JJF（沪）59-2018
微纳米台阶高度（深度）标准样板校准规范
Calibration Specification forMicro/Nano-Step Height/DepthStandards
2019-2一1发布
2019-3一1实施
目录
引言……………………………………………………………………………………（1）
1范围………………………………………………………………………………（1）
2引用文献…………………………………………………………………………（1）
3术语………………………………………………………………………………（1）
4概述………………………………………………………………………………（2）
5计量特性…………………………………………………………………………（3）
引言
JJF 1071—2010《国家计量校准规范编写规则》、JJF 1001—2011《通用计量术语及定义》、JJF1059.1—2012《测量不确定度评定与表示》共同构成本规范制定工作的基础性系列计量技术法规。
本规范为首次制定。