
SJ/T 11496-2015
红外吸收法测量砷化镓中硼含量
Determination of boron concentration in gallium arsenide by infrared absorption
2015-10- 01 实施
2015-04 - 30 发布
前 言
本标准按照(GB/T1.1—2009制定的规则起草。
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本标准由全国半导体设备与材料标准化技术委员会(SAC/TC203)提出并归口。