JJF
中华人民共和国国家计量技术规范
JJF1962—2022
磁悬浮转子真空计校准规范
Calibration Specificationfor Magnetic Suspension SpinningRotor Gauges
2022-04-29发布
2022-10-29实施
国家市场监督管理总局发布 JJF1962—2022
磁悬浮转子真空计校准规范 Calibration Specification for Magnetic
JJF 1962—2022
Suspension Spinning Rotor Gauges
归口单位：全国压力计量技术委员会
主要起草单位：中国计量科学研究院
参加起草单位：兰州空间技术物理研究所
本规范委托全国压力计量技术委员会负责解释 JJF1962—2022
本规范主要起草人：
于红燕（中国计量科学研究院）王金库（中国计量科学研究院）
参加起草人：
冯焱（兰州空间技术物理研究所）
成永军（兰州空间技术物理研究所） JJF1962—2022
目 录
引言 1
(IⅡ) (1) (1 ) (1) (1) (1) (2) (2) (3) (3) (3) (3) (3) (3) (3) (4) (5) (5) (5) (5) (6) (7) (8)
范围· 2 引用文件· 3术语和计量单位· 3.1 术语.. 3.2计量单位 4 概述·
计量特性· 校准条件
5 6 6.1环境条件. 6.2测量标准及其他设备
校准项目和校准方法·.·· 7. 1 校准项目 7.2校准方法· 7.2.1 准备工作 7.2.2 残余阻尼 7.2.3 适应系数 7.2.4 拆卸· 8 校准结果表达
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复校时间间隔· 附录A磁悬浮转子真空计校准记录格式附录B 校准证书（内页）格式附录 C 适应系数校准的测量不确定度评定示例
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引言
JJF1071一2010《国家计量校准规范编写规则》、JJF1001一2011《通用计量术语及定义》、JJF1059.1一2012《测量不确定度评定与表示》和GB/T3163一2007《真空技术术语》共同构成本规范制定的基础性系列规范
本规范参考了GB/T34873一2017《真空计 十与标准真空计直接比较校准》、 GB/T34876一2017《真空技术真空计与标准真空计直接比较校准结果的不确定度评定》制定，采用了其中的基本原则，对具体方法和技术指标进行了细化、补充和修改。
本规范为首次发布。
II JJF1962—2022
磁悬浮转子真空计校准规范
1范围
本规范适用于测量范围在（110-4～1）Pa以内的磁悬浮转子真空计的校准。
2 引用文件
本规范引用了下列文件： JJF1008一2008压力计量名词术语 GB/T3163一2007真空技术术语 GB/T3164—2007真空技术图形符号 GB/T34873一2017真空计与标准真空计直接比较校准 GB/T34876一2017真空技术真空计与标准真空计直接比较校准结果的不确
定度评定
凡是注日期的引用文件，仅注日期的版本适用于本规范；凡是不注日期的引用文件，其最新版本（包括所有的修改单）适用于本规范。
3术语和计量单位 3.1术语 3.1.1真空计vacuumgauge
测量低于大气压力的气体或蒸汽压力的一种仪器。 ［GB/T3163—2007，定义4.1.2]
3.1.2磁悬浮转子真空计magneticsuspensionspinningrotorgauge
根据磁悬浮转子转速的衰减与其周围气体分子的外摩擦有关的原理制成的真空测量仪表。
［JJF1008—2008，定义11.30 3.1.3校准室calibrationchamber
标准装置中用于安装被校准仪器的真空室。
3.1.4残余压力residualpressure
校准室内所能达到的最低压力。 「ISO3567：2011（E），定义3.16
3.1.5适应系数accommodationfactor，o
磁悬浮转子真空计压力测量值与标准压力值之比。
3.1.6残余阻尼residual drag，poffs
磁悬浮转子真空计测量压力时，由于转子的磁场不均匀而产生的涡流造成转子转速下降，引起的真空计显示压力值。 3.2计量单位
1 JJF1962—2022
磁悬浮转子真空计所测量的压力使用的计量单位为帕斯卡（Pa）。
4概述
磁悬浮转子真空计（以下简称转子真空计）是基于在一定条件下转子转速的衰减与其周围气体分子的外摩擦有关的原理制成的真空测量仪器。
转子真空计由转子（压力传感器）、线圈和电子显示单元组成。 转子真空计的结构如图1所示。水平方向的真空管2通过法兰连接在真空系统校准
室上，转子1位于真空管内部，与校准室联通。转子通常为不锈钢材质，直径约 4.5mm，可自由悬浮于由永磁体3提供的磁场中。叠加稳定线圈4和8产生的磁场用于固定转子在适当的位置。四个驱动线圈5产生旋转磁场，使得转子以440Hz左右的初始频率围绕旋转轴7转动。关闭旋转磁场后，由于气体分子的撞击，转子的转速会下
）为测量信号，该信号由信号线圈6获得。转子真空计测量
降，转子的相对减速率
的压力值是相对减速率的函数，可以通过数学模型计算得到。由于转子的磁场不均匀会产生残余阻尼，因此需要残余阻尼减去。
N
2
S 图图
1
-
图图
2
N
A
S
b)
a)
图1磁悬浮转子真空计结构图
1——转子；2———真空管；3———— 永磁体；4一—两个竖直方向的稳定线圈；5— 一四个驱动线圈：
6————两个信号线圈；7———旋转轴：8-——四个水平方向的稳定线圈
5计量特性 5.1残余阻尼
残余阻尼不大于1×10-3Pa。 5.2适应系数
适应系数为0.95≤g≤1.05。
2 JJF1962—2022
6校准条件
6.1环境条件 6.1.1校准的环境温度为（18～23)℃，校准过程中，环境温度波动度不超过1℃。 6.1.2环境相对湿度不大于80%。 6.1.3校准设备周围应无影响测量结果的热源、磁场等外界干扰，周围不应有明显的振动。 6.2测量标准及其他设备 6.2.1测量标准装置
标准装置采用静态膨胀法真空标准装置，在（1×10-4～1）Pa的相对扩展不确定度应不大于1.0%（k=2）。5min内校准室静态升压量应小于2×10-6Pa。 6.2.2其他设备
其他配套设备见表1。
表1配套设备技术要求
序号 仪器设备名称
用途
范围：（5×10-7～1×10-2）Pa 在10-4Pa量级不确定度Url优 监测真空系统残余压力于50%（k=2)
电离真空计
容量大于450VA/50W
用于给转子真空计持续供电并稳定电压
2 不间断电源（UPS) 输出电压不超过
220，（1±5%）VAC
测量范围：（0~50)℃ 分辨力不大于0.1℃ 最大允许误差优于士0.5℃ 气体纯度99.9%或以上
3 温度记录仪
用于测量校准室及环境温度
氮气源注：根据客户要求也可采用其他气体。
提供校准用气体
A 校准项目和校准方法
7.17 校准项目 7.1.1残余阻尼。 7.1.2适应系数。 7.2校准方法 7.2.1准备工作 7.2.1.1安装
将转子所在法兰安装于静态膨胀法真空标准装置校准室竖直方向活套法兰上，如图2和图3所示。
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