ICS 77. 150. 99 H 63
YS
中华人民共和国有色金属行业标准
YS/T1357—2020
磁记录用铬钼钛合金溅射靶材 CrTaTi alloy sputtering target used in magnetic recording
2021-04-01实施
2020-12-09发布
中华人民共和国工业和信息化部 发布 YS/T1357—2020
前言
本标准按照GB/T1.1一2009给出的规则起草。 本标准由全国有色金属标准化技术委员会（SAC/TC243)提出并归口。 本标准起草单位：宁波江丰电子材料股份有限公司、有研亿金新材料有限公司、宁波科铂新材料有限
公司。
本标准主要起草人：赵泽良、马国成、袁海军、吴东青、姚力军、王学泽、曹欢欢、廖培君、李小萍、苏美凤、 陈勇军、滕海涛、高岩、丁照崇、李利利。 YS/T1357—2020
磁记录用铬钼钛合金溅射靶材
1范围
本标准规定了磁记录用铬钮钛合金溅射靶材的术语和定义、技术要求、试验方法、检验规则及标志、 包装、运输、贮存、质量证明书和订货单（或合同）内容。
本标准适用于6英寸～8英寸垂直磁记录硬盘、磁盘用铬钼钛合金靶材。
2规范性引用文件
下列文件对于本文件的应用是必不可少的。凡是注日其 期的引用文件，仅注日期的版本适用于本文件。凡是不注日期的引用文件 其最新版本（包括所有的修改 单)适用于本文件。
GB/T 1031 产品几何 术规范（GPS) 面结构 汁 表面粗糙度参数及其数值 GB/T 3850 致密烧纟 属材料 与硬质合 密度测定方法 GB/T 8651 金属板 超声板波探 方 GB/T 13298 金属显 数组织检验 GB/T 14265 金属材 科中氢、氧 碳和硫分析方法通则 YS/T 899 高纯钼化 分析方法 良量杂质元素的测定 辉光放电质谱法
F
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3术语和定义
下列术语和定义适用于本文
3. 1
靶材target 在溅射沉积技术中的阴极部分。该阴极材料在带正电荷的阳离子撞击下以分子、原子或离子的形式
脱离阴极而在衬底表面沉积。
4技术要求
4.1产品形状
产品形状通常为圆形，或由需方提供图纸。 4.2化学成分 4.2.1产品的主成分含量要求应不小于99.95% 4.2.2产品的化学成分应符合表1的规定
表1化学成分
牌号
CrTaTi 37.25±0.65
Cr含量（质量分数)/% YS/T1357—2020
表1化学成分(续）
Ta含量（质量分数)/% Ti含量（质量分数)/%
47.15±0.78 15.59±0.45
99. 95 375 200 200 100 200 50 80 120 1700 100 60
Cr十Ta十Ti含量（质量分数)/%，不小于
Fe Al Cu W Ni Na Si c 0 N S
金属杂质含量（质量分数)/X10-6
不大于
气体杂质含量（质量分数)/×10-6
不大于
Cr+Ta+Ti含量数为100%减去金属杂质实测总和的余量（不含C、N、O、S等气体杂质）。
4.3微观均匀性
产品中富铬相、富相和富钛相的大小应符合表2规定，且分布均匀，无单一相积聚。
表2微观均匀性要求
各相尺寸要求
铬钼钛合金靶材
平均值/μm ≤45 ≤45 ≤45
最大值/um ≤120 《120 ≤120
富铬相富钼相富钛相
4.4相对密度
产品的相对密度应不小于98%。 4.5内部质量
产品内部夹杂和气孔等缺陷面积应不大于总溅射面积的0.02%。需方如有特殊要求时，由供需双方商定，并在订货单（或合同）中注明。 4.6尺寸及允许偏差
产品的平面度应小于0.127mm。产品的尺寸、规格及结构方式与需方使用的溅射机台类型有关，一般由需方提供图纸。需方有特殊要求时，由供需双方协商确定，并在订货单（或合同）中注明。 2 YS/T1357—2020
4.7表面粗糙度
产品表面粗糙度应符合图纸要求，图纸无要求时R。值应小于1.6um。 4.8外观质量
产品表面应清洁光滑，无指痕、油污和锈蚀，无颗粒附加物和其他沾污，无凹坑、划伤、裂纹、凸起等缺
陷。
5试验方法
5.1化学成分 5.1.1主成分Cr、Ta和Ti分析方法按照供需双方约定的方法测定。 5.1.2杂质元素Fe、Al、Cu、W、Ni、Na、Si的分析方法按照YS/T899的规定进行。 5.1.3 气体元素O、N、C和S的分 析方法按照GB/T14265 的规定进行。 5.2微观均匀性
产品的微观均匀性检验按照GB/T13298的规定进行 5.3相对密度
产品的相对密度检验按GB/T3850的规定进行。 5.4内部质量
产品的内部质量检验按照GB/T8651 的规定进行。 5.5尺寸及允许偏差
产品尺寸通过卡尺、平面度仪、塞规等，按照加工图纸标识尺寸进行测定。需方有特殊要求时，可采用三坐标测量仪进行测定。 5.6表面粗糙度
产品的表面粗糙度通过粗糙度测量仪按照GB/T1031的规定进行检验，或按照供需双方约定的方法测定。 5.7外观质量
产品外观质量用目视检查，如发现异常现象，用放大镜或显微镜进行鉴别。
6检验规则
6.1检查和验收 6.1.1产品应由供方进行检验，保证产品质量符合本标准及订货单（或合同)的规定，并填写质量证明书。 6.1.2需方应对收到的产品按本标准的规定进行检验，如检验结果与本标准及订货单（或合同）的规定不符时，应以书面形式向供方提出，由供需双方协商解决。属于表面质量及微观尺寸的异议，应在收到产
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品之日起一个月内提出，属于其他性能的异议，应在收到产品之日起三个月内提出。如需仲裁，应由供需双方协商确定。 6.2组批
产品应成批提交验收。每批应由同一生产批、同一牌号和规格的产品组成
6.3 检验项目和取样规定 6.3.1 检验项目、取样位置和取样数量应符合表3规定。
表3检验项目、取样位置及取样数量
取样数量
试验方法的章条号
检验项目
取样位置半成品
要求的章条号
5. 1
每批任选1件，取2个
4. 2
化学成分
（取样位置见图1)
半成品（取样位置见图1)
每批任选1件，取2个
4.3
5. 2
微观均匀性
1个/批 1个/批逐件逐件逐件
相对密度内部质量微观尺寸表面粗糙度外观质量
4. 4 4. 5 4. 6 4. 7 4. 8
5. 3 5. 4 5. 5 5. 6 5. 7
成品成品成品成品成品
6.3.2 2化学成分、微观均匀性检验在半成品的边缘位置进行取样，样品间隔1/4圆周长，如图1所示。
样品2
样品1
图1取样位置示意图
6.4检验结果的判定 6.4.1化学成分不合格时，判该批产品不合格。 6.4.2微观均匀性、相对密度、内部质量抽检不合格时，再从同批产品中取双倍数量的试样进行重复试验。重复试验结果全部合格，则判该批产品合格。若重复试验结果中仍有试样不合格，则判该批产品不合格。 6.4.3微观尺寸、表面粗糙度、外观质量检验不合格时，判该件产品不合格 4 YS/T1357—2020
7标志、包装、运输、贮存及质量证明书
7.1标志 7. 1. 1 应在检验合格的产品上，将公司标志、牌号及生产批号刻在产品指定位置 7. 1.2 在每个外包装上贴纸质标贴，内容包括：
a) 公司标志； b) 产品名称； c) 牌号及纯度； d) 订单编号； e) 生产批号； f) 出厂日期； g) 其他要求内容。
7.2包装 7.2.1产品的清洗、干燥及 包装应在百级洁净室内进行 产品经过全面清洗，真空干燥后每片单独真空包装，真空袋封口要平整 冬无贯通，真空袋无真空泄露。 7.2.2外包装采用纸盒或 中空盒包装 包装盒内应有防 碰撞措施。 将质量证明书用塑封袋装好后粘贴于包装盒上。 7.2.3 包装产品应保存于 清洁的环境中 7.3运输与贮存
运输及贮存过程中，应注意防震、防 防压防止二 冰污宝 7.4质量证明书
每批产品应附有质量证明书，注日 a) 供方名称、地址、电话、传真； b) 产品名称； c) 材料、质量及纯度； d) 订单编号； e) 生产批号： f). 分析检测结果和质量监督部门印记； g) 生产日期； h) 其他要求内容。
8订货单(或合同)内容
订购本标准所列产品的订货单（或合同)应包括下列内容： a）产品名称； b）纯度； c）化学成分； d）规格；
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e) 数量； f) 本标准编号； g) 合同编号； h) 单价； i) 其他。