JJF（沪苏浙皖）4001-2021
微纳米线间隔标准样板校准规范
Calibration Specification for Micro/Nano-Pitch Standards
2022-4-9 实施
2021-8-9 发布
目录
引言………………………………………………………………………………（1）
1范围……………………………………………………………………………（1）
2.引用文献………………………………………………………………………（1）
3.术语……………………………………………………………………………（1）
4·概述……………………………………………………………………………（1）
5…计量特性……………………………………………………………………… （2）