SJ/T 11494-2015
硅单晶中IⅢI-V族杂质的光致发光测试方法
Test methods for photoluminescence analysis of single crystal silicon for I-V impurities
2015-04 - 30 发布
2015-10- 01实施
前 言
本标准按照GB/T1.1—-2009制定的规则起草。
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本标准由全国半导体设备与材料标准化技术委员会（SACTC203）归口。