SJ/T 11491-2015
短基线红外吸收光谱法测量硅中间隙氧含量
Test methods for measurement of interstitial oxygen content in silicon by short baseline infrared absorption spectrometry
2015- 04- 30 发布
2015-10-01 实施
前 言
本标准按照GB/T 1.1—2009制定的规则起草。
请注意本文件的某些内容可能涉及专利。本文件的发布机构不承担识别这些专利的责任。
本标准由全国半导体设备与材料标准化技术委员会（SACTC203）归口。