YS/T 837-2012
溅射靶材-背板结合质量超声波检验方法
Standard practice for ultrasonic
C-scan bond evaluation of sputtering target-backing plate assermblies
2012-11-07发布
2013-03-01实施
本标准按照 GB/T 1.1-2009 给出的规则起草。
本标准由全国有色金属标准化技术委员会（SAC/TC 243）归口。
1 范围
本标准规定了溅射用靶材-背板结合质量检验方法的一般要求、检验设备、对比试块、检验过程、缺陷评定及检验报告等，该方法采用超声纵波脉冲反射液浸法C扫描检验技术。
本标准适用于用中间层材料结合方式（如软钎焊、硬钎焊和环氧树脂粘接等）的溅射靶材-背板结合面的孔洞、未结合、氧化物夹杂等缺陷的检验。其他用途的材料结合质量无损检测也可参照使用。
2 规范性引用文件
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