JJF（沪）
上海市地方计量校准规范
JJF（沪）58-2018
微纳米线间隔标准样板校准规范 Calibration Specification for Micro/Nano-Pitch Standards
2019-2—1发布
2019-3-1实施
上海市市场监督管理局发布 蓝纳来#用祥技
技圳 Dsnagan Be
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福 JJF（沪）58-2018
引言
JJF1071-2010《国家计量校准规范编写规则》、JJF1001一2011《通用计量术语及定义》、JJF1059.1一2012《测量不确定度评定与表示》共同构成本规范制定工作的基础性系列计量技术法规
本规范为首次制定。
II JJF（沪）58-2018
微纳米线间隔标准样板校准规范
1范围
本规范适用于线间隔不大于100um的线间隔标准样板，如：单一间距、规则形状阵列的一维和二维微纳米光栅、特殊排列的间距结构。
2 引用文献
GB/T3505一2009产品几何技术规范（GPS）表面结构轮廓法术语、定义及表面结构参数
GB/T10610一2009产品几何技术规范（GPS）表面结构轮廓法评定表面结构的规则和方法
GB/T19067.1一2003产品几何量技术规范（GPS）表面结构轮廓法测量标准第1部分：实物测量标准
GB/T19067.2一2004产品几何量技术规范（GPS）表面结构轮廓法测量标准第2部分：软件测量标准
注：凡是注明日期的引用文件，仅注日期的版本适用于本规范；凡是不注日期的引用文件，其最新版本（包括所有的修改单）适用于本规范。
3术语 3.1 微纳米线间隔（micro/nano-pitch）
具有微纳米级准确度和均匀性、刻线间距不大于100um的周期性刻线，可以是一维形式，也可以是正交的二维形式。以相邻几何结构中心间距表征刻线间隔。 3.2扫描探针显微镜（scanningprobemicroscope，SPM）
基于探针对被测样品进行表面形貌扫描成像的显微镜的统称。其利用探针与样品的不同相互作用来探测待测样品表面或界面在纳米尺度上表现出的物理特性和化学特性，包括原子力显微镜（atomicforcemicroscope，AFM)、扫描隧道显微镜（scanningtunnelingmicroscope，STM）等。 3.3计量型扫描探针显微镜（metrologicalscanningprobemicroscope，MSPM）
具有激光干涉测量系统，测量量值能够直接溯源至激光波长的扫描探针显微镜。 比如，沿X、Y、Z坐标轴分别装备校准位置误差的激光干涉测量系统的扫描探针显微镜。 3.4重心间距（gravitycenterdistance）
在线间隔扫描线上，中线以上部分的几何重心之间的距离，如图1所示。
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蒙
二二
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JJF1071-2010《国家计量校准规范编写规则》、JJF1001一2011《通用计量术语及定义》、JJF1059.1一2012《测量不确定度评定与表示》共同构成本规范制定工作的基础性系列计量技术法规
本规范为首次制定。
II JJF（沪）58-2018
微纳米线间隔标准样板校准规范
1范围
本规范适用于线间隔不大于100um的线间隔标准样板，如：单一间距、规则形状阵列的一维和二维微纳米光栅、特殊排列的间距结构。
2 引用文献
GB/T3505一2009产品几何技术规范（GPS）表面结构轮廓法术语、定义及表面结构参数
GB/T10610一2009产品几何技术规范（GPS）表面结构轮廓法评定表面结构的规则和方法
GB/T19067.1一2003产品几何量技术规范（GPS）表面结构轮廓法测量标准第1部分：实物测量标准
GB/T19067.2一2004产品几何量技术规范（GPS）表面结构轮廓法测量标准第2部分：软件测量标准
注：凡是注明日期的引用文件，仅注日期的版本适用于本规范；凡是不注日期的引用文件，其最新版本（包括所有的修改单）适用于本规范。
3术语 3.1 微纳米线间隔（micro/nano-pitch）
具有微纳米级准确度和均匀性、刻线间距不大于100um的周期性刻线，可以是一维形式，也可以是正交的二维形式。以相邻几何结构中心间距表征刻线间隔。 3.2扫描探针显微镜（scanningprobemicroscope，SPM）
基于探针对被测样品进行表面形貌扫描成像的显微镜的统称。其利用探针与样品的不同相互作用来探测待测样品表面或界面在纳米尺度上表现出的物理特性和化学特性，包括原子力显微镜（atomicforcemicroscope，AFM)、扫描隧道显微镜（scanningtunnelingmicroscope，STM）等。 3.3计量型扫描探针显微镜（metrologicalscanningprobemicroscope，MSPM）
具有激光干涉测量系统，测量量值能够直接溯源至激光波长的扫描探针显微镜。 比如，沿X、Y、Z坐标轴分别装备校准位置误差的激光干涉测量系统的扫描探针显微镜。 3.4重心间距（gravitycenterdistance）
在线间隔扫描线上，中线以上部分的几何重心之间的距离，如图1所示。
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