SJ/T 11495-2015
硅中间隙氧的转换因子指南
Guide to conversion factors for interstitial oxygen in silicon
2015-10-01实施
2015- 04- 30 发布
前 言
本标准按照GB/T1.1一2009制定的规则起草。
请注意本文件的某些内容可能涉及专利。本文件的发布机构不承担识别这些专利的责任。
本标准由全国半导体设备与材料标准化技术委员会（SAC/TC203）归口。