GB/T 34326-2017/ISO 16531:2013
表面化学分析深度剖析AES和XPS深度剖析时离子束对准方法及其束流或束流密度测量方法
Surface chemical analysis—Depth profiling—Methods for ion beam alignment and the associated measurement of current or current density for depth profiling in AES and XPS (ISO16531:2013,IDT)
2018-08-01 实施
2017-09-29发布
前 言
本标准按照GB/T 1.1—2009给出的规则起草。
本标准使用翻译法等同采用ISO16531∶2013《表面化学分析 深度剖析 AES和XPS深度剖析时离子束对准方法及其束流或束流密度测量方法》。
本标准由全国徽束分析标准化技术委员会（SAC/TC 38）提出并归口.