ICS 17.180 CCS N 30
GB
中华人民共和国国家标准
GB/T26332.7—2022
光学和光子学 光学薄膜第7部分：中性分束膜基本要求
Optics and photonics-Optical coatings-
Part 7: Minimum requirements for neutral beam splitter coatings
(ISO9211-7:2021,MOD)
2022-10-12发布
2023-05-01实施
国家市场监督管理总局
国家标准化管理委员会 发布 GB/T26332.7—2022
目 次
前言引言 1 范围 2 规范性引用文件 3 术语和定义
ⅡI IV
符号标识图示标识 6 基本要求
4 5 GB/T26332.7—2022
前言
本文件按照GB/T1.1一2020《标准化工作导则 第1部分：标准化文件的结构和起草规则》的规定起草。
本文件是GB/T26332《光学和光子学 光学薄膜》的第7部分。GB/T26332已经发布了以下部分：
第1部分：定义；第2部分：光学特性；第3部分：环境适应性；第4部分：规定的试验方法；第5部分：减反射膜基本要求；第6部分：反射膜基本要求；第7部分：中性分束膜基本要求；第8部分：激光光学薄膜基本要求。
一
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本文件修改采用ISO9211-7：2021《光学和光子学光学薄膜第7部分：中性分束膜基本要求》。 本文件与ISO9211-7：2021的技术差异及其原因如下：
在“术语和定义”的引导语中删除了关于维护ISO和IEC的“标准化术语数据库”内容（见第3 章），因为我国的国家标准中不涉及维护ISO和IEC的“标准化术语数据库”内容；在“规范性引用文件”中删除了ISO10110-8，因为在正文中没有引用该标准；用规范性引用的GB/T26332.1代替ISO9211-1（见第3章），以适应我国的技术条件；因在文中引用到了具体试验方法序号，用规范性引用的GB/T26332.3一2015代替 ISO9211-3(见6.2.3、6.3.4)，GB/T26332.4—2015代替ISO9211-4（见6.2.2、6.3.2、6.3.3)， GB/T12085.2—2022代替ISO9022-2见6.3.5、6.4)，以适应我国的技术条件。
本文件做了下列编辑性改动：
在“符号标识”中增加了对符号“BS”的说明（见第4章）；在“基本要求”中将国际标准原文中“表1”～“表4”的表格描述方式更改为条文描述方式（见第 6 章)。
请注意本文件的某些内容可能涉及专利。本文件的发布机构不承担识别专利的责任。 本文件由中国机械工业联合会提出。 本文件由全国光学和光子学标准化技术委员会（SAC/TC103)归口。 本文件起草单位：沈阳仪表科学研究院有限公司、中国科学院大连化学物理研究所、浙江大学、同济
大学、上海唯视锐光电技术有限公司、中国兵器工业标准化研究所、江西凤凰光学科技有限公司、福建福特科光电股份有限公司。
本文件主要起草人：阴晓俊、王瑞生、高鹏、任少鹏、赵帅锋、费书国、李刚、章岳光、程鑫彬、熊天农、 王忠连、张轶、杨文华、高琳琳、班超、张艳姝、刘海涛、宋光辉、王蔚生、李炜娜、何晓虎、朱元强。 GB/T 26332.7—2022
引言
光学薄膜元件广泛地应用于与光学和光子学相关的各类科学技术领域中，用于实现反射、分束、滤光等不同的光学功能，是光学系统中不可替代的重要组成部分。随着科技的不断进步，光学薄膜元件向着性能要求更高、需求种类更加多样化的方向发展。因此有必要针对光学薄膜技术，专门制定一套技术内容与国际接轨的国家标准。这既有利于推动我国光学薄膜行业规范有序发展，又能更好地促进相关领域的贸易、交流和技术合作。GB/T26332《光学和光子学光学薄膜》就是在这种背景下起草制定的。
GB/T26332采标ISO9211系列，拟由八个部分构成。
一第1部分：定义。目的在于规范与光学薄膜相关的通用术语的技术表述。 第2部分：光学特性。目的在于规范光学薄膜各类光谱特性的描述方式。 一第3部分：环境适应性。目的在于确立考察光学薄膜元件环境适应性所适用的环境试验方法。 第4部分：规定的试验方法。目的在于补充规定几种环境试验方法的详细技术要求，第3部分中引用了其中的试验方法。 第5部分：减反射膜基本要求。目的在于规定常用减反射膜的基本要求。 一第6部分：反射膜基本要求。目的在于规定常用金属反射膜的基本要求。 第7部分：中性分束膜基本要求。目的在于规定常用中性分束膜的基本要求。 -第8部分：激光光学薄膜基本要求。目的在于规定常用激光光学薄膜的基本要求。 GB/T26332系列标准的前四个部分描述的是针对光学薄膜的通用规范，其余部分针对特定应用
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方向的光学薄膜规定了基本的技术要求。GB/T26332.7针对的是在光学系统中广泛应用的中性分束膜。中性分束膜的主要功能是通过透射和反射实现对光能量的再分配。GB/T26332.7根据常用中性分束膜的不同特点进行了分类，提出了命名规则和图示标识方法，同时给出了相应光谱特性、环境适应性和薄膜缺陷的技术要求。
IV GB/T 26332.7—2022
光学和光子学光学薄膜第7部分：中性分束膜基本要求
1范围
本文件规定了中性分束膜的光学特性、机械性能、化学稳定性和环境适应性的基本要求。 本文件适用于光学领域应用的中性分束膜。本文件既能满足薄膜制造商选择材料和制备方法的要
求，也能使用户准确理解该薄膜产品的相关量化规定。
2规范性引用文件
下列文件中的内容通过文中的规范性引用而构成本文件必不可少的条款。其中，注日期的引用文件，仅该日期对应的版本适用于本文件；不注日期的引用文件，其最新版本（包括所有的修改单）适用于本文件。
GB/T12085.2—2022光学和光子学环境试验方法第2部分：低温、高温、湿热（ISO9022-2： 2015,MOD)
GB/T26332.1光学和光子学光学薄膜第1部分：定义（GB/T26332.1—2018，ISO9211-1： 2010,IDT)
GB/T26332.3—2015光学和光子学光学薄膜第3部分：环境适应性（ISO9211-3：2008， IDT)
GB/T26332.4--2015光学和光子学光学薄膜第4部分：规定的试验方法（ISO9211-4：2012， IDT)
ISO10110-7光学和光子学光学元件和系统的制图准备第7部分：表面疵病（Opticsand photonicsPreparation of drawings for optical elements and systems---Part 7:Surface imperfections)
ISO10110-9光学和光子学光学元件和系统的制图准备第9部分：表面处理和镀膜（Optics and photonics-Preparation of drawings for optical elements and systemsPart 9:Surface-treatment and coating)
ISO13696光学和光学仪器光学元件散射的测试方法（Opticsandopticalinstruments一Test methods for radiation scattered by optical components)
3术语和定义
GB/T26332.1界定的以及下列术语和定义适用于本文件。
3.1
中性分束膜neutralbeamsplittercoating 将入射光以恒定的比例及允许的比例公差在指定波长范围内进行分束的薄膜。 注1：术语“中性”是对颜色而言。 注2：反射光和透射光的偏振态可能和入射光的偏振态不同。 GB/T26332.7—2022
3.2
中性分束膜D1neutralbeamsplittercoatingD1 在450nm至650nm波长范围内，当人射角为45°时，将非偏振光50%反射，50%透射的无吸收介
质分束膜。 3.3
中性分束膜D2neutralbeamsplittercoatingD2 在450nm至650nm波长范围内，当入射角为45°时，将非偏振光70%反射，30%透射的无吸收介
质分束膜。 3.4
中性分束膜D3neutralbeamsplittercoatingD3 在450nm至650nm波长范围内，当入射角为45°时，将非偏振光20%反射，80%透射的无吸收介
质分束膜。 3.5
中性分束膜D4neutralbeamsplittercoatingD4 在400nm至700nm波长范围内，当入射角为45°时，将非偏振光50%反射，50%透射的无吸收介
质分束膜。 3.6
中性分束膜M1neutralbeamsplittercoatingM1 在380nm至780nm波长范围内，当入射角为45°时，将非偏振光30%反射，30%透射的有吸收的
分束膜。 3.7
中性分束膜M2neutralbeamsplittercoatingM2 在450nm至700nm波长范围内，当入射角为45°时，将非偏振光45%反射，45%透射的有吸收的
分束膜。
4符号标识
中性分束膜的符号标识规则如下：
BS GB/T.26332.7-XX
薄膜分束功能代号
本文件编号
中性分束膜类型代码
示例：M2型中性分束膜应标识为BSGB/T26332.7-M2。
5图示标识
进行图示标识时，应按照ISO10110-9要求并与本文件第4章"符号标识”内容联用。
6基本要求
6.1通则
如无特殊要求，中性分束膜的基本要求应符合6.26.5的规定。
2 GB/T 26332.7—2022
6.2 2中性分束膜通用基本要求 6.2.1光谱散射
应按照ISO13696对元件有中性分束膜的一面和没有中性分束膜的另一面分别进行测量。在 633nm处，针对任何一面测得的总散射（TS)均应不大于0.005。 6.2.2附着力
应按照GB/T26332.4一2015中试验方法02，严醋等级01相关要求和评价规定。 注：此要求只适用于中性分束膜未胶合的情况。
6.2.3抗太阳辐射
应按照GB/T26332.3一2015中试验方法10，严酷等级01进行试验。试验后膜层光学特性应符合 6.5要求，膜层附着力应符合6.2.2要求。 6.2.4薄膜缺陷
在直径为50mm的参考区域内应符合：5/C10×0.16（依据ISO10110-7）。
6.3无吸收型中性分束膜附加要求 6.3.1光谱吸收比
对于无吸收型中性分束膜（D1～D4)，膜层本身的光谱吸收比α应不大于0.01。 6.3.2抗摩擦
对于无吸收型中性分束膜（D1～D4），其抗摩擦性能应按照GB/T26332.4--2015中试验方法01，严酷等级01相关要求和评价规定。
注：此要求只适用于中性分束膜未胶合的情况。 6.3.3防水性
对于无吸收型中性分束膜（D1D4)，其防水性能应按照GB/T26332.4一2015中试验方法04，严醋等级01相关要求和评价规定。试验后膜层附着力应符合6.2.2要求。
注：此要求只适用于中性分束膜未胶合的情况， 6.3.4化学稳定性
对于无吸收型中性分束膜（D1～D4)，其化学稳定性应按照GB/T26332.3一2015中试验方法12-3，严醋等级01相关要求和评价规定。试验所用化学品应不影响基底。试验后膜层附着力应符合6.2.2 要求。
注：此要求只适用于中性分束膜未胶合的情况。 6.3.5环境适应性
对于无吸收型中性分束膜(D1～D4)，考察其环境适应性应进行以下试验： a）湿热：GB/T12085.2—2022中试验方法12，严酷等级06； b）温度渐变：GB/T12085.2—2022中试验方法14，严酷等级02。 膜层通过试验a)和b)后，其光学特性应符合6.5要求，膜层附着力应符合6.2.2要求。
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