ICS77.150.99 CCS H 68
GB
中华人民共和国国家标准
GB/T23611—2023 代替GB/T23611—2009
金及金合金靶材 Gold and gold alloy targets
2024-03-01实施
2023-08-06发布
国家市场监督管理总局
国家标准花管理委赏会 发布 GB/T23611—2023
前言
本文件按照GB/T1.1一2020《标准化工作导则第1部分：标准化文件的结构和起草规则》的规定起草。
本文件代替GB/T23611一2009《金靶材》，与GB/T23611一2009相比，除结构调整和编辑性改动外，主要技术变化如下：
a） 增加了“术语和定义”一章（见第3章）； b） 增加了AuGe及AuGeNi合金靶材品种（见4.1.2）； c) 增加了结构形式及供货状态（见4.1.4、4.1.5）； d) 增加了AuGe及AuGeNi合金靶材技术要求和试验方法（见5.1、6.1)； e) 增加了金靶材化学成分表（见5.1)； f) 增加了靶材焊接质量要求（见5.5）； g) 更改了金靶材外形尺寸及允许偏差（见5.6，2009年版的3.4)； h) 增加了矩形靶材外形尺寸及允许偏差要求（见5.6）。 请注意本文件的某些内容可能涉及专利。本文件的发布机构不承担识别专利的责任。 本文件由中国有色金属工业协会提出。 本文件由全国有色金属标准化技术委员会（SAC/TC243）归口。 本文件起草单位：有研亿金新材料有限公司、北京有色金属与稀土应用研究所有限公司、贵研铂业
股份有限公司、紫金矿业集团黄金冶炼有限公司、有研资源环境技术研究院（北京)有限公司、深圳市众诚达应用材料科技有限公司。
本文件主要起草人：罗瑶、吕保国、江轩、王鹏、黄晓猛、窦程亮、关静、罗远辉、段华英、刘满门、朱武勋、 张博厚、林烽先、吴卫煌、黄勇彪
本文件于2009年首次发布为GB/T23611一2009《金靶材》，本次为第一次修订。
I GB/T23611—2023
金及金合金靶材
1范围
本文件规定了金及金合金靶材的产品分类、技术要求、试验方法、检验规则及标志、包装、运输、贮存及随行文件和订货单内容。
本文件适用于半导体电子器件用金及金合金靶材（以下简称“靶材”）。
2规范性引用文件
2
下列文件中的内容通过文中的规范性引用而构成本文件必不可少的条款。其中，注日期引用文件，仅该日期对应的版本适用于本文件；不注日期的引用文件，其最新版本（包括所有的修改单)适用于本文件。
GB/T 6394 金属平均晶粒度测定方法 GB/T8651金属板材超声板波探伤方法 GB/T11066.1金化学分析方法金量的测定火试金法 GB/T11066.10 0金化学分析方法硅量的测定钼蓝分光光度法 GB/T11066.11 金化学分析方法第11部分：镁、铬、锰、铁、镍、铜、钯、银、锡、锑、铅、铋含量的电感耦合等离子体质谱法
测定
GB/T15077 贵金属及其合金材料几何尺寸测量方法 GB/T25934（所有部分）高纯金化学分析方法 YS/T 837 溅射靶材-背板结合质量超声波检验方法
：术语和定义
3
下列术语和定义适用于本文件。
3.1
靶材 ftarget 在溅射沉积技术中的阴极部分，该阴极材料在带正电荷的阳离子撞击下以分子、原子或离子的形式
脱离阴极而在阳极表面沉积。
注：靶材由靶坏和背板组成。
3.2
靶坏 targrtblank 阴极上用作溅射材料的材料。
3.3
背板 反backingplate 用来支撑或固定靶材的材料。 注：靶坏与背板可以通过焊接（如钎焊、电子束焊、扩散焊等）、机械复合、粘接等方式连接。
1 GB/T23611—2023
4 分类和标记
4.1 分类 4.1.1 纯金靶材的类型按金的纯度分为IC-Au99.99、IC-Au99.999两种。 4.1.2 根据合金材料不同，金合金靶材分为AuGe、AuGeNi两种。 4.1.3 按外形分，主要有圆形和矩形两种 4.1.4 按结构形式分为单体和焊接两种。 4.1.5 靶材以加工态供货。
注：靶材背板为铜及铜合金等冷却性较好的材料。
4.2 标记
产品标记按产品名称、文件编号、牌号、规格的顺序表示。 示例1：如某一金靶材的牌号为IC-Au99.99，形状为圆形，大外径344mm，总厚度5mm，标记为：
金靶GB/T23611-IC-Au99.99-$344X5
示例2：如某一金靶材的牌号为IC-Au99.999，形状为矩形，长度381mm、宽度127mm、厚度6mm，标记为：
金靶GB/T23611-IC-Au99.999-381X127X6
示例3：如某一金合金靶材牌号为AuGeNi，形状为圆形，大外径203mm，总厚度5mm，标记为：
金锗镍靶 GB/T 23611-AuGeNi-$203X5
5 技术要求
5.1 化学成分
金靶材IC-Au99.99、IC-Au99.999的化学成分应符合表1的规定金合金靶材的化学成分应符合表2的规定。
表 1 金靶材化学成分
化学成分"（质量分数）/%
不大于
牌号
Ag 0.005 0.002 0.002 0.001 0.002 0.001 0.005 0.005 0.000 5 0.000 1 0.000 3 0.000 1 0.000 1 0.000 1 0.000 3 0.000 1
Cu
Fe
Pb
Sb
Pd
Bi
Si
IC-Au99.99 IC-Au99.999
2 GB/T23611—2023
表 1 金靶材化学成分（续）
化学成分"（质量分数）/%
不大于
牌号
Mg 0.003 0.003 0.001 0.000 3 0.000 3 0.000 3 0.000 1 0.000 1 0.000 1 0.000 1 0.000 1 0.0001
As
Sn
Cr
Ni
Mn
杂质总和 0.01 0.001
IC-Au99.99 IC-Au99.999 需方对某种特定杂质元素含量有要求的，由供需双方协商解决。 b“杂质总和”为表中所列杂质元素实测值之和。
表 2 金合金靶材化学成分
化学成分（质量分数)/%
牌号 AuGe
Ni
Pb
Fe
杂质总和 ≤0.005
Ge* 余量余量 2.5~3.5 84.5~86.5 ≤0.002 ≤0.003 ≤0.003 ≤0.005 余量 3.5~4.5 83.5~85.5 ≤0.002 ≤0.003 ≤0.003
Au 87~89 ≤0.002 ≤0.003 ≤0.003
Si
AuGeNi
≤0.005
余量 4.5~5.5 82.5~84.5 ≤0.002 ≤0.003 ≤0.003 ≤0.005
注：需方对某种特定杂质元素含量有要求的，由供需双方协商解决。 "Ge余量的质量分数为100%减去Ni、Au的实测质量分数。 “杂质总和"为表中所列杂质实测值之和。
5.2 晶粒尺寸
靶材平均晶粒尺寸不大于100um，最大晶粒尺寸不大于150um，晶粒分布均匀。需方有特殊要求时，由供需双方商定。 5.3 内部质量
靶材的内部不应有分层、疏松、夹杂和气孔等缺陷，由供方的生产工艺保证。需方有特殊要求时，由供需双方商定。 5.4 表面粗糙度
靶材表面粗糙度Ra值应不大于1.6。
5.5 焊接质量
金及金合金靶材的固定方法为钎焊，钎焊质量应满足焊接结合率不低于95%，单个缺陷面积占比不大于总面积的1%。需方如有特殊要求时，由供需双方商定，并在订货单中注明。
5.6 外形尺寸
靶材的外形尺寸及其允许偏差应符合表3的规定。需方有特殊要求时，由供需双方商定
3 GB/T 23611—2023
表3靶材的外形尺寸及其允许偏差
单位为毫米
外形尺寸
外形
直径或长、宽允许
直径或长、宽
厚度
厚度允许偏差
偏差 ±0.05 ± 0.1 ±0.15 ±0.2 ± 0.05 ± 0.1 ± 0.2
≤100 >100~150 >150～300 300~400 ≤100 >100~300 ≥300
圆形
0
2~10
0.08
矩形
5.7 外观质量
靶材表面应无凸起、凹坑、划伤、裂纹等缺陷；无拉伸润滑痕迹和颗粒附着物；表面应清洁光滑，无锈蚀、指痕、油污和其他沾污。
6试验方法
6.1金靶材IC-Au99.99、IC-Au99.999的化学成分分析按GB/T25934（所有部分）的规定进行。金合金靶材的化学成分分析按GB/T11066.1、GB/T11066.11、GB/T11066.10的规定进行。 6.2靶材晶粒尺寸的测量按GB/T6394的规定进行。 6.3内部质量的检验按GB/T8651的规定进行。 6.4表面粗糙度采用粗糙度仪检测。 6.5焊接质量检测按YS/T837的规定进行。 6.6外形尺寸的测量按GB/T15077的规定进行。需方有特殊要求时，可按技术协议或按需方图纸、 来样检查。 6.7外观质量采用目视检查，如发现异常现象，用10倍放大镜鉴别。
7检验规则
7.1检查和验收 7.1.1产品应由供方或第三方进行检验，保证产品质量符合本文件及订货单的规定。 7.1.2需方可对收到的产品按本文件的规定进行检验。当检验结果与本文件或订货单的规定不符时，应以书面形式向供方提出，由供需双方协商解决。属于外形尺寸及其允许偏差、外观质量的异议，应在收到产品之日起一个月内提出；属于化学成分、晶粒尺寸、焊接质量、内部质量、表面粗糙度的异议，应在收到产品之日起三个月内提出。如需仲裁，应由供需双方在需方共同取样或协商确定。 7.2 2组批
产品应成批提交验收。每批应由同一原料、同一炉号、同一状态和同一规格的产品组成。
4 GB/T 23611—2023
7.3 检验项目
每批产品均应进行化学成分、晶粒尺寸、内部质量、表面粗糙度、焊接质量、外形尺寸及外观质量的检验。 7.4取样
检验项目、取样位置及数量应符合表4的规定。
表 4 检验项目及取样规定
试验方法的章条编号
检验项目化学成分晶粒尺寸内部质量表面粗糙度焊接质量外形尺寸外观质量
取样位置缩孔下边缘靶坏任意表面焊接后整体任意部位任意部位
取样数量逐锭逐件逐件逐件逐件逐件逐件
要求的章条编号
5.1 5.2 5.3 5.4 5.5 5.6 5.7
6.1 6.2 6.3 6.4 6.5 6.6 6.7
7.5 检验结果的判定 7.5.1化学成分不合格时，判该锭生产的靶材产品不合格， 7.5.2晶粒尺寸、内部质量、焊接质量、外观质量、表面粗糙度、外形尺寸任何一项不合格时，则判该件产品不合格。
标志、包装、运输、贮存及随行文件
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8.1 标志
在已检验合格的每批产品上应附有如下标记： a) 产品名称； b) 化学成分； c) 产品类型、规格； d) 数量； e) 净重； f) 炉号/批号； g) 生产日期； h) 供方名称； i) 供方技术监督部门的检印（或质检人员的签名或印章）。
8.2 包装、运输、贮存 8.2.1 产品用两层防静电塑料袋真空封装，并放在防止碰撞的包装盒内。 8.2.2 每批产品应附标签，注明：产品名称、成分、批号、规格、状态、净重、毛重、生产日期。
5 GB/T23611—2023
8.2.3产品运输过程中应防止碰伤、擦伤，不应损坏和沾污产品，并保证运输过程中产品完整 8.2.4产品应贮存于清洁的环境中。 8.3 随行文件
每批产品应附有随行文件，其中除应包括供方信息、产品信息、本文件编号、出厂日期或包装日期外，还宜包括：
a) 质量证明书，内容如下：
. 产品名称、牌号、规格和状态，
产品锭号、批号、重量和数量， . 产品的主要性能及技术参数， . 各项分析检验结果及质量检验部门印记 . 其他；
.
b) 合格证，内容如下：
. 锭号或批号， . 检验日期， . 检验员签名或盖章， ·其他；
c）其他。
9 订货单内容
需方可根据自身的需要，在订购本文件所列产品的订货单内，列出如下内容，若需方提出特定要求，供需双方协商解决：
a） 产品名称； b) 牌号； c) 规格； d) 重量； e) 件数； f) 本文件编号； g) 其他。
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