JF
中华人民共和国国家计量技术规范
JJF1062—2022
电离真空计校准规范
Calibration Specification for Ionization Vacuum Gauges
2022-04-29发布
2022-10-29实施
国家市场监督管理总局发布 JJF1062—2022
电离真空计校准规范 Calibration Specification for Ionization
JJF1062—2022 代替JJF1062—1999
JJG462—2004
Vacuum Gauges
归口单位：全国压力计量技术委员会主要起草单位：中国计量科学研究院
参加起草单位：云南省计量测试技术研究院
成都国光电气股份有限公司
本规范委托全国压力计量技术委员会负责解释 JJF1062—2022
本规范主要起草人：
王金库（中国计量科学研究院）于红燕（中国计量科学研究院）
参加起草人：
周莹（云南省计量测试技术研究院）
李泞（成都国光电气股份有限公司） JJF1062—2022
目 录
引言 1
(IⅡ) (1) (1 ) (1) (1) (1) (2) (2) (2) (2) (2) (3) (3) (3) (5) (6) (6) (7) (8) (9)
范围· 2 引用文件· 3术语和计量单位 3.1 术语.. 3.2计量单位 N
概述· 计量特性· 校准条件
5 6 6.1环境条件. 6.2计量标准及其他设备
校准项目和校准方法.
7
7.1校准项目。 7.2校准方法· 7. 3 数据处理 8 校准结果表达.· 9 复校时间间隔附录A电离真空计校准记录格式附录B电离真空计校准证书内页格式附录C电离真空计测量结果的不确定度评定示例
- JJF1062—2022
引言
JJF1071一2010《国家计量校准规范编写规则》、JJF1001一2011《通用计量术语及定义》、JJF1059.1一2012《测量不确定度评定与表示》和GB/T3163一2007《真空技术术语》共同构成本规范制定的基础性系列规范
本规范参考了JB/T7463一2005《热阴极电离真空计》、GB/T34873一2017《真空计与标准真空计直接比较校准》、GB/T34876一2017《真空技术真空计与标准真空计直接比较校准结果的不确定度评定》，采用了其中的基本原则，对具体方法和技术指标进行了细化、补充和修改。
本规范代替JJF1062一1999《电离真空计》及JJG462一2004《二等标准电离真空计》。
与JF1062一1999和JJG462一2004相比，除编辑性修改外，主要技术变化如下：
删除规管常数和电路的电参数检测部分；删除压力示值误差超差判据；原规范中要求标准装置校准室的本底压力不大于被校真空计压力下限测量点压
力值的2%，本次修订将该数值修改为10%（见7.2.2.1和7.2.2.2）；
增加不确定度评定方法（见附录C）。 本规范的历次版本发布情况为：
JJG462—2004；JJF1062—1999。
II JJF1062—2022
电离真空计校准规范
1范围
本规范适用于测量范围在1X10-9Pa～1×102Pa的电离真空计校准。
2 引用文件
本规范引用了下列文件： GB/T3163一2007真空技术术语 GB/T3164一2007真空技术图形符号 GB/T34873一2017真空计与标准真空计直接比较校准 GB/T34876一2017真空技术真空计与标准真空计直接比较校准结果的不确
定度评定
JB/T7463—2005热阴极电离真空计凡是注日期的引用文件，仅注日期的版本适用于本规范；凡是不注日期的引用文
件，其最新版本（包括所有的修改单）适用于本规范。
3术语和计量单位 3.1术语 3.1.1真空计vacuumgauge
测量低于大气压力的气体或蒸汽压力的一种仪器。 ［GB/T3163—2007，定义4.1.2]
3.1.2规管gauge head
某些种类的真空计中，包含压力敏感元件并直接与真空系统连接的部件。
3.1.3电离真空计ionizationvacuumgauge
通过测量气体在控制条件下电离产生的离子流来确定分子密度，进而测得压力的一种真空计。 3.1.4校准室calibrationchamber
标准装置中用于安装被校准仪器的真空室。
3.1.5本底压力basepressure
在校准气体进入校准室之前，或校准后进气阀关断若干时间后，校准室内的压力。 ［ISO3567：2011（E)，定义3.17
3.1.6修正因子correctionfactor
为补偿系统误差而与未修正测量结果相乘的数字因子。 ［JJF1001—2011，定义5.7的注3]
3.2计量单位
电离真空计所测量的压力使用的计量单位为帕斯卡（Pa）。
1 JJF1062—2022
4概述
电离真空计是基于在一定条件下待测气体的密度与气体电离产生的离子流成正比关系的原理制作的真空测量仪器。
电离真空计通常由规管和显示仪表组成。 规管按照电离电子源的不同可以分为发射阴极型规管和交叉场型规管。气体分子被
电离所生成的正离子数与气体分子数密度成正比；当温度不变时，气体分子被电离所生成的正离子数与气体压力成正比。
电离真空计规管的计量特性与气体种类有关。实际校准工作中通常以氮气为校准
气体。 5计量特性
修正因子，通常在0.9～1.1之间，年变化量通常不超过10%。
6校准条件
6.1环境条件 6.1.1校准的温度为（18～28）℃，校准过程中，环境温度波动度不超过1℃，实验室内不应有明显的气体流动。 6.1.2相对湿度不大于80%。 6.1.3校准设备周围应无影响测量的热源、强电磁场等外界干扰，周围应无明显的振动。 6.2计量标准及其他设备 6.2.1真空标准装置
标准装置通常为比较法真空标准装置或动态流导法真空标准装置或静态膨胀法真空标准装置，用于提供已知的压力量值，其指标如表1所示。压力范围和不确定度能够满足客户校准要求的其他标准装置也适用
2 JJF1062—2022 表1标准装置
序号
技术要求
装置名称
测量范围：1×10-9Pa～1×102Pa 不确定度：U.=20%~5%（k=2）标准真空计推荐为：磁悬浮转子真空计、电离真空计、电容薄膜真空计。 装置的校准室需满足如下条件： a）校准室的本底压力不大于校准压力值的10%，该压力由标准真空计
测量； b）校准室的压力在1min内压力变化不大于1%；
比较法真空标准装置
校准室的结构应符合下列要求：
1
c）:
1）校准室的总容积应大于规管和与它相连接的管道总容积的20倍； 2）校准室的形状为球形体或高度与内径比值为1～3的圆柱体； 3）标准电离真空计和被校电离真空计的安装位置：
对球状校准室应在球赤道位置；对圆柱体校准室应在1/2高度的水平面。
d）为获得均匀压力分布，所注人校准室的校准气体最少与校准室内壁碰
撞一次后才能被抽走测量范围：1×10-°Pa～1×10-1Pa 不确定度：U.=20%~10%（k=2）装置的校准室需满足如下条件： a）满足比较法真空标准装置的a）～d）条件； b）校准室与抽气室之间的小孔应是圆形，它的横截面积一般不大于校准室内表面积的1/500； c）抽气系统的抽速与小孔流导比值应大于20 测量范围：1×10-4Pa～1Pa 不确定度：U.=5%（k=2） 1min静态升压量小于测量下限的2%
动态流导法真空标准装置
2
静态膨胀法真空标准装置
3
注：在标准装置中给出的不确定度对应的是测量范围的下限和上限。
6.2.2其他设备
氮气源，气体纯度99.9%或以上。
7校准项目和校准方法 7.1校准项目
修正因子。 7.2校准方法 7.2.1校准前准备
电离真空规管垂直安装在装置上，或根据客户要求安装。连接被校规管的过渡管道尽量短且内径不小于规管自身管道内径。
3