摘要∶为了提高精密研抛数控机床的加工精度，对研抛数控机床的几何误差与热误差进行了研究与分析，发现随着机床相关部件温度的不断升高直至热稳态，机床的定位误差也不断增加到稳态值，验证了几何误差和热误差是精密及超精密加工误差的主要来源。综合考虑了机床复合误差的不同特点并进行误差分离，提出了基于牛顿插值算法和最小二乘法的几何与热复合误差建模方法，依据复合误差模型进行补偿实验，补偿后机床冷态下定位误差值从3.5μum 降至1.2μm，误差降低了65.7%，热稳态后定位误差值从12.2μm降至1.9um，误差降低了84.4%，实验结果证明复合误差模型计算简单、预测精度高、具有较好的鲁棒性，为提高机床的加工精度提供了理论与实践依据。