ICS 77.150.40
CCS H 62
YS
中华人民共和国有色金属行业标准
YS/T 1635—2023
镍铬合金靶材
Nichrome target
2023-12-20发布 2024-07-01实施
中华人民共和国工业和信息化部 发布
YS/T 1635—2023
前 言
本文件按照GB/T1.1—2020《标准化工作导则 第1部分：标准化文件的结构和起草规则》的规定起草。
请注意本文件的某些内容可能涉及专利。本文件的发布机构不承担识别专利的责任。
本文件由全国有色金属标准化技术委员会(SAC/TC 243)提出并归口。
本文件起草单位：南京达迈科技实业股份有限公司、江苏海泰新材料科技有限公司、南京欧美达应用材料科技有限公司、宁波江丰电子材料股份有限公司、有研亿金新材料有限公司。
本文件主要起草人：吴宇宁、钟成铭、王雷、周其刚、徐海斌、卿海标、姚力军、曹欢欢、廖培君、边逸军、陈玉蓉、徐国进、高岩、张博厚。
YS/T 1635—2023
镍铬合金靶材
1 范围
本文件规定了镀膜用镍铬合金靶材的分类和标记、技术要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输、贮存及随行文件和订货单内容。
本文件适用于纯度大于99.5%的低辐射玻璃(low-e玻璃)及薄膜电阻镀膜用镍铬合金靶材（以下简称“靶材”）。
2 规范性引用文件
下列文件中的内容通过文中的规范性引用面构成本文件必不可少的条款。其中，注日期的引用文件，仅该日期对应的版本适用于本文件；不注日期的引用文件，其最新版本（包括所有的修改单）适用于本文件。
GB/T1031 产品几何技术规范(GPS)表面结构 轮廓法 表面粗糙度参数及其数值
GB/T1804 一般公差 未注公差的线性和角度尺寸的公差
GB/T 1958 产品几何技术规范(GPS)几何公差 检测与验证
GB/T3505 产品几何技术规范(GPS)表面结构 轮廓法 术语、定义及表面结构参数
GB/T 4162 锻轧钢棒超声检测方法
GB/T 6394 金属平均晶粒度测定方法
GB/T8170 数值修约规则与极限数值的表示和判定
GB/T 8647（所有部分） 镍化学分析方法
GB/T10610 产品几何技术规范(GPS)表面结构 轮廓法 评定表面结构的规则和方法
GB/T 14265 金属材料中氢、氧、氮、碳和硫分析方法通则
3 术语和定义
下列术语和定义适用于本文件。
3.1
靶材 target
在溅射沉积技术中的阴极部分材料，不包括背板材料。
注：该阴极材料在带正电荷的阳离子撞击下以分子、原子或离子的形式脱离阴极而在阳极表面沉积。
4 分类和标记
4.1 分类
4.1.1 靶材按溅射面的形状，可分为平面靶和管靶（又称旋转靶）。其中，常用的平面靶包括矩形平面靶和圆形平面靶，形状示意图见图1.
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D
L
L
矩形平面靶
圆形平面靶
管靶
标引符号说明：
L———矩形平面靶的长度尺寸（圆形平面靶的直径尺寸）；
D——管靶的外径尺寸。
图1 靶材形状示意图
4.1.2 靶材按照成分分为7个牌号:Ni93Cr7、Ni90Cr10、Ni80Cr20、Ni70Cr30、Ni60Cr40、Ni56Cr44、Ni50Cr50.
4.2 标记
靶材产品标记按产品名称、本文件编号、牌号、形状的顺序表示。标记示例如下：
示例：
以牌号为Ni93Cr7制造的，形状为管靶管靶的镍骼合金靶材，其标记为：
靶材YS/T 1635-Ni93Cr7-G
5 技术要求
5.1 化学成分
靶材各牌号的化学成分应符合表1的规定。
表1 化学成分
牌号
化学成分（质量分数）
%
Cr Ni 杂质元素，不大于
Fe Cu Al Si C s N o
Ni93Cr7 6.5~7.5 余量” 0.05 0.005 0.01 0.05 0.01 0.005 0.015 0.05
Ni90Cr10 9.0~11.0 0.05 0.005 0.01 0.05 0.01 0.005 0.015 0.05
Ni80Cr20 18.5~21.5 0.12 0.015 0.02 0.08 0.01 0.005 0.025 0.08
Ni70Cr30 28.5~31.5 0.12 0.015 0.03 0.08 0.01 0.005 0.025 0.08
Ni60Cr40 38.0~42.0 0.15 0.015 0.03 0.10 0.02 0.005 0.025 0.08
Ni56Cr44 42.0~46.0 0.15 0.015 0.03 0.10 0.02 0.005 0.025 0.08
Ni50Cr50 48.0~52.0 0.15 0.015 0.03 0.10 0.02 0.005 0.025 0.08
注：需方如有特殊要求，由供需双方商定，并在订货单中注明。
镍含量为100%减去表中所列其他元素总和所得。
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YS/T 1635—2023
5.2 平均晶粒尺寸
靶材晶粒组织应均匀、一致，平均晶粒尺不大于150μm.
5.3 外形尺寸及其允许偏差
靶材的外形尺寸及其允许偏差由需方提供图纸。靶材的外形尺寸及允许偏差应符合表2的规定。需方如有特殊要求，由供需双方共同商定，并在订货单中注明。
表2 外形尺寸及其允许偏差要求
形 状 平面靶材 管 靶
规格mm L≤400 400800 D≤300 300
平行度mm/m ≤0.1 ≤0.3 ≤0.3 — —
垂直度mm ≤0.15 ≤0.25 ≤0.3 — —
直度mm/m — — — ≤1.0
圆度mm — — — ≤0.6 ≤1.0
其他尺寸 按照图纸规定
注1：平行度是指线元素、面、中心平面、相切平面或轴线相对基准在基本角度0°（平行）方向上的变动程度。
注2：垂直度是指方向公差中控制被测要素与基准要素夹角为90°的公差要求，分为给定平面、给定方向、任意方向的垂直度要求。
5.4 表面粗糙度
靶材的表面粗糙度应符合表3的规定。
表3 表面粗糙度
部位 溅镀面 焊接面 侧面及其他表面
R. μm ≤1.6 ≤3.2 3.2~6.4
5.5 内部质量
靶材内部不应有夹渣、孔洞和裂痕等影响使用的缺陷。靶材非溅镀区允许存在直径不大于1.0mm、数量不大于2个的孔洞。
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5.6 外观质量
靶材表面应清洁光滑，无指痕、油污和锈蚀，无颗粒附加物和其他沾污，无凹坑、划伤、裂纹、凸起等缺陷。
6 试验方法
6.1 化学成分
6.1.1 靶材杂质元素Fe、Cu、Al、Si的分析方法按照GB/T 8647（所有部分）的规定进行，铬含量的测定方法由供需双方协商确定并在订货单中注明。
6.1.2 靶材中元素C、S、N、O的分析方法按照GB/T 14265的规定进行。
6.2 平均晶粒尺寸
靶材的平均晶粒尺寸的检测按照GB/T6394的规定进行。
6.3 外形尺寸及其允许偏差
靶材的平行度、垂直度、直度和圆度的测定按照GB/T 1804、GB/T 1958、GB/T 3505、GB/T 10610的规定进行。
6.4 表面粗糙度
靶材的表面粗糙度检测按照GB/T1031的规定进行。
6.5 内部质量
靶材的内部质量检测按照GB/T 4162的规定进行。
6.6 外观质量
靶材的外观质量用目视检查，若发现异常现象，用放大镜或手持显微放大镜进行检查，必要时可使用其他方法检测。
7 检验规则
7.1 检查和验收
7.1.1 产品应由供方或第三方进行检验，保证产品质量符合本文件及订货单的要求。
7.1.2需方应对收到的产品按本文件的规定进行检验，检验结果与本文件或订货单内容不符时，应在收到产品之日起30日内向供方提出，由供需双方协商解决。如需仲裁，仲裁取样应在需方由供需双方共同进行，但需方应提供原装样块。
7.2 组批
产品应成批提交检验，每批应由同一生产周期、同一牌号、同一形状的产品组成。
7.3 检验项目及取样
每批产品出厂前应进行化学成分、平均晶粒尺寸、外形尺寸及其允许偏差、表面粗糙度、内部质量和外观质量的检验，检验项目及取样应符合表4的规定。
YS/T 1635—2023
表4 检验项目及取样规定
检验项目 取样规定 技术要求的章条号 试验方法的章条号
化学成分 供方每炉取2个试样需方每批取1个试样 5.1 6.1
平均晶粒尺寸 每批任取2个靶材，每个靶材各取1个试样 5.2 6.2
外形尺寸及其允许偏差 逐件 5.3 6.3
表面粗糙度 逐件 5.4 6.4
内部质量 逐件 5.5 6.5
外观质量 逐件 5.6 6.6
7.4检验结果的判定
7.4.1 检验结果的数值按GB/T8170中的规定进行修约，并采用修约值比较法进行判定。
7.4.2 化学成分的检验结果不合格时，判该批靶材不合格。
7.4.3平均晶粒尺寸检验结果不合格时，应从该批靶材中取双倍数量的试样（其中一个试样应取自原检验不合格的那件靶材）进行重复试验，重复试验结果全部合格，则判整批靶材合格。若重复试验结果仍有试样不合格，则判整批靶材不合格。
7.4.4外形尺寸及其允许偏差、表面粗糙度、内部质量及外观质量检验结果不合格时，判该件靶材不合格。
8 标志、包装、运输、贮存及随行文件
8.1 标志
靶材的外包装上应标注企业名称、产品名称、批号、牌号。
8.2 包装
靶材用塑料包装袋真空封装，用减震材料加以保护。
8.3 运输和贮存
运输和贮存过程中应注意防震、防潮、防压、防止二次污染。
8.4 随行文件
每批产品应附有随行文件，其中除应包括供方信息、产品信息、本文件编号、出厂日期或包装日期外，还宜包括：
a） 产品质量保证书，内容如下：
产品的主要性能及技术参数；
对产品质量所负的责任；
产品获得的质量认证及带供方技术监督部门检印的各项分析检验结果。
b）产品合格证，内容如下：
检验项目及其结果或检验结论；
批量或批号：
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检验日期：
检验员签名或盖章。
c） 产品质量控制过程中的检验报告及成品检验报告。
d）产品使用说明：正确搬运、使用、贮存方法等。
e） 其他。
9 订货单内容
需方可根据自身的需要，在订购本文件所列产品的订货单内，列出如下内容：
a） 产品名称：
b）牌号；
c）形状；
d）规格；
e） 检测方法的特殊要求；
f） 本文件编号；
g）其他。