GB/T 32999-2016/ISO/TR 22335:2007
表面化学分析深度剖析用机械轮廓仪栅网复型法测量溅射速率
Surface chemical analysis—Depth profiling—Measurement of sputtering rate: mesh-replica method using a mechanical stylus profilometer (ISO/TR 22335:2007,IDT)
2017-09-01 实施
2016-10-13 发布
前 言
本标准按照 GB/T 1.1—2009 给出的规则起草。
本标准使用翻译法等同采用 ISO/TR22335∶2007《表面化学分析 深度剖析 用机械轮廓仪栅网复型法测量溅射速率》。
本标准由全国微束标准化技术委员会（SAC/TC 38）提出并归口。
本标准负责起草单位∶北京师范大学分析测试中心、清华大学分析中心