JJF(沪)
上海市地方计量校准规范
JJF（沪）59-2018
微纳米台阶高度（深度）标准样板
校准规范
Calibration Specification forMicro/Nano-Step Height/DepthStandards
2019-2-1发布
2019-3-1实施
上海市市场监督管理局发布 台度
根准格康技婚靓施
口 RO
M JJF(沪)59-2018
目录
引言 1范围· 2引用文献 3术语 4概述· 5计量特性· 5.1样板的台阶高度（深度） 5.2样板的均匀性 6校准条件. 6.1环境条件 6.2测量标准器及其他设备. 7校准项目和校准方法 7.1样板的台阶高度（深度） 7.2样板台阶高度（深度）的均匀性 8校准结果的处理 9复校时间间隔· 附录A校准证书内容：附录B校准证书（内页）格式：附录C微纳米台阶高度（深度）标准样板校准结果的测量不确定度评定...（8)
.(II) (1) (1) (1) (2) (3) (3) · (3) (3) ·(3) ·(3) (4) (4) (5) (5) (5) ·(6) (7) JJF(沪)59-2018
引言
JJF1071—2010《国家计量校准规范编写规则》、JJF1001—2011《通用计量术语及定义》、JJF1059.1一2012《测量不确定度评定与表示》共同构成本规范制定工作的基础性系列计量技术法规。
本规范为首次制定。
II 台
发
CT产
馆 1
s品家
装
r
美 Ca
Zah as
发品
Hs
0 蓬
店
：
教电
单生电大机广的商微
高美常家的单一学活一#代高享医军一家设有和教高养搭成百热#的银微结城
IRCX:
新
警
：
主家#合真的方技 JJF(沪)
上海市地方计量校准规范
JJF（沪）59-2018
微纳米台阶高度（深度）标准样板
校准规范
Calibration Specification forMicro/Nano-Step Height/DepthStandards
2019-2-1发布
2019-3-1实施
上海市市场监督管理局发布 台度
根准格康技婚靓施
口 RO
M JJF(沪)59-2018
目录
引言 1范围· 2引用文献 3术语 4概述· 5计量特性· 5.1样板的台阶高度（深度） 5.2样板的均匀性 6校准条件. 6.1环境条件 6.2测量标准器及其他设备. 7校准项目和校准方法 7.1样板的台阶高度（深度） 7.2样板台阶高度（深度）的均匀性 8校准结果的处理 9复校时间间隔· 附录A校准证书内容：附录B校准证书（内页）格式：附录C微纳米台阶高度（深度）标准样板校准结果的测量不确定度评定...（8)
.(II) (1) (1) (1) (2) (3) (3) · (3) (3) ·(3) ·(3) (4) (4) (5) (5) (5) ·(6) (7) JJF(沪)59-2018
引言
JJF1071—2010《国家计量校准规范编写规则》、JJF1001—2011《通用计量术语及定义》、JJF1059.1一2012《测量不确定度评定与表示》共同构成本规范制定工作的基础性系列计量技术法规。
本规范为首次制定。
II 台
发
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馆 1
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店
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教电
单生电大机广的商微
高美常家的单一学活一#代高享医军一家设有和教高养搭成百热#的银微结城
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