ICS 17.180 CCS N 30
GP
中华人民共和国国家标准
GB/T 26332.8—2022
光学和光子学 光学薄膜第8部分：激光光学薄膜基本要求
OpticsandphotonicsOptical coatings-
Part 8: Minimum requirements for coatings used for laser optics
(ISO9211-8:2018，MOD)
2023-05-01实施
2022-10-12发布
国家市场监督管理总局国家标准化管理委员会
发布 GB/T26332.8—2022
目 次
前言引言 1 范围 2 规范性引用文件 3 术语和定义 4 光学性能 5 光学性能指标及偏离度的标识方法 6 图示标识 7 材料和膜层结构
I
2
2
2
...
2
2
基本要求
8
2 GB/T 26332.8—2022
前言
本文件按照GB/T1.1一2020《标准化工作导则第1部分：标准化文件的结构和起草规则》的规定起草。
本文件是GB/T26332《光学和光子学光学薄膜》的第8部分。GB/T26332已经发布了以下部分：
第1部分：定义；第2部分：光学特性；
-
—第3部分：环境适应性；
-第4部分：规定的试验方法；一第5部分：减反射膜基本要求；一第6部分：反射膜基本要求；一第7部分：中性分束膜基本要求；一第8部分：激光光学薄膜基本要求。 本文件修改采用ISO9211-8：2018《光学和光子学光学薄膜第8部分：激光光学薄膜的基本要
求》。
本文件与ISO9211-8：2018的技术差异及其原因如下：
在“术语和定义”的引导语中删除了关于维护ISO和IEC的“标准化术语数据库”内容（见第3 章）。因为我国的国家标准中不涉及维护ISO和IEC的“标准化术语数据库”内容，因此删除该内容；用规范性引用的GB/T26332.1一2018代替ISO9211-1（见第3章、第4章）， GB/T26332.2一2015代替ISO9211-2（见第5章），以适应我国的技术条件；因在文中引用到了具体试验方法序号，用规范性引用的GB/T26332.3一2015代替 ISO9211-3，GB/T26332.4—2015代替ISO9211-4，GB/T12085.2—2010代替 ISO9022-2，GB/T16601.1—2017代替ISO21254-1，GB/T16601.2—2017代替 ISO21254-2，GB/T37396.1--2019.代替ISO11151-1；2015，GB/T37396.2—2019代替 ISO11151-2：2015，GB/T38245---2019代替ISO11551（见第8章），以适应我国的技术条件。
本文件做了下列编辑性改动：
表2～表6标题中增加了波长范围，避免上下表波长范围有交叉；表2～表6中“参数/基本要求”内容中各数值前加人不等式运算符号。
请注意本文件的某些内容可能涉及专利。本文件的发布机构不承担识别专利的责任。 本文件由中国机械工业联合会提出。 本文件由全国光学和光子学标准化技术委员会（SAC/TC103)归口。 本文件起草单位：中国科学院大连化学物理研究所、沈阳仪表科学研究院有限公司、同济大学、浙江
大学、中国科学院空天信息创新研究院、中国科学院上海光学精密机械研究所、中国兵器工业标准化研究所、张家港志辰光学技术有限公司、福建福晶科技股份有限公司。
本文件主要起草人：王锋、李刚、金玉奇、邓淞文、阴晓俊、高鹏、赵帅锋、程鑫彬、章岳光、麻云凤、 赵元安、曲亦歆、叶小兵、陈秋华。
I GB/T 26332.8—2022
引言
光学薄膜元件广泛地应用于与光学和光子学相关的各类科学技术领域中，用于实现反射、分束、滤
光等不同的光学功能，是光学系统中不可替代的重要组成部分。随着科技的不断进步，光学薄膜元件向着性能要求更高、需求种类更加多样化的方向发展。因此有必要针对光学薄膜技术，专门制定一套技术内容与国际接轨的国家标准。这既有利于推动我国光学薄膜行业规范有序发展，又能更好地促进相关领域的贸易、交流和技术合作。GB/T26332《光学和光子学光学薄膜》就是在这种背景下起草制定的。
GB/T26332采用国际标准ISO9211系列，拟由八个部分构成：
第1部分：定义。目的在于规范与光学薄膜相关的通用术语的技术表述， - 第2部分：光学特性。目的在于规范光学薄膜各类光谱特性的描述方式。 第3部分：环境适应性。目的在于确立考察光学薄膜元件环境适应性所适用的环境试验方法。 第4部分：规定的试验方法。目的在于补充规定几种环境试验方法的详细技术要求，第3部分
中引用了其中的试验方法。 第5部分：减反射膜基本要求。目的在于确立常用减反射膜的基本要求。
-
- 第6部分：反射膜基本要求。目的在于确立常用金属反射膜的基本要求
第7部分：中性分束膜基本要求。目的在于确立常用中性分束膜的基本要求 - 第8部分：激光光学薄膜基本要求。目的在于确立常用激光光学薄膜的基本要求。
GB/T26332系列标准的前四个部分描述的是光学薄膜的通用规范，其余部分针对特定应用方向的光学薄膜规定了基本的技术要求。GB/T26332.8针对的是在激光光学系统中广泛应用的激光薄膜。
I GB/T26332.8—2022
光学和光子学光学薄膜第8部分：激光光学薄膜基本要求
1范围
本文件规定了激光光学用薄膜的光学性能尤其是激光功率承载能力、机械性能、化学耐受性和环境适应性等方面的基本要求。
本文件适用于激光领域应用的光学薄膜。本文件既可以满足薄膜制造商选择材料和制备方法的要求，也可以使用户准确理解该薄膜产品的相关量化规定。
2规范性引用文件
下列文件中的内容通过文中的规范性引用而构成本文件必不可少的条款。其中，注日期的引用文件，仅该日期对应的版本适用于本文件；不注日期的引用文件，其最新版本（包括所有的修改单）适用于本文件。
GB/T12085.2一2010光学和光学仪器环境试验方法第2部分：低温、高温、湿热（ISO9022- 2:2002,MOD)
GB/T16601.1—2017 激光器和激光相关设备激光损伤阅值测试方法第1部分：定义和总则 (ISO21254-1:2011,MOD)
GB/T16601.2—2017 激光器和激光相关设备 激光损伤阈值测试方法第2部分：阅值确定 (ISO21254-2:2011,MOD)
GB/T26332.1—2018 8光学和光子学 光学薄膜 第1部分：定义（ISO9211-1：2010，IDT） GB/T26332.2-2015光学和光子学光学薄膜第2部分：光学特性（ISO9211-2：2010，IDT） GB/T26332.3—2015 5光学和光子学光学薄膜第3部分：环境适应性（ISO9211-3：2008，
IDT)
GB/T26332.4—2015 光学和光子学 光学薄膜 第4部分：规定的试验方法（ISO9211-4： 2012,IDT)
GB/T37396.1—2019 9： 激光器和激光相关设备 标准光学元件第1部分：紫外、可见和近红外光谱范围内的元件(ISO11151-1：2015，MOD)
GB/T37396.2-2019激光器和激光相关设备标准光学元件第2部分：红外光谱范围内的元件（ISO11151-2：2015，MOD)
GB/T38245一2019光学和光学仪器激光器和激光相关设备激光光学元件吸收率测试方法 (ISO11551:2003,MOD)
ISO10110-9：2016光学和光子学光学元件和系统制图准备第9部分：表面处理与镀膜 (Optics and photonics-Preparation of drawings for optical elements and systems—Part 9:Surface treatment and coating)
ISO13696：2002光学和光学仪器光学元件散射辐射的测试方法（Opticsandopticalinstru mentsTest methods for radiation scattered by optical components)
1 GB/T26332.8—2022
3术语和定义
GB/T26332.1一2018界定的术语和定义适用于本文件。
4光学性能
本文件适用于进行过表面处理的激光元件和基底，其指标应满足GB/T26332.1一2018的要求。 元件字母代码应根据GB/T26332.1一2018编制，并增加首字母“L”，说明其用于激光系统。
5光学性能指标及偏离度的标识方法
激光光学薄膜的光学性能和光谱特征要求的标识方法应满足GB/T26332.2一2015的规定。 示例1： L-HR GB/T 26332.8 p(1 064 nm)>0.999 L-AR GB/T 26332.8 p,(1 030 nm, 45°)<0.01 对于低功率应用应增加附加符号“LOW”，详细要求见第8章。 示例2： L-HR GB/T 26332.8 p(633 nm)>0.999 LOW
6图示标识
在应用本文件对图示标识时，②(ISO10110-9：2016中规定的光学薄膜符号)应与第5章中的符号标识联用。
7材料和膜层结构
膜层的基本要求由激光的应用领域以及可选适用的基底和膜层材料决定。膜层材料的使用和膜层结构的设计取决于元件的工作情况，尤其取决于使用波长。
8基本要求
本文件提出的基本要求是针对未经处理的薄膜样品。在性能测试前可以根据薄膜制造商推荐的清洁方法对薄膜表面进行清洁处理。可以商定其他要求并做记录。
所有种类的元件至少应满足表1中给出的附着力、清洁度、化学稳定性、环境适应性和表面缺陷的基本要求。这些要求对于任何种类的元件均相同
薄膜样品指标应满足表2至表6中给出的各种波长范围的基本要求，且对于低功率激光和高功率激光应用有不同要求。低功率激光应用是指能量密度低于5mJ/cm或线性功率密度低于10W/cm。 表2～表6中给出的损伤阈值要求仅针对高功率激光应用。
如果需要，可以应用其他规格的附着力、清洁度、化学耐久性、环境耐久性和表面缺陷要求，或规定进一步的处理方法。
2 GB/T26332.8—2022
表1 附着力、清洁度、化学稳定性、环境适应性和表面缺陷的基本要求
序号 1 2
特性
参数/基本要求
附着力清洁度
按照GB/T26332.4一2015中试验方法02进行试验，严酷等级应满足03要求清洗方法和循环次数由客户和制造商共同商定试验所用溶剂应不影响基底。 溶剂溶解度按照GB/T26332.3-2015中试验方法12-3进行试验，严酷等级应满足01要求。除丙酮和乙醇外，其他溶剂经客户和制造商双方同意方可使用。 膜层附着力应满足GB/T26332.4一2015中试验方法02进行试验，严酷等级应满足01要求条件试验方法依据GB/T12085.2—2010 严酷等级应满足
化学稳定性
3
05 05 01 01
10：低温 11:高温 13：凝露 14:温度渐变依据GB/T37396.1—2019和GB/T37396.2—2019
4
环境适应性
表面缺陷* 表面缺陷针对的是直径为20mm的圆形测试区域。
5
4
表2 波长范围150nm 序号
功能
参数/基本要求
吸收率依据GB/T38245—2019测量高功率范围 ≤2X10-2
低功率范围 ≤3X10-1 ≤3×10-2 ≤3X10-2
1
高反膜部分反射膜、分光膜 ≤2×10-2 减反射膜
≤1×10-2 总散射依据ISO13696：2002测量高功率范围 ≤2×10-2
低功率范围 ≤3×10-2 ≤3×10-2 ≤1×10-2
2
高反膜部分反射膜、分光膜 ≤2×10-2 减反射膜
≤1X10-2
3