ICS 17.180 CCS N 30
C
中华人民共和国国家标准
GB/T26332.5—2022
光学和光子学 光学薄膜第5部分：减反射膜基本要求
Optics and photonics-Optical coatings-
Part 5:Minimum requirements for antireflecting coatings
(ISO9211-5:2018.MOD)
2022-10-12发布
2023-05-01实施
国家市场监督管理总局
国家标准化管理委员会 发布 GB/T26332.5—2022
目 次
前言引言 1 范围 2 规范性引用文件 3 术语和定义 4 符号标识 5 图示标识 6 基本要求
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典型反射光谱曲线示意图
7 GB/T26332.5—2022
前言
本文件按照GB/T1.1一2020《标准化工作导则 第1部分：标准化文件的结构和起草规则》的规定起草。
本文件是GB/T26332《光学和光子学光学薄膜》的第5部分。GB/T26332已经发布了以下部分：
第1部分：定义； —第2部分：光学特性； ——第3部分：环境适应性；第4部分：规定的试验方法；
第5部分：减反射膜基本要求；第6部分：反射膜基本要求；第7部分：中性分束膜基本要求；
—第8部分：激光光学薄膜基本要求。 本文件修改采用ISO9211-5：2018《光学和光子学光学薄膜第5部分：减反射膜基本要求》。 本文件与ISO9211-5：2018的技术差异及其原因如下：
在“术语和定义”的引导语中删除了关于维护ISO和IEC的标准化术语数据库”内容（见第3 章），因为我国的国家标准中不涉及维护ISO和IEC的“标准化术语数据库”内容；在“符号标识”中删除了“coating”字样（见第4章）。因为与ARcoating”相比，写为“AR”既简洁明了又不会引起歧义，同时符合行业的应用习惯；用规范性引用的GB/T26332.1代替ISO9211-1（见第3章），GB/T26332.2代替ISO9211-2 （见3.4、6.2、6.3、第7章），以适应我国的技术条件；因在文中引用到了具体试验方法序号，用规范性引用的GB/T26332.3一2015代替ISO9211-3 （见6.7、6.8、6.9)，GB/T26332.4—2015代替ISO9211-4（见6.5），GB/T12085.2—2010代替 ISO9022-2(见6.10)，以适应我国的技术条件。
本文件做了下列编辑性改动：
在“基本要求”中将国际标准原文中“表1”和“表2”的表格描述方式更改为条文描述方式（见第 6章); 在“U型减反射膜的光谱反射比要求”中增加了“注：若基底折射率n不在上述范围内，减反射膜的光谱反射比β值由薄膜制造商和用户协商确定”［见6.2a)]。
请注意本文件的某些内容可能涉及专利。本文件的发布机构不承担识别专利的责任。 本文件由中国机械工业联合会提出。 本文件由全国光学和光子学标准化技术委员会（SAC/TC103)归口。 本文件起草单位：沈阳仪表科学研究院有限公司、浙江大学、同济大学、中国科学院大连化学物理研
究所、上海唯视锐光电技术有限公司、中国兵器工业标准化研究所、东莞市宇瞳光学科技股份有限公司、 江西凤凰光学科技有限公司。
本文件主要起草人：费书国、高鹏、王瑞生、任少鹏、阴晓俊、赵帅锋、章岳光、王占山、李刚、张勇喜、 金秀、陈一凡、董明、赵珑现、王忠连、张玲玲、穆佳丽、王银河、王蔚生、梁昀、米士隆、曹建宁。
Ⅱ GB/T26332.5—2022
引言
光学薄膜元件广泛地应用于与光学和光子学相关的各类科学技术领域中，用于实现反射、分束、滤光等不同的光学功能，是光学系统中不可替代的重要组成部分。随着科技的不断进步，光学薄膜元件向着性能要求更高、需求种类更加多样化的方向发展。因此有必要针对光学薄膜技术，专门制定一套技术内容与国际接轨的国家标准。这既有利于推动我国光学薄膜行业规范有序发展，又能更好地促进相关领域的贸易、交流和技术合作。GB/T26332《光学和光子学光学薄膜》就是在这种背景下起草制定的。
GB/T26332采标ISO9211系列，拟由八个部分构成：
第1部分：定义。目的在于规范与光学薄膜相关的通用术语的技术表述。 第2部分：光学特性。目的在于规范光学薄膜各类光谱特性的描述方式。 第3部分：环境适应性。目的在于确立考察光学薄膜元件环境适应性所适用的环境试验方法。 第4部分：规定的试验方法。目的在于补充规定几种环境试验方法的详细技术要求，第3部分中引用了其中的试验方法。
-一第5部分：减反射膜基本要求。目的在于规定常用减反射膜的基本要求。 一第6部分：反射膜基本要求。目的在于规定常用金属反射膜的基本要求。 一第7部分：中性分束膜基本要求。目的在于规定常用中性分束膜的基本要求。 一第8部分：激光光学薄膜基本要求。目的在于规定常用激光光学薄膜的基本要求。 GB/T26332系列标准的前四个部分描述的是针对光学薄膜的通用规范，其余部分针对特定应用
方向的光学薄膜规定了基本的技术要求。GB/T26332.5针对的是在光学系统中广泛应用的减反射膜。 减反射膜的主要功能是减少光学表面的反射进而提高光学系统性能。GB/T26332.5根据常用减反射膜的光谱特点进行了分类定义，提出了符号标识和图示标识方法，同时给出了相应光谱特性、环境适应性和薄膜缺陷的技术要求。
IV GB/T26332.5—2022
光学和光子学光学薄膜第5部分：减反射膜基本要求
1范围
本文件规定了减反射膜的光学特性、机械性能、化学稳定性和环境适应性的基本要求。 本文件适用于光学领域应用的减反射膜。本文件既可以满足薄膜制造商选择材料和制备方法的要
求，也可以使用户准确理解该薄膜产品的相关量化规定。
2规范性引用文件
下列文件中的内容通过文中的规范性引用而构成本文件必不可少的条款。其中，注日期的引用文件，仅该日期对应的版本适用于本文件；不注日期的引用文件，其最新版本（包括所有的修改单）适用于本文件。
GB/T12085.2一2010光学和光学仪器环境试验方法第2部分：低温、高温、湿热（ISO9022-2： 2002,MOD)
GB/T26332.1光学和光子学光学薄膜第1部分：定义（GB/T26332.1—2018，ISO9211-1： 2010,IDT)
GB/T26332.2光学和光子学 光学薄膜 第2部分：光学特性（GB/T26332.2—2015， ISO 9211-2:2010,IDT)
GB/T26332.3—2015光学和光子学光学薄膜第3部分：环境适应性（ISO9211-3：2008， IDT)
GB/T26332.4一2015光学和光子学光学薄膜第4部分：规定的试验方法（ISO9211-4：2012， IDT)
ISO10110-7光学和光子学光学元件和系统的制图准备第7部分：表面疵病（Opticsand photonicsPreparation of drawings foroptical elements and systems—Part 7:Surface imperfections)
ISO10110-8光学和光子学光学元件和系统的制图准备第8部分：表面微观轮廊（Opticsand photonics-Preparation of drawings for optical elements and systems—Part 8:Surface texture)
ISO10110-9光学和光子学光学元件和系统的制图准备第9部分：表面处理和镀膜（Optics and photonics—Preparation of drawings for optical elements and systems-Part 9:Surface treatment and coating)
ISO13696光学和光学仪器光学元件散射的测试方法（Opticsandopticalinstruments一Test methods for radiation scattered by optical components)
3术语和定义
GB/T26332.1界定的以及下列术语和定义适用于本文件。
3.1
U型减反射膜antireflectingcoatingtypeU 在波长入，处有单一最小反射率的单层减反射膜。 GB/T26332.5-—2022
注：光谱位置和最小反射率的值是由膜层厚度、膜料折射率和基底决定的（见图1)。
3.2
V型减反射膜 莫antireflectingcoatingtypeV 在波长入，处有单一最小反射率的双层减反射膜。 注：与U型相比，其反射光谱斜率更陡。其最小反射率的要求值更低，且与基底的折射率不相关（见图2)。
3.3
W型减反射膜 莫antireflectingcoatingtypeW 涵盖边界值为入，和入2的较大光谱区域的多层减反射膜（入2/入，≥1.57），其反射率的要求值与基底
的折射率不相关。
注：W型减反射膜的典型反射光谱曲线示意图见图3。
3.4
X型减反射膜 antireflecting coating type X 与U型、V型和W型都不相同的多层减反射膜，其减反射特性可用GB/T26332.2中的方式来
描述。
4符号标识
减反射膜的符号标识应按照以下格式：边界值入，=420nm和入2=660nm的W型减反射膜应标识为： ARGB/T26332.5-W-420-660
5图示标识
在应用本文件对图示标识时，②(ISO10110-9中规定的光学薄膜符号）应与第4章中的符号标识联用。
6基本要求
6.1通则
如无特殊要求，减反射膜的基本要求应符合6.2～6.11的规定。 6.2光谱反射比
减反射膜的光谱反射比可通过对同类材质平面基底上同次镀膜样品的测量获得。测量光谱反射比时，相应入射角应小于15°。光谱反射比要求如下：
a)U型:
1）当1.451.7时，p(>）≤0.01。
注：若基底折射率n不在上述范围内，减反射膜的光谱反射比β值由薄膜制造商和用户协商确定。 b）V型:p(a,)≤0.002。 c）W型：当入2/入≥1.57时，p(入入2）0.005。 d）X型：应符合GB/T26332.2要求。 2 GB/T26332.5—2022
6.3光谱吸收比
光谱吸收比要求如下： a）U型和V型减反射膜的光谱吸收比α应小于0.002； b）“W型减反射膜的光谱吸收比α应小于0.005； c）X型减反射膜的光谱吸收比α应符合GB/T26332.2要求。
6.4光谱散射
在基底满足表面抛光等级达到P3（依据ISO10110-8）、元件表面疵病等级达到5/3×0.16（依据 ISO10110-7)的条件下，测得的总散射TS(依据ISO13696)应不大于0.005。 6.5 5附着力
应符合GB/T26332.4一2015中试验方法02，严酷等级01相关要求和评价规定。试验后膜层不应脱落。 6.6抗摩擦
应符合GB/T26332.4一2015中试验方法01，严酷等级03相关要求和评价规定。 6.7抗太阳辐射
应按照GB/T26332.3一2015中试验方法10，严醋等级01进行试验。试验后膜层光学特性应符合 6.2要求，膜层附着力应符合6.5要求。 6.8溶剂溶解性
应符合GB/T26332.3--2015中试验方法12-3，严酷等级01相关要求和评价规定，试验允许使用不同类型的溶剂。试验所用溶剂应不影响基底。试验后膜层附着力应符合6.5要求。
薄膜制造商和用户应就本试验的溶剂和化学品达成一致意见。 6.9化学稳定性
应符合GB/T26332.3--2015中试验方法12-3，严酷等级01相关要求和评价规定，试验允许使用不同类型的溶剂。试验所用化学品应不影响基底。试验后膜层附着力应符合6.5要求。
薄膜制造商和用户应就本试验的溶剂和化学品达成一致意见。 6.10环境适应性
对于减反射膜，考察其环境适应性应进行以下试验： a）低温：GB/T12085.2—2010中试验方法10，严酷等级05； b）·高温：GB/T12085.2—2010中试验方法11，严醋等级04； c) 凝露GB/T12085.2--2010中试验方法13，严酷等级04； d）温度渐变：GB/T12085.2一2010中试验方法14，严醋等级02。 在历经上述试验方法后，膜层光学特性应符合6.2要求，膜层附着力应符合6.5要求。
6.11薄膜缺陷
在直径为50mm的参考区域内应符合：5/C10×0.1（依据ISO10110-7）。
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