ICS 77. 150. 99 H 63
YS
中华人民共和国有色金属行业标准
YS/T1358—2020
磁记录用铁钴合金溅射靶材
FeCoTa alloy sputtering target used in magnetic recording
2021-04-01实施
2020-12-09发布
中华人民共和国工业和信息化部 发布 YS/T13582020
前言
本标准按照GB/T1.1一2009给出的规则起草。 本标准由全国有色金属标准化技术委员会（SAC/TC243)提出并归口。 本标准起草单位：宁波江丰电子材料股份有限公司、有研亿金新材料有限公司、宁波科铂新材料有限
公司。
本标准主要起草人：赵泽良、马国成、袁海军、吴东青、姚力军、王学泽、曹欢欢、廖培君、高岩、丁照崇李利利。 YS/T1358—2020
磁记录用铁钻钼合金溅射靶材
1范围
本标准规定了磁记录用铁钻钮合金溅射靶材的产品分类、技术要求、试验方法、检验规则及标志、包装、运输、贮存、质量证明书和订货单（或合同)内容。
本标准适用于6英寸～8英寸垂直磁记录硬盘、磁盘用铁钻钼合金靶材。
2规范性引用文件
下列文件对于本文件的应用是必不可少的。凡是注日期的引用文件，仅注日期的版本适用于本文件。凡是不注日期的引用文件，其最新版本（包括所有的修改单）适用于本文件。
GB/T1031产品几何技术规范（GPS）表面结构轮廊法 表面粗糙度参数及其数值 GB/T3850 致密烧结金属材料与硬质合金密度测定方法 GB/T 6569 精细陶瓷弯曲强度试验方法 GB/T8651 金属板材超声板波探伤方法 GB/T13298 金属显微组织检验方法 GB/T14265 金属材料中氢、氧、氮、碳和硫分析方法通则 YS/T899 高纯钼化学分析方法痕量杂质元素的测定辉光放电质谱法 YS/T1124 磁性溅射靶材透磁率测试方法
3产品分类
铁钻钼合金溅射靶材根据主成分含量的不同分为3个牌号：FeCoTa-1、FeCoTa-2、FeCoTa-3。
4技术要求
4.1产品形状
产品形状通常为圆形，或由需方提供图纸。
4.2化学成分 4.2.1产品的主成分含量应不小于99.95%。 4.2.2产品的化学成分应符合表1的规定。
表1化学成分
牌 号 Fe含量（质量分数)/% Co含量（质量分数)/%
FeCoTa-1 37.35±1.01 21.56±0.53
FeCoTa-2 38.66±1.02 21.91±0.55
FeCoTa-3 35.53±0.95 20.19±0.51
1 YS/T1358—2020
表1化学成分(续)
44.28±0.77 99. 95
Ta含量（质量分数)/%
41.09±0.81
39.43±0.85
99. 95
99. 95 100 300 200 10 5 5 0. 005 0. 005 200 100 600 75
Fe十Co十Ta含量（质量分数)/%，不小于
Ni Al Si Na K Li U Th c N 0 s
金属杂质含量（质量分数)/×10-6，
不大于
气体杂质含量（质量分数）/×10-6，
不大于
Fe+Co+Ta含量数为100%减去金属杂质实测总和的余量（不含C、N、O、S等气体杂质）。
4.3 微观均匀性
产品中富铁相、富钻相和富相的大小应符合表2规定，且分布均匀，无单一相积聚。
表2 微观均匀性
各相尺寸要求
铁钻钼合金靶材
最大值/μm ≤120 ≤120 ≤120
平均值/μm ≤45 ≤45 ≤45
富铁相富钴相富钼相
4.4 相对密度
产品的相对密度应不小于98%。 4.5 弯曲强度
产品的弯曲强度应不小于700MPa。 4.6 透磁率
相对于产品厚度6mm~10mm，产品的透磁率应达到20%~31%。 4.7 内部质量
产品内部夹杂和气孔等缺陷面积应不大于总溅射面积的0.02%。需方如有特殊要求时，由供需双方商定。 2 YS/T1358—2020
4.8尺寸及允许偏差
产品的平面度应小于0.127mm。产品的尺寸、规格及结构方式与需方使用的溅射机台类型有关，一般由需方提供图纸。需方有特殊要求时，由供需双方协商确定，并在订货单（或合同)中注明。 4.9 9表面粗糙度
产品表面粗糙度应符合图纸要求，图纸无要求时R。值应小于1.6μm。 4.10外观质量
产品表面应清洁光滑，无指痕、油污和锈蚀，无颗粒附加物和其他沾污，无凹坑、划伤、裂纹、凸起等缺
陷。
5试验方法
5.1化学成分 5.1.1主成分Fe、Co和Ta含量的分析方法按照供需双方约定的方法测定。 5.1.2杂质元素Ni、Al、Si、Na、K、Li、U、Th的分析方法按照YS/T899的规定进行。 5.1.3气体元素C、O、N和S的分析方法按照GB/T14265的规定进行。
5.2 微观均匀性
产品的微观均匀性检验按照GB/T13298的规定进行。 5.3相对密度
产品的相对密度检验按照GB/T3850的规定进行。
5.4弯曲强度
产品的弯曲强度检验按照GB/T6569的规定进行。
5.5透磁率
产品的透磁率检验按照YS/T1124的规定进行
5.6内部质量
产品的内部质量检验按照GB/T8651的规定进行。 5.7尺寸及允许偏差
产品尺寸通过卡尺、平面度仪、塞规等，按照加工图纸标识尺寸进行测定。需方有特殊要求时，可采用三坐标测量仪进行检测。 5.8表面粗糙度
产品的表面粗糙度通过粗糙度测量仪按照GB/T1031的规定进行检验，或按照供需双方约定的方法测定。
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5.9外观质量
产品外观质量用目视检查，如发现异常现象，用放大镜或数码显微镜进行鉴别。
6检验规则
6.1检查和验收 6.1.1产品应由供方进行检验，保证产品质量符合本标准及订货单（或合同）的规定，并填写质量证明书。 6.1.2需方应对收到的产品按本标准的规定进行检验，如检验结果与本标准及订货单（或合同)的规定不符时，应以书面形式向供方提出，由供需双方协商解决。属于表面质量及微观尺寸的异议，应在收到产品之日起一个月内提出，属于其他性能的异议，应在收到产品之日起三个月内提出。如需仲裁，应由供需双方协商确定。 6.2组批
产品应成批提交验收。每批应由同一生产批、同一牌号和规格的产品组成。
6.3检验项目和取样规定
6.3.1 产品的检验项目、取样位置和取样数量应符合表3规定。
表3检验项目、取样位置及数量
检验项目
取样数量
取样位置半成品
试验方法的章条号
要求的章条号
化学成分
5. 1
每批任选1件，取2个
4. 2
（取样位置参考图1)
半成品（取样位置参考图1)
微观均匀性
每批任选1件，取2个
5. 2
4. 3
成品半成品成品成品成品成品成品
1个/批 1个/批逐件 1个/批逐件逐件逐件
4. 4 4. 5 4. 6 4. 7 4. 8 4. 9 4.10
相对密度弯曲强度透磁率内部质量微观尺寸表面粗糙度外观质量
5. 3
5. 4 5. 5 5. 6 5. 7 5. 8 5. 9
6.3.2 化学成分、微观均匀性检验在半成品的边缘位置进行取样，样品间隔1/4圆周长，如图1所示。 4 YS/T1358—2020
样品2
样品1
图1取样位置示意图
6.4检验结果的判定 6.4.1化学成分不合格时，则判该批产品不合格。 6.4.2微观均匀性、相对密度、弯曲强度、内部质量抽检不合格时，从同批产品中取双倍数量的试样进行重复试验。重复试验结果全部合格，则判该批产品合格。若重复试验结果中仍有试样不合格，则判该批产品不合格。 6.4.3透磁率、微观尺寸、表面粗糙度、外观质量检验不合格时，判该件产品不合格。
7标志、包装、运输、贮存和质量证明书
7.1标志 7. 1. 1 应在检验合格的产品上，将公司标志、牌号及生产批号刻在产品指定位置。 7. 1. 2 在每个外包装上贴纸质标贴，内容包括：
a) 公司标志； b) 产品名称； c) 材料及纯度； d) 订单编号； e) 生产批号； f) 出厂日期； g) 其他要求内容。
7.2包装 7.2. 1 1产品的清洗、干燥及内包装应在百级洁净室内进行。产品经过全面清洗，真空干燥后每片单独真空包装，真空袋封口要平整无贯通，真空袋无真空泄漏。 7.2.2外包装采用纸盒或中空盒包装。包装盒内应有防碰撞措施。将质量证明书用塑封袋装好后粘贴于包装盒上。 7.2.3包装产品应保存于清洁的环境中。 7.3 3运输与贮存
运输及贮存过程中，应注意防震、防潮、防压、防止二次污染
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7. 4 4质量证明书
每批产品应附有质量证明书，注明： a) 供方名称、地址、电话、传真； b) 产品名称； c) 材料、质量、纯度及透磁率； d) 订单编号； e) 生产批号； f) 分析检测结果和质量监督部门印记； g) 生产日期； h) 其他要求内容。
订货单（或合同）内容
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订购本标准所列产品的订货单(或合同)应包括下列内容： a) 产品名称； b) 纯度； c) 化学成分； d) 规格； e) 数量； f) 标准编号； g) 合同编号； h) 单价； i) 其他。
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