内容简介
GB/T 38614-2020基于柔性铰链机构和压电陶瓷驱动器的纳米定位与扫描平台测量方法
Measurement method for nano positioning and scanning stage based on flexure hinge mechanism and piezo actuator
2020-11-01实施
2020-04-28发布
目 次
前言 ………………………………………………………………………………………………………… 1
１ 范围 ……………………………………………………………………………………………………… １
２ 规范性引用文件 ………………………………………………………………………………………… １
３ 术语和定义 ……………………………………………………………………………………………… １
４ 测量条件 ………………………………………………………………………………………………… １
５ 测量仪器 ………………………………………………………………………………………………… １
６ 测量方法 ………………………………………………………………………………………………… １
本标准按照GB/T 1.1—2009给出的规则起草。
本标准由全国电子测量仪器标准化技术委员会（SAC/TC153）提出并归口。
本标准按照GB/T 1.1—2009给出的规则起草。
本标准由全国电子测量仪器标准化技术委员会（SAC/TC153）提出并归口。
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