ICS 17.180 CCS N 30
GB
中华人民共和国国家标准
GB/T26332.6—2022
光学和光子学 光学薄膜第6部分：反射膜基本要求
Optics and photonics--Optical coatings-
Part 6:Minimum requirements for reflecting coatings
(ISO9211-6:2018，MOD)
2023-05-01实施
2022-10-12发布
国家市场监督管理总局
国家标准化管理委员会 发布 GB/T26332.6—2022
目 次
前言引言
范围 2 规范性引用文件 3
1
术语和定义符号标识… 图示标识
4 5 6 材料和膜层结构 A
5
2
基本要求典型反射光谱曲线示意图
9 GB/T26332.6—2022
前言
本文件按照GB/T1.1一2020《标准化工作导则第1部分：标准化文件的结构和起草规则》的规定起草。
本文件是GB/T26332《光学和光子学光学薄膜》的第6部分。GB/T26332已经发布了以下部分：
第1部分：定义；一第2部分：光学特性；第3部分：环境适应性；第4部分：规定的试验方法；第5部分：减反射膜基本要求；一第6部分：反射膜基本要求；
第7部分：中性分束膜基本要求；
-
第8部分：激光光学薄膜基本要求。 本文件修改采用ISO9211-6：2018《光学和光子学光学薄膜第6部分：反射膜基本要求》。 本文件与ISO9211-6：2018的技术差异及其原因如下：
-
在“术语和定义”的引导语中删除了关于维护ISO和IEC的“标准化术语数据库”内容（见第3 章），因为我国的国家标准中不涉及维护ISO和IEC的“标准化术语数据库”内容；在“符号标识”中删除了“coating"字样（见第4章）。因为与“REcoating”相比，写为“RE”既简
-
洁明了又不会引起歧义，同时符合行业的应用习惯；用规范性引用的GB/T26332.1代替ISO9211-1（见第3章），GB/T26332.2代替ISO9211-2 （见第8章），以适应我国的技术条件；因在文中引用到了具体试验方法序号，用规范性引用的GB/T26332.3一2015代替ISO9211-3 （见7.6、7.7、7.8)，GB/T26332.4—2015代替ISO9211-4（见7.4、7.5)，GB/T12085.2—2022代替 ISO9022-2（见7.9），以适应我国的技术条件。
本文件做了下列编辑性改动：一在“基本要求”中将国际标准原文中“表2”和“表3”的表格描述方式更改为条文描述方式（见第
7章)。 请注意本文件的某些内容可能涉及专利。本文件的发布机构不承担识别专利的责任。 本文件由中国机械工业联合会提出。 本文件由全国光学和光子学标准化技术委员会（SAC/TC103)归口。 本文件起草单位：沈阳仪表科学研究院有限公司、同济大学、中国科学院大连化学物理研究所、浙江
大学、上海唯视锐光电技术有限公司、中国兵器工业标准化研究所、青岛海泰新光科技股份有限公司、 四川龙华光电薄膜股份有限公司。
本文件主要起草人：赵帅锋、任少鹏、高鹏、王瑞生、费书国、阴晓俊、程鑫彬、王锋、章岳光、李野、 班超、刘博文、姚春龙、马敬、金秀、胡雯雯、吴增辉、李文龙、王蔚生、沈晓彦、辜长明、李智军。
I GB/T26332.6—2022
引言
光学薄膜元件广泛地应用于与光学和光子学相关的各类科学技术领域中，用于实现反射、分束、滤光等不同的光学功能，是光学系统中不可替代的重要组成部分。随着科技的不断进步，光学薄膜元件向着性能要求更高、需求种类更加多样化的方向发展。因此有必要针对光学薄膜技术，专门制定一套技术内容与国际接轨的国家标准。这既有利于推动我国光学薄膜行业规范有序发展，又能更好地促进相关领域的贸易、交流和技术合作。GB/T26332《光学和光子学光学薄膜》就是在这种背景下起章制定的。
GB/T26332采用国际标准ISO9211系列，拟由八个部分构成：
第1部分：定义。目的在于规范与光学薄膜相关的通用术语的技术表述一第2部分：光学特性。目的在于规范光学薄膜各类光谱特性的描述方式。
第3部分：环境适应性。目的在于确立考察光学薄膜元件环境适应性所适用的环境试验方法。 第4部分：规定的试验方法。目的在于补充规定几种环境试验方法的详细技术要求，第3部分中引用了其中的试验方法。 第5部分：减反射膜基本要求。目的在于规定用减反射膜的基本要求。 第6部分：反射膜基本要求。目的在于规定常用金属反射膜的基本要求。 第7部分：中性分束膜基本要求。目的在于规定常用中性分束膜的基本要求。
-
第8部分：激光光学薄膜基本要求。目的在于规定常用激光光学薄膜的基本要求。 GB/T26332系列标准的前四个部分是针对光学薄膜的通用规范，其余部分针对特定应用方向的
光学薄膜规定了基本的技术要求。本文件针对的是在光学系统中广泛应用的反射膜。反射膜的主要功能是增加光学表面的反射，常用于各种反射镜的表面。本文件根据铝或银的金属反射膜的不同特点进行了分类，提出了命名规则和图示标识方法，同时给出了相应光谱特性、环境适应性和薄膜缺陷的技术要求。
I GB/T26332.6—2022
光学和光子学光学薄膜第6部分：反射膜基本要求
1范围
本文件规定了金属反射膜的光学特性、机械性能、化学稳定性和环境适应性的基本要求。 本文件适用于光学领域应用的基于铝或银的金属反射膜。本文件既满足薄膜制造商选择材料和制
备方法的要求，也使用户准确理解该薄膜产品的相关量化规定。
2规范性引用文件
下列文件中的内容通过文中的规范性引用而构成本文件必不可少的条款。其中，注日期的引用文件，仅该日期对应的版本适用于本文件；不注日期的引用文件，其最新版本（包括所有的修改单）适用于本文件。
GB/T12085.2一2022光学和光子学环境试验方法第2部分：低温、高温、湿热（ISO9022-2： 2015,MOD)
GB/T26332.1光学和光子学光学薄膜第1部分：定义（GB/T26332.1—2018，ISO9211-1： 2010,IDT)
GB/T26332.2光学和光子学光学薄膜第2部分：光学特性（GB/T26332.2—2015， ISO 9211-2:2010,IDT)
GB/T26332.3—2015光学和光子学光学薄膜第3部分：环境适应性（ISO9211-3：2008， IDT)
GB/T26332.4一2015光学和光子学光学薄膜第4部分：规定的试验方法（ISO9211-4：2012， IDT)
ISO10110-7光学和光子学光学元件和系统的制图准备第7部分：表面疵病（Opticsand photonics—Preparation of drawings for optical elements and systemsPart 7:Surface imperfections)
ISO10110-8光学和光子学光学元件和系统的制图准备第8部分：表面微观轮廊（Opticsand photonics—Preparation of drawings for optical elements and systemsPart 8:Surface texture)
ISO10110-9光学和光子学光学元件和系统的制图准备第9部分：表面处理和镀膜（Optics and photonics—Preparation of drawings for optical elements and systemsPart 9:Surface treatment and coating)
ISO13696光学和光学仪器光学元件散射的测试方法（Opticsandopticalinstruments一Test methods forradiation scattered by optical components)
3术语和定义
GB/T26332.1界定的以及下列术语和定义适用于本文件。
3.1
反射膜reflectingcoating 镜面反射膜mirrorcoating 在规定的光谱区域内具有高反射功能的薄膜。
- GB/T26332.6—2022
3.2
前表面反射膜frontsurfacemirrorcoating 具有如下特征的薄膜：人射光线首先到达位于基底前表面的薄膜，经薄膜反射后，反射光线远离
基底。 3.3
后表面反射膜 rear surfacemirror coating R 具有如下特征的薄膜：人射光线通过基底后到达其后表面的薄膜，经该薄膜反射后，反射光线射向
基底。 3.4
铝膜aluminiumfilm Al 铝镀制的金属膜。
3.5
银膜silverfilm Ag 银镀制的金属膜。
3.6
保护膜 protectivecoating GS 人射介质与反射膜（见3.1)之间具有保护功能的薄膜。
3.7
增强反射膜 reflectionincreasingcoating RI 在金属膜上镀制的用于进一步增强反射性能的介质膜。
4符号标识
反射膜的符号标识应参照下例：镀有保护膜(GS)的前表面反射铝膜（Al)，反射波长范围在400nm680nm，应标识为： RE GB/T 26332.6-A1-GS-400-680 应使用以下缩写：
A1前表面铝反射膜（无保护膜）； A1-GS前表面保护铝反射膜； A1-RI前表面增强铝反射膜； Ag-R后表面银反射膜。
5 5图示标识
在应用本文件对图示标识时，ISO10110-9中规定的光学薄膜符号④应与第4章中的符号标识联用。
2 GB/T26332.6—2022
6材料和膜层结构
前表面反射膜和后表面反射膜有不同的材料和膜层结构，见表1。
表1材料和膜层结构材料
代码 Al Al-GS AI-RI Ag-R
反射膜
膜层结构无保护膜有保护膜有增强反射膜
铝
前表面反射膜
银
后表面反射膜
7 基本要求
7.1 通则
如无特殊要求，反射膜的基本要求应符合7.2～7.10的规定。 7.2光谱反射比
反射膜的光谱反射比可通过对同类材质平面基底上同次镀膜样品的测量获得。 测量光谱反射比时，使用非偏振光（偏振度为0），相应入射角为45°。 a）铝膜Al：
·在400nm~600nm波长范围内，光谱反射比：p≥0.89； 。在（>600nm）～780nm波长范围内，光谱反射比：p≥0.86
铝膜的光谱反射比在镀膜后直接测量。 b) 前表面保护铝反射膜A1-GS：
。在400nm～440nm波长范围内，光谱反射比：p≥0.82； ·在（>440nm）620nm波长范围内，光谱反射比：p≥0.86； ·在（>620nm）～700nm波长范围内，光谱反射比：p≥0.82。 前表面增强铝反射膜AI-RI： ·在420nm~500nm波长范围内，光谱反射比：p≥0.88； ·在（>500nm）～600nm波长范围内，光谱反射比：p≥0.93； ·在（>600nm）~700nm波长范围内，光谱反射比：p≥0.88。 后表面银反射膜Ag-R： ·在400nm440nm波长范围内，光谱反射比：p≥0.90； 。在（>440nm）～500nm波长范围内，光谱反射比：p≥0.94； ·在（>500nm）～780nm波长范围内，光谱反射比：p≥0.96。
所用基底的折射率约为1.5、吸收可忽略不计、第二表面无减反射膜（此处的“第二表面”指基底上非 “反射膜面”的另一个表面）。 7.3光谱散射
在基底的表面抛光等级达到ISO10110-8规定的P3、元件表面疵病等级达到ISO10110-7规定的
3 GB/T26332.6-—2022
5/3×0.16的条件下，接照ISO13696要求测得的总散射TS应不大于0.005。
7.4附着力
应符合GB/T26332.4一2015中试验方法02，严酷等级01相关要求和评价规定。试验后膜层应不脱落。 7.5抗摩擦
对于薄膜类型AI-GS和AI-RI,应符合GB/T26332.4一2015中试验方法01，严酷等级01相关要求和评价规定。 7.6抗太阳辐射
应按照GB/T26332.3一2015中试验方法10，严酷等级01进行试验。试验后膜层光学特性应符合 7.2要求，膜层附着力应符合7.4要求。 7.7溶剂溶解性
应符合GB/T26332.3一2015中试验方法12-3，严醋酷等级01相关要求和评价规定，试验允许使用不同类型的溶剂。试验所用溶剂应不影响基底。试验后膜层附着力应符合7.4要求。
薄膜制造商和用户应就本试验的溶剂和化学品达成一致意见。 7.8化学稳定性
应符合GB/T26332.3一2015中试验方法12-3，严醋等级01相关要求和评价规定，试验允许使用
不同类型的溶剂。试验所用化学品应不影响基底。试验后膜层附着力应符合7.4要求。
薄膜制造商和用户应就本试验的溶剂和化学品达成一致意见。 7.9环境适应性
对于反射膜，考察其环境适应性应进行以下试验： a) 低温：GB/T12085.2--2022中试验方法10，严酷等级05； b) 高温：GB/T12085.2一2022中试验方法11，严酷等级04； c) 凝露：GB/T12085.2一2022中试验方法13，严酷等级04； d) 温度渐变：GB/T12085.2一2022中试验方法14，严酷等级02。 在历经上述试验方法后，膜层光学特性应符合7.2要求，膜层附着力应符合7.4要求。
7.10 薄膜缺陷
在直径为50mm的参考区域内应符合ISO10110-7规定的5/C10X0.1。
8 典型反射光谱曲线示意图
图1～图4按照GB/T26332.2的规定给出了反射膜的典型光谱曲线和基本要求。
4