JJF（沪苏浙皖)
沪苏浙皖地方计量校准规范
JJF（沪苏浙皖）4001—2021
微纳米线间隔标准样板校准规范 Calibration Specification for Micro/Nano-Pitch Standards
2021-8-9发布
2022一4—9实施
上海市市场监督管理局江苏省市场监督管理局 发布浙江省市场监督管理局安徽省市场监督管理局 JJF（沪苏浙皖）4001-2021
微纳米线间隔标准样板校准
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规范
JJF（沪苏浙皖）4001—2021
Calibration Specification for Micro/Nano-Pitch Standards
归口单位：上海市市场监督管理局
江苏省市场监督管理局
浙江省市场监督管理局
安徽省市场监督管理局
主要起草单位：上海市计量测试技术研究院
同济大学
参加起草单位：中国计量科学研究院
本规范由上海市计量测试技术研究院负责解释 JJF（沪苏浙皖）4001-202
本规范主要起草人：
傅云霞（上海市计量测试技术研究院）
程鑫彬（同济大学）
雷李华（上海市计量测试技术研究院）
参加起草人：
高思田（中国计量科学研究院）
魏佳斯（上海市计量测试技术研究院） JJF（沪苏浙皖）4001-2021
目录
引言· 1·范围· 2··引用文献· 3·术语.. 4··概述 5··计量特性 5.1平均线间隔 5.2二维线间隔的正交性· 5.3线间隔均匀性. 6··校准条件 6.1环境条件 6.2测量标准及其他设备 7··校准项目和校准方法··· 7.1平均线间隔 7.2二维栅格线的正交角度 7.3线间隔均匀性· 8··校准结果的表达·.· 9··复校时间间隔· 附录A校准证书内容. 附录B校准证书（内页）格式附录C微纳米线间隔标准样板校准结果的测量不确定度评定附录D微纳米线间隔标准样板扫描角度的确定方法·
(II) (1) (1) (1) (1) (2) (2) (2) (3) (3) (3) (3) (3) (3) (4) (5) (5) (5) (6) (7) (8) (11)
.： JJF（沪苏浙皖）4001-2021
引言
JJF1071-2010《国家计量校准规范编写规则》、JJF1001一2011《通用计量术语及定义》、JJF1059.1一2012《测量不确定度评定与表示》共同构成本规范制定工作的基础性系列计量技术法规。
本规范为首次制定
II JJF（沪）4001-2021
微纳米线间隔标准样板校准规范
1范围
本规范适用于线间隔不大于100um的线间隔标准样板，如：单一间距、规则形状阵列的一维和二维微纳米光栅、特殊排列的间距结构。
2引用文献
GB/T3505一2009产品几何技术规范（GPS）表面结构轮廓法术语、定义及表面结构参数
GB/T10610一2009产品几何技术规范（GPS）表面结构轮廓法评定表面结构的规则和方法
GB/T19067.1一2003产品几何量技术规范（GPS）表面结构轮廓法测量标准第 1部分：实物测量标准
GB/T19067.2一2004产品几何量技术规范（GPS）表面结构轮廓法测量标准第2部分：软件测量标准
注：凡是注明日期的引用文件，仅注日期的版本适用于本规范；凡是不注日期的引用文件，其最新版本（包括所有的修改单）适用于本规范。
3术语
3.1微纳米线间隔（micro/nano-pitch）
具有微纳米级准确度和均匀性、刻线间距不大于100μm的周期性刻线，可以是
一维形式，也可以是正交的二维形式。以相邻几何结构中心间距表征刻线间隔。 3.2扫描探针显微镜（scanningprobemicroscope，SPM）
基于探针对被测样品进行表面形貌扫描成像的显微镜的统称。其利用探针与样品的不同相互作用来探测待测样品表面或界面在纳米尺度上表现出的物理特性和化学特性，包括原子力显微镜（atomicforcemicroscope，AFM）、扫描隧道显微镜 (scanningtunnelingmicroscope，STM）等。 3.3计量型扫描探针显微镜（metrologicalscanningprobemicroscope，MSPM）
具有激光干涉测量系统，测量量值能够直接溯源至激光波长的扫描探针显微镜。 比如，沿X、Y、Z坐标轴分别装备校准位置误差的激光干涉测量系统的扫描探针显微镜。 3.4重心间距（gravitycenterdistance）
在线间隔扫描线上，中线以上部分的几何重心之间的距离，如图1所示。 JJF（沪苏浙皖）4001-2021
顶线Zto
重心间距P
中线Zmi
底线Zbot
图1重心间距示意图
4 概述
线间隔标准样板包括：微纳米的线纹标尺、CD线间隔、一维微纳米栅格结构、 二维微纳米栅格结构，如一维、二维光栅，微纳米线阵列，微纳米点阵列等。
线间隔标准样板主要用于扫描探针显微镜（AFM、STM）、电子显微镜（透射电镜和扫描电镜）、轮廓仪和台阶仪等微纳米测量仪器的校准。典型的线间隔标准样板外形如图2所示。
Pitch
Step Heigh
Piteh
Pilch b.二维线间隔
a.一维线间隔
图2线间隔标准样板示意图
5 计量特性
5.1平均线间隔
以微纳米线间隔标准样板有效区域内多个刻线间距的平均值作为其平均线间隔。
表1线间隔标准样板计量特性技术要求
序号
计量特性名称
技术要求
平均线间隔测量不确定度： ≤10μm,=2nm+0.02，=2
平均线间隔P
1
10μm<≤100μm,=4 nm+0.01 ，=2
二维线间隔正交性
MPE:±0.05°
2
≤10μm，实验标准偏差s小于2nm
3
线间隔均匀性s
10μm<≤100μm，实验标准偏差s小于6nm
注：作为校准，不判断合格与否，表1中的计量特性技术要求，仅供参考。
5.2二维线间隔的正交性
对于二维微纳米线间隔标准样板，以二维线间隔X、Y方向的夹角作为其正交性。
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