GB/T 39163-2020
靶材与背板结合强度测试方法
Test methods of the bonding strength for target-backing plate assemblies
2021-10-01 实施
2020-11-19 发布
前 言
本标准按照 GB/T 1.1—2009 给出的规则起草。
本标准由中国有色金属工业协会提出。
本标准由全国有色金属标准化技术委员会（SAC/TC 243）归口。
1范围
本标准规定了靶材与背板结合强度测试方法。
本标准适用于微电子领域镀膜用靶材与背板结合强度测试方法。
注∶靶材与背板结合方式包括钎焊（传统焊料、导电银胶、纳米箔焊接等）、扩散焊、电子束或激光焊、爆炸焊、摩擦焊、机械复合、冷喷涂、热喷涂等。
2 规范性引用文件