JJF（沪）58-2018
微纳米线间隔标准样板校准规范
Calibration Specification for Micro/Nano-Pitch Standards
2019-2-1 发布
2019-3一1实施
目录
引言………………………………………………………………………………（1）
1范围……………………………………………………………………………（1）
2 引用文献………………………………………………………………………（1）
3 术语……………………………………………………………………………（1）
4 概述……………………………………………………………………………（1）
5 计量特性………………………………………………………………………（2）
5.1 平均线间隔…………………………………………………………………（2）
5.2 二维线间隔的正交性………………………………………………………（3）
5.3 线间隔均匀性………………………………………………………………（3）
6 校准条件………………………………………………………………………（3）
6.1 环境条件……………………………………………………………………（3）
6.2 测量标准及其他设备………………………………………………………（3）
7 校准项目和校准方法…………………………………………………………（3）
7.1 平均线间隔…………………………………………………………………（3）
7.2 二维栅格线的正交角度……………………………………………………（4）
7.3 线间隔均匀性………………………………………………………………（5）
8 校准结果的表达………………………………………………………………（6）
9 复校时间间隔…………………………………………………………………（6）
附录A 校准证书内容……………………………………………………………（7）
附录B 校准证书（内页）格式……………………………………………………（8）
附录C 微纳米线间隔标准样板校准结果的测量不确定度评定………………（9）
附录D微纳米线间隔标准样板扫描角度的确定方法…………………………（13）