ICS 77. 150. 98 CCSH8
YS
中华人民共和国有色金属行业标准
YS/T1555--2022
铂钻铬硼合金溅射靶材 Platinum-cobali-chromiuru-boron alloys sputtering targe
2022-09-30发布
2023-04-01实施
中华人民共和国工业和信息化部 发布 YS/T1555-2022
前言
本文件按照GB/T1.12020标准化工作导期第1部分：标痛化文件的踏格和超草规则》的规定起草。
请注意本文件的某些内容可能涉发专利。本文件的发布机构不承拍识别专利的资任。 本文件由全国有色金愿标准化技术委员会（SAC/TC243）提出并归日口：本文件起草单位：贵研铂业股份有限公司，有研亿金新材料有限公司、有色金爆技术经济研究院有限
资任公司。
本文件主要起幸人谭志龙、王传军、闻明、高岩、向题，郭做梅、陈家林。沈月、许庭享、管伟明、 米武。 Y8T1555-2022
铂钻铭码合金溅射靴材
1范园
本文件规定了铂结格确合金费射想材的分类和标记，技术要求、试验方法，检验规则、标志、包装，送输、存及障行文件和订货年内容。
本文件送用于以高纯钻，络、铂，颈为愿料，经真空烤待或粉末治金结韩等工艺制得的铂铭馨合金爱射艳材，产品主要用于机械爱意焦存储介费的数记录层材料。
2润范性引用文件
下列文件中的内容通过文中的规范性可用闻构成本文件必不可少的能意。其中，流日期的引用文件：仅诚日期对魔的版本适用于本文件：不注日期的用文件，最新服本（包活房有的修改单）造用于本文件。
GET180一毅公蓝注公整的线性和角度尺寸的公差 GB/T5163燃结合属材科（不包括便质合金）可渗性能结金腰材料密度、含滴率和开孔率的定 GB/T13748.18钱发健合金化学分析方法复含置的测定领化银油魔法 GH/T14265金属材料中算、题氮，碳瓶硫分新方法道用 GB/T15072.3贵费金覆合金化学分析方法金、铂肥合金中铂量的潮定高锰酸评电流满定法 GB/T15823无损检，，航报罐检测方送 GJB1580A变球金属超声检验方法 SN/T4242 进出口敏铁翻承徽材料中敏、饰、罐，领、铝、研、铝的潮定电感帮合等商子体原子发
射光谱法
YS/T83T 裁射靶材一育板结合质量短声被检验方法 YS/T 1011 高纯钱化学分折方法亲质元囊食录的测定辉光放电质谱法 YS/T112A 滋性材进磁率洲试方法 YS/T1330.1 钻储烤靠合金化学分析方送第1部分：销含童的测定我微法和电位满定法 YS/T1330.2钻络烤瓷合金化学分析方法第2部分：络含盒的测定硫骏亚铁按滴定法
3术激和定义
本文件淡有需照界定的术恶和定义。
4分类和檬记
41产品分类 41.1按照转构形式分为单体和焊接商种，单体用S表示，样换用B衣示。 41.2按服产品纯度分为99.95%，99.99%租99.985%三种。
1 YS/T1555—2022
4.1.3按照合金成分分为Pt42CoCrB、Pt41CoCrB两种。
4.2产品标记
产品标记按合金牌号、产品纯度、规格尺寸的顺序表示，或者依据客户要求确认。 示例：质量分数为Pt42%、Cr15%、B1.5%，余量为Co，纯度要求99.95%，尺寸规格直径165mm，厚度9mm的单体靶
材，标记为：
Pt42CoCrB-99. 95-S,Φ165X9
技术要求 5. 1 化学成分 5. 1.1 合金成分
5
铂钻铬硼靶材的合金成分见表1。
表1 铂钻铬硼靶材的合金成分及允许偏差
合金成分（质量分数)/%
产品代码
合金牌号 Pt42CoCrB Pt41CoCrB
Cr 15±0.3 15±0.3
Co 余量余量
B 1.5±0.3 1.0±0.3
Pt 42±0.3 41±0.3
CoCr15Pt42B1.5 CoCr15Pt41B1
5.1.2 金属杂质成分
铂钻铬硼靶材的金属杂质成分应符合表2的规定。
表2 铂钴铬硼靶材的金属杂质成分
99. 99% 0. 002 0.0002 0. 0005 0. 0005 0.0002 0. 0002 0.0002 0. 0002 0. 0004 0. 0004 0. 005 0.0002 0. 002 0. 01
99.995% 0. 001 0.0002 0.0005 0.0005 0.0002 0.0002 0.0002 0. 0002 0. 0004 0. 0004 0. 001 0.0002 0. 001 0.005
99.95% 0. 005 0. 002 0. 005 0. 01 0. 002 0. 002 0.002 0. 004 0.002 0. 002 0. 01 0. 004 0. 005 0. 05
产 品 纯度
Al Cu Fe Ir V w Ti Mo K Na Ni Zr
杂质含量（质量分数)/%，
不大于
其他单个金属杂质
杂质总量，不大于杂质总量为表中所列元素的总量加客户指定的其他单个金属杂质含量实测值的和。
2 S/T1555---2022
表4辉接质最求好金隆 N onN 品 电子车能#量医求
螺才戏舒馨护教葬
卓个烧础面权占总需锁北制，单个能不大卡路照草个快路国机下大子
猴激10- P2 * 2*/a
经医育式
校
57其馆
静方有特球技术时由效方协商碗定。
诚鑫方装
区1化学成分 1.1潜理#0120.3客式群觉于100L乙烧杯中8m盗做确酸上面证，诺（4050C）容至究全，取下冷郊，转人mL容餐瓶中，用水带释至减度，摄匀。 61.2食感的微定按顾GEBT15032.3的规定进行 #1.3站的含爱找膜YS门T133.1的#定进行核1，4格的营量接照YS/T1880.含的撼定进行假1.5磷的含#技照N/T4242的摄定进行。 B.1.8金风禁质元靠的测定按质YS/T1011的想定进行放1.7非食腾象质中健、施、复，就险测定按照CB/T14855的摄定进行，舞元囊的测定按题GB/T 19748.18的就定进行素1，#微方育特殊夏求时，这可擦照供餐效方钓定的方法#行。 62#理性楼 #2.1销贴络信拍封的套度技联GE/T5163的定进行我2.2销销体动材的通微求端YS/T1124的定进行美子物理规度来顾质量反送！给停惠和材结尺可及#持方式一服程落售方规供抵破定，意供需双方静离榜定并在订货草中主明，装材的外形只质试允许幅盗的服方法披膜GB/T1机的规宠进行送图2销能健领选树厨质量用月摄然祝验，刻爱理异带现家，用10借放大健戏星微精进行坚制，我4内虾喷最
拍然格#精的内银质量用水漫式Cc超意效扫信法检联，接GIB150A能制定找行我5辉换质递品五#鲜纤算，多做爆的爆楼质造摄YS/T837的摄定验。 微52电于京呼接质量接GB/T15823的惠定格装 YS/T1555-2022
7检验频则
7.1搜壳翻技 7.1.1产品应由供方质量检验部门或第三方送行检验，保证产品质特合本文件或订单的微定， 7.1.2赠方可对收的产品接本文件的规定选行检验。检验韩录与本文件成订单的换定不符时，成在收到产品之日起个月内商供方握出，由供概双方协商解决， 7.2飘技
产品应成批交检验，每批应由网一生产就次，同化学成分和然格的产品组成， 7.3检险项目联样位置取样数量
铂结解翻靶材出厂前应进行全面检举，检意项目取样位置和教放应特会瓷6的要素。
麦，铂结销潮靴村检测项间、取样饺量及数罩
要求的意条号 诚康方法的幸茶号
醇祥位
检臻项化学威分翡度避碳车劳密觀格内馨顺茶辉美臨酒宠廣意
广机艺景
5.1 3.2,1 5.2.2 5.3 5.8 5.6 5.4
6.1 621 8.2.2 6.3 6.4 6.5 6.3
举搅水猫一转取样，试样不小于 1010X#体
7.4.1
囍缘滋窖件伴祥滋件
T.2 韶砖戏品秘材成品现维静螺技体材城品
7.4双楼 7.4.1密度分析和化学分新，用领奶制就活销估悠通靓林的边缘初翻不小于10道×10m×3mm的换体3块4快先微密座分析，恶做化学分析。播度分析拌品然经磨息，清洗于净后烘干处理：化学分新的祥品器经密清洗，破碑处随餐戏可供化学游解的样品 7.42进破本采集点，接1所示的点进行采案，至少采案全个点玻平均值，如密方酷要多采集点，按联配材勤国规格进行售分选放来集点。
1销结铭熟村滋胜率菜集点示廠圆
5 YS/T1555—2022
7.5 5检验结果的判定 7.5.1化学成分、密度中任一项不合格时，则判该批产品不合格。 7.5. 2 2透磁率、表面质量、内部质量、焊接质量、物理规格中任一项不合格时，则判该件产品不合格。
8标志、包装、运输、贮存及随行文件
8.1标志 8.1.1产品标志
应在检验合格的产品上打印如下标记（或挂标签）： a) 供方名称、地址、公司标志； b) 产品名称、纯度、批号； c) 产品净重、毛重； d) 订单编号； e) 出厂日期； f) 其他要求内容。
8.1.2 包装标志
在已检验合格的产品上应附有如下标记： a）产品名称； b) 客户名称； c) 产品图号或产品标记； d) 生产批号； e) 规格； 0
重量； g) 检验日期。
8. 2 包装、运输、贮存及随行文件 8.2.1 包装
铂钻铬硼靶材清洗、干燥及包装应在洁净房间内进行。靶材经过全面清洗，真空干燥后每片单独真空封装，真空袋封口要平整无贯通，真空袋体无漏洞，无真空泄漏。外包装采用纸盒或中空盒包装，每盒放置靶材不超过5片，包装盒内靶材与靶材之间应有防碰撞措施。将包装标志用塑料袋包装好后粘贴于包装盒上。 8. 2.2 运输
产品运输及贮存过程中，应主要防震、防潮、防压、防止二次污染。
8.2.3购存
包装产品应贮存于清洁的环境中，产品贮存条件应符合以下要求： a）无腐蚀性物质； b）不污染产品。
6