个期间，定期复检的平均间隔不超过731d，最长间隔不超过800d的周期。 [GB/T25915.2—2010,3.2.5]
2. 4
介入器具 accessdevice 操作隔离装置（2.118)内工艺、工器具或产品的用具。 [GB/T25915.7—2010,3.1]
2.5
酸acid 以接收电子对并建立新化学键为化学反应特性的物质。 [GB/T25915.8—2010,3.2.1]
2.6
（普通）干预值 actionlevel(general) 用户在受控环境(2.45)中设定的量值。超过该值时，需立即进行干预，包括查明原因及纠正行动
(2.46)。
[GB/T25915.7—2010,3.2;GB/T25916.1—2010,3.1.1]
2.7
（微生物）干预值actionlevel（microbiological）用户在受控环境（2.45)中设定的微生物量值。超过该值时，需立即进行干预，包括查明原因及纠正
行动(2.46）。
[GB/T25916.2—2010,3.1]
1 GB/T25915.6—2010/ISO14644-6:2007
2. 8
气溶胶发尘aerosolchallenge 对过滤器和已装过滤系统(2.83)施用检测气溶胶(2.131)的过程。 [GB/T25915.3—2010,3.3.1]
2. 9
气溶胶发生器 aerosolgenerator 能以加热、液压、气动、超声波、静电等方式生成浓度恒定、粒径范围适当的（例如0.05μm～2μm）
微粒物质的器具。
[GB/T25915.3—2010,3.2.1] 2. 10
气溶胶光度计 aerosolphotometer 利用光散射原理、用前散射光腔测量空气悬浮粒子（2.13）质量浓度的仪器 『GB/T25915.3 2010,3.6.1
2. 11
换气次数 air exchange rate 单位时间的换气值，以单位时间送人的空
气体你
[GB/T25915.32010,3.4.1] 2. 12
空气分子污染 airborne molecular contamination AMC 以气态或汽态存在于洁净室（2.33）或相关受控环境（2.45）中，可危害洁净室（2.33）或相关受控环
境（2.45)中产品、工艺或设备的分子（化学的、非颗粒的）物质
注1：本定义不包含生物大分子，将其归为粒注2：改写CB/T25915.8—2010，定义3.1.2
2. 13
空气悬浮粒子 airborne particl 悬浮在空气中活或非活、固体或液体、粒径1nm～100μm的粒子。 注：用于洁净度等级的见2.103 [GB/T25915.3- 2010,3.2.2
2. 14
（普通）预警值alertlevel（general) 用户在受控环境（2.45)中设定的量值，对可能偏离正常的状况给出早期报警，超过此值时应加强对
工艺的关注。
[GB/T25915.7—2010,3.3] 2. 15
（微生物）预警值alertlevel（microbiological) 用户在受控环境（2.45）中设定的微生物量值，对可能偏离正常的状况给出早期报警，注：当超出预警值时，应加强对工艺的关注。 「GB/T25916.1—2010,3.1.2;GB/T25916.22010,3.2
2. 16
非等动力采样 anisokineticsampling 采样口进气平均风速与该位置单向流（2.138）的平均风速明显不同的采样条件。 「GB/T25915.3—2010,3.6.2
2 GB/T25915.6—2010/ISO14644-6:2007
2.27
缝隙风速breachvelocity 缝隙处能有效阻止物质逆流运动的风速。 [GB/T25915.7—2010,3.5]
2.28
串级撞击采样器cascadeimpactor 利用撞击原理在串联的采集表面上采集气溶胶粒子（2.102)的采样装置。 注：气溶胶气流速度逐级升高，使后一个采集表面采集的粒子比前一个小。 GB/T25915.3—2010,3.6.3
2.29
更衣室changingroom 人员出入洁净室（2.33)时穿、脱洁净服的房间。 [GB/T25915.4—2010,3.1;GB/T25915.5—2010,3.1.2
2.30
洁净度等级 classification 洁净度分级以ISON级表示的、洁净室(2.33)或洁净区(2.34)内按空气悬浮粒子浓度划分的洁净度（2.32)水
平（或规定、确定该水平的过程）。洁净度等级代表关注粒径粒子的最大允许浓度（表示为每立方米空气中的粒子(2.102)个数）。
注1：浓度计算见GB/T25915.1—20103.2的式（1)。 注2：本部分的等级范围限于ISO1级～ISO9级。 注3：本部分的等级关注粒径(2.105)限于0.1μm～5μm范围（较低阅值)。指定粒径阀值超出此范围的空气洁净
度（2.32)，可以用U描述符（2.136)或M描述符（2.89)描述和说明（但不分级）。 注4：ISO等级可带小数，最小增量为0.1，即ISO1.1级～ISO8.9级。 注5：洁净度等级可适用于所有3种占用状态（见2.17，2.18，2.97)。 [GB/T25915.1—2010.2.1.4
2.31
空气净化装置cleanairdevice 对空气进行净化处理及分配、使环境达到规定条件的独立设备。 [GB/T25915.4—2010,3.2]
2.32
洁净度 cleanliness 产品、表面、装置、气体、流体等有明确污染程度的状况。 注：污染可以是粒子的、非粒子的、生物的、分子的或其他类型的。 [GB/T25915.4—2010,3.3]
2.33
洁净室cleanroom 空气悬浮粒子（2.13)浓度受控的房间，其建造和使用方式使房间内进人的、产生的、滞留的粒子
(2.102)最少，房间内温度、湿度、压力等其他相关参数按要求受控。
[GB/T25915.1—2010,2.1.1;GB/T25915.3—2010,3.1.1;GB/T25916.1—2010,3.1.5; GB/T25916.2—2010,3.5J 2.34
洁净区cleanzone 空气悬浮粒子(2.13)浓度受控的专用空间，其建造和使用方式使区内进入的、产生的、滞留的粒子