JJF
中华人民共和国国家计量技术规范
JJF1833—2020
真空氮漏孔校准规范
Calibration Specification for Vacuum Helium Leaks
2020-01-17发布
2020-04-17实施
国家市场监督管理总局发布 JJF1833—2020
真空氮漏孔校准规范 Calibration Specificationfor
JJF 1833—2020 代替JJG793—1992
Vacuum Helium Leaks
归口单位：全国压力计量技术委员会主要起草单位：中国计量科学研究院
参加起草单位：国防科技工业真空一级计量站
浙江省计量科学研究院上海东贝真空设备有限公司
本规范委托全国压力计量技术委员会负责解释 JJF1833—2020
本规范主要起草人：
于红燕（中国计量科学研究院）王金库（中国计量科学研究院）
参加起草人：
李得天（国防科技工业真空一级计量站）
冯焱（国防科技工业真空一级计量站）陈宇航（浙江省计量科学研究院）王金锁（上海东贝真空设备有限公司） JJF1833—2020
目 录
引言 1
(IⅡ) (1) (1) (1) (1) (2) (2) (2) (2) (2) (3) (3) (3) (3) (8) (8) (9) (10) (11) (15)
范围· 2 引用文件· 3术语和计量单位 3.1 术语.. 3.2计量单位 N
概述· 计量特性· 校准条件
5 6 6.1环境条件. 6.2测量标准及其他设备
校准项目和校准方法… 7.1校准项目 7.2校准方法 8 校准结果表达
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复校时间间隔. 附录A真空漏孔校准记录格式附录B 真空漏孔校准证书内页格式（推荐样式）附录 C 校准不确定度评定示例附录 D 漏率单位换算
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- JJF1833—2020
引言
JJF1071一2010《国家计量校准规范编写规则》、JJF1001一2011《通用计量术语及定义》、JJF1059.1一2012《测量不确定度评定与表示》和GB/T3163一2007《真空技术术语》共同构成本规范制定的基础性系列文件。
本规范参照BSEN20486：2018《无损检测漏孔检测气体参考漏孔校准》 (NonDestructiveTesting-Leak TestingCalibrationofReferenceLeaks for Gases), ASTME908：1998（2012）《校准气体参考漏孔的标准方法》（StandardPracticefor CalibratingGaseousReferenceLeaks）进行制定，采用了其中的基本原则，对具体方法和技术指标进行了细化、补充和修改。
与JJG793一1992相比，除编辑性修改外，本规范主要技术变化如下：
适用范围为由标准漏孔扩大到所有真空氮漏孔，测量范围向下扩展两个数
量级；
标准装置增加了流量计法校准装置和相对比较法校准装置；校准方法增加了流量计法和相对比较法；增加了不确定度评定方法和质量流量与摩尔流量的换算方法。
本规范历次版本发布情况：
JJG793—1992。
II JJF1833—2020
真空氮漏孔校准规范
1范围
本规范适用于漏率值在（1×10-10～1×10-4）Pa·m*/s范围内的真空氨漏孔的校准。 2 引用文件
本规范引用了下列文件： JJF1001一2011通用计量术语及定义 JJF1008一2008压力计量名词术语及定义 GB/T3163—2007真空技术术语 GB/T3164一2007真空技术图形符号 BSEN20486：2018无损检测漏孔检测气体参考漏孔校准（NonDestructive
Testing-LeakTesting-Calibration of ReferenceLeaksforGases)
ASTME908：1998（2012）校准气体参考漏孔的标准方法（StandardPractice
for Calibrating Gaseous Reference Leaks)
凡是注日期的引用文件，仅注日期的版本适用于本规范；凡是不注日期的引用文
件，其最新版本（包括所有的修改单）适用于本规范。
32 术语和计量单位
3.1术语 3.1.1漏孔leak
当密闭的容器内部与外部的气体压力或浓度不同时，可以使气体由器壁的一侧泄漏到另一侧去的小孔、缺陷或隙缝以及渗透元件或漏气装置。
［JJF1008—2008，定义11.31］ 3.1.2真空氨漏孔vacuumheliumleak
使用氮气作为示踪气体的、出气口压力低于1kPa条件下校准和使用的漏孔。 3.1.3通道漏孔conductanceleak
可以把它理想地当做长毛细管的由一个或多个不连续通道组成的一个漏孔。 ［GB/T3163—2007，定义6.1.2］
3.1.4渗透漏孔permeationleak
气体通过渗透穿过薄膜（薄壁）的一种漏孔。
3.1.5漏率leakrate
在规定条件下，一种特定气体通过漏孔的流量。 ［GB/T3163—2007，定义6.1.9］
1 JJF1833—2020
3.1.6示漏气体tracedgas
喷在被检容器外或压缩到被检容器内可以用适当的方法和仪器进行漏隙检查的
气体。
［JJF1008—2008，定义11.40]
3.1.7氢质谱检漏仪heliummassspectrometerleakdetector
以氨作示漏气体，调正到对氨起灵敏反应的专门用作检查漏隙的质谱仪。 ［JJF1008—2008，定义11.38
3.1.8质谱计 massspectrometer
区分不同质荷比电离粒子并测量其离子流的一种仪表。 ［GB/T3163—2007，定义4.5.1]
3.2计量单位
漏孔漏率的计量单位是帕斯卡立方米每秒（Pa·m"/s）或摩尔每秒（mol/s）。
4概述
真空氨漏孔（以下简称为漏孔）是一种在特定条件下提供恒定、已知氨气流量的元件，用来校准氨质谱检漏仪的灵敏度。按照其结构，主要可以分为两类，一类是通道漏孔，即泄漏元件为真实小孔，包括毛细管型、小孔型、金属压扁型等；另一类是渗透漏孔，主要是用石英玻璃作为渗透元件。
漏孔通常由漏孔元件、储氮室和阀门组成，如图1所示。
储氢室
漏孔元件
阀门
图1真空氨漏孔结构示意图
5计量特性
5.1漏率值
给出一定条件下，真空漏孔对氨气的漏率值。如果可获得温度修正系数，则需要给出23℃下的氮气漏率值。
6 校准条件
6.1环境条件 6.1.1校准的环境温度为（23士5）℃，校准过程中，环境温度波动不超过1℃，实验室内不应有明显的气体流动。 6.1.2环境湿度不大于80%RH。 6.1.3校准设备周围不应有明显的振动，或其他干扰因素。 2 JJF1833—2020
6.2测量标准及其他设备 6.2.1测量标准装置
标准装置用于提供已知的气体流量或气体量，主要有以下三种类型，可以任选其一。
流量计法校准装置，测量范围应在（1×10-10～1×10-4）Pa·m*/s范围内
一
相对扩展不确定度优于10%（k三2）。
定量气体法校准装置，测量范围应在（1×10-10～1×10-4）Pa·m"/s范围
内，相对扩展不确定度优于10%（k=2）。
相对比较法校准装置，测量范围应在（1×10-10～1×10-4）Pa·m3/s范围
内，相对扩展不确定度优于20%（k2）。
应配备多支标准漏孔，漏孔漏率值应覆盖装置测量范围的各个数量级。标准漏孔的
校准不确定度不大于10%（k=2）。
质谱计或氮质谱检漏仪应可显示不少于3位有效数字，15min稳定性应不大于2%。
注：评估稳定性时应连续记录，或者记录时间间隔不超过1min。 6.2.2其他设备 6.2.2.1 温度计：温度范围为（0～50）℃，不确定度优于0.1℃（k=2）。 6.2.2.2氮气源：气体纯度为99.9%或以上。
7# 校准项目和校准方法
7.1校准项目 7.1.1外观。 7.1.2漏率值。 7.2校准方法 7.2.1外观检查 7.2.1.1漏孔应有型号、编号、气源类型、标称漏率值、校准温度、温度系数、年衰减率等信息。 7.2.1.2漏孔应具有与校准系统连接的密封接口。 7.2.1.3无储氢室的漏孔应有明确的气流方向或出口端标志。 7.2.2漏率值
渗透型漏孔应无裂痕等缺陷，通道型漏孔不得堵塞。校准前，应开启漏孔前端阀门并在校准环境内放置12h以上。根据标准装置的类型以及待测漏孔的要求，选择一种校准方法对漏孔进行校准。
无储氮室的通道漏孔按图2对待测漏孔进行配气。
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