ICS 17.180 N 30
GB
中华人民共和国国家标准
GB/T 26332.1—2010/ISO 9211-1:1994
光学和光学仪器 光学薄膜
第 1部分：定义
Optics and optical instrumentsOptical coatings-
Part 1:Definitions
(ISO 9211-1:1994,IDT)
2011-06-01实施
2011-01-14发布
中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局中国国家标准化管理委员会
发布 GB/T26332.1—2010/ISO9211-1:1994
目 次
前言 1
H
范围 2 规范性引用文件 3 术语和定义 4 按功能定义薄膜 5 常见的薄膜缺陷定义 6 其他定义 ....... 附录A（资料性附录） 常见薄膜缺陷类型图解
+.
H
I GB/T26332.1—2010/IS09211-1:1994
前言
GB/T26332《光学和光学仪器 光学薄膜》分为4个部分：
第1部分：定义第2部分：光学特性一第3部分：环境适应性第4部分：规定的试验方法本部分为GB/T26332的第1部分。 本部分等同采用ISO9211-1：1994《光学和光学仪器 ：光学薄膜 第1部分：定义》（英文版）。 本部分采用国际标准的方法为翻译法。 本部分的附录A为资料性附录。 本部分由中国机械工业联合会提出并归口。 本部分起草单位：沈阳仪表科学研究院、沈阳汇博光学技术有限公司、浙江大学、杭州科汀光学技术
有限公司、国家仪器仪表元器件质量监督检验中心、杭州照相机械研究所。
本部分主要起草人：阴晓俊、费书国、高鹏、王瑞生、赵帅锋、章岳光、顾培夫、马敬、金秀、杨文华、 徐秋玲、杜健、虞仲晓。
m GB/T26332.1—2010/IS09211-1:1994
光学和光学仪器光学薄膜
第1部分：定义
1范围
GB/T26332的本部分叙述了除眼科光学（眼镜）之外的所有镀膜的光学元器件及基片的镀膜表面，并制定了相关参数的标准表述，定义了表面特性参数及其检验、检测方法，而不说明其加工方法。
本部分定义了与光学薄膜相关的术语。这些术语分为4类：基本定义、按功能定义薄膜、常见的薄膜缺陷定义和其他定义。 2规范性引用文件
下列文件中的条款通过GB/T26332的本部分的引用而成为本部分的条款。凡是注日期的引用文件，其随后所有的修改单（不包括勘误的内容)或修订版均不适用于本部分，然而，鼓励根据本部分达成协议的各方研究是否可使用这些文件的最新版本。凡是不注日期的引用文件，其最新版本适用于本部分。
GB/T1185—2006光学零件表面疵病（ISO10110-7：1996，NEQ） GB3102.6一1993光及有关电磁辐射的量和单位 GB/T8322—2008分子吸收光谱法术语（ISO6286：1982，NEQ） ISO9211-4：2006光学和光学仪器光学薄膜第4部分：规定的试验方法 IS010110-8：1997光学和光学仪器光学元件和系统制图准备第8部分：表面结构 IEC50（845）：1987国际电工词汇845章：照明 CIEPublication38：1977材料的辐射测量和光度特性及相应测量方法
3术语和定义
下列术语和定义适用于本部分。 3.1镀膜表面surfacetreatment 3. 1.1
元件和基片的镀膜表面surfacetreatmentofcomponentsandsubstrates 在光学元件表面镀膜”，能够改变光学元件的光学、物理或化学特性。作为所镀薄膜载体的光学元
件称为“基片”。
理想的基片是几何完美和光学均质的，应将基片及其表面作为一个整体进行检验测量。 光在镀膜表面的透射与反射方向是由光学薄膜、人射介质及出射介质共同决定的。
3. 1.2
入射介质incidentmedium 光射人薄膜前经过的介质。
3.1.3
出射介质emergentmedium 光射出薄膜后进入的介质。 注：镀有薄膜的基片可以是人射介质也可以是出射介质，区别在于光通过基片和薄膜的先后顺序。
1 GB/T26332.12010/ISO9211-1:1994
3.2
镀膜表面的光学特性opticalpropertiesofacoated surface 镀膜表面的光学特性可以用分光光度值来描述，它与电磁波传播的辐射能（辐射或发光)相关，并为
波长、人射角、偏振态、空间分布（例如，散射）的函数。
注：波长(a)可用波数(o)代替。建议波长单位为纳米（nm)或微米(μm），波数的单位为通米的倒数（cm-1）。 3.2.1
光谱透射比 spectraltransmittance t(a) 透过的与入射的辐射通量或光通量的光谱密集度之比。（参见GB3102.6一1993和GB/T8322-
2008)
注1：光谱透射比的百分比表示形式称为光谱透射率，用符号T(a)表示。 注2：光谱透射比可用光密度来表示，D(>)=一1g[r(>)]。
3.2.2
光谱反射比 spectral reflectance p(a) 反射的与人射的辐射通量或光通量的光谱密集度之比。（参见GB3102.6-一1993和GB/T8322
2008)
注：光谱反射比的百分比表示形式称为光谱反射率，用符号R(入)表示。 3.2.3
光谱吸收比 spectralabsorptance α(A) 吸收的与入射的辐射通量或光通量的光谱密集度之比。（参见GB3102.6一1993和GB/T8322-
2008)
注：光谱吸收比与光的传播方向有关。 3.2. 4
光谱散射spectralscatter 一束光被某一表面或某一介质偏离或分散到许多方向，它的空间分布发生了变化，但其频率没有发
生变化。
注1在法语版IEC50(845)和CIE38中，采用"漫射（diffusion）”定义。也可以参见ISO10110-8。 3.2.1～3.2.4中定义的系数之间的关系见式(1)式(3)：
1=
(1)
其中：
=t,+Td p=p+pa
·(2 ) *(3)
式中： t, 镜面条件下的透射比； P 镜面条件下的反射比； Td' 漫射透射比； Pa- 漫射反射比。 注2：上述值也可表示为式（4)所示的在波长范围入2～入内的平均值：
()e()()da e()()d)
（4)
2 GB/T26332.1—2010/IS09211-1:1994
式中： E(α)- （光源的)光谱发射率； α(α) （探测器的）光谱灵敏度。 若分光光度计e(>)α(>)为常数，则平均值可用式(5)计算：
-
[" r(a)da r(A)M - 入, 入1
J x
（5）
CaTe
式中：
M= ( )/n
·( 6 )
3.2.5
折射率refractiveindex n(a) 光在真空中的传播速率与在介质中的传播速率之比。
3.2.6
入射角angleofincidence 人射光线与人射表面法线的夹角。
3.2.7
入射面planeofincidence 人射光线与入射表面法线所构成的平面。
3.3
色度参数 colorimetric parameters 镀膜表面在视觉应用方面可用色度参数来表示。这些参数取决于所应用的参考光源和镀膜表面的
光学特性。 3. 4
偏振polarization 当入射角不为零时，薄膜的特性与入射光的偏振态有关，且将影响出射光的偏振态。这时有必要说
明电矢量的方向与入射面之间的关系。 3.4.1
线偏振光linearlypolarizedradiation 当电失量的方向保持不变时的偏振光。 S偏振是指电矢量与入射面正交的线偏振光。 P偏振是指电矢量与人射面平行的线偏振光。
3.4.2
圆偏振光 elliptically polarized radiation 当电矢量投影到与传播方向正交的平面上形成个椭圆时的偏振光。
3.4.3
圆偏振光circularlypolarizedradiation 当电矢量投影到与传播方向正交的平面上形成一个圆时的偏振光。
3.4.4
非偏振光 unpolarized radiation 其电矢量可分解成为相互垂直的具有不同相位差的任意两个电矢量，这两个电矢量的平均振幅相
同，但其相位差是完全随机变化的。 3.4.5
任意偏振光 randomly polarized radiation 电矢量方向随时间随机变化的偏振光。
3 GB/T26332.1-2010/ISO9211-1:1994
3.5相位关系phaserelations 3.5.1
相变phasechange 电磁波在空间中某一点的电矢量可用式(7)来描述：
E=Acos 2元u Φ
(7)
式中： E电失量 A- 振幅；
在介质中的传播速率；时间；
入——在介质中的波长； Φ—相位。 该波和一个参考波之间的相位差(Φ一Φ。）称为相变。参考波的电矢量用式(8)表示：
EAcos
....(8)
3.5.2
相位延迟和相位差phaseretardationanddifference 相位延迟是电矢量的S分量和P分量之间相变的结果，变化的幅值称为相位差。
按功能定义薄膜
4
按功能来定义薄膜，即按薄膜对表面特性所实现的主要调制功能来定义薄膜。 表1列出了当前技术条件下光学薄膜能实现的主要功能。这些功能将来还可能扩展，以包含更多
新的方面。
某种薄膜能够实现表1列出的一种主要功能，也可能同时具有其他一种或几种次要功能，这些次要功能相对主要功能的重要性也应当标明。
表1按功能定义薄膜
功 能
应用的例子
定 义
在指定的波长范围内能增加光学表面反射率的薄膜在指定波长范圃内能减小光学表面的反射率而通常增加透射率的薄膜能把入射光分成两束光的薄膜，一束透射，另一束反射，在指定光谱范围内能量分配无波长选择性在指定波长范围内，无波长选择性地减小透射率的薄膜在指定波长范围内，有波长选择性地透射的薄膜通过透射或反射，将人射光分为两束或多束的薄膜，每束覆盖一个特定的光谱区域。逆向传播即可把不同光谱区域的两束或多束光合并
反射 reflecting
反射镜
减反射 antireflecting
限制寄生反射
中性分束镜部分反射镜
分束 beam splitting
衰减 attenuating
中性密度滤光片
滤光 filtering
滤光片
分色或合色 selecting or combining
二向分色镜合色镜
4 GB/T26332.1—2010/ISO9211-1:1994
表1 (续) 定 义
应用的例子
功 能
在指定波长范圖内，能控制出射光偏振态的 偏振片薄膜
偏振 polarizing
消偏振片
在指定波长范围内，能控制出射光的相变，并 相位匹配薄膜且（或者）能控制矢量S和P之间相位差的薄膜
相变 phase changing
相位延迟薄膜
在指定波长范圈内，定量吸收人射光能量的 太阳镜
吸收 absorbing 附属功能 supplementary function 5 常见的薄膜缺陷定义 5.1点缺陷 point-like imperfections 5. 1. 1
光陷饼电导体化学或机械防护
薄膜
具有与光学功能相结合的非光学功能的薄膜
针孔pinhole 非常小的薄膜孔洞。
5.1.2
溅点spatter 在真空镀膜过程中，小块材料飞溅到基片表面并附着在基片上所造成的缺陷。
5.1.3
微粒 particle 薄膜上或内部的微小颗粒。
5.1. 4
细微灰尘 finedust 附着在薄膜表面上的微小物质。
5.1.5
节瘤 nodule 薄膜表面微小的结节状缺陷。
5.2线缺陷line-likeimperfections 5.2.1
划痕scratch 表面像被利器或粗糙器械所伤的斑痕或裂痕。各种意外原因都可能使光学表面产生不同程度的
划痕。 5.2.2
细划痕hairline 非常细且光滑的划痕，通常是直的。
5.2.3
裂纹crack 在光学元件材料内部产生的裂痕。
5.2.4
龟裂crazing 膜层中的小裂纹。
5