GB/T 38616-2020
纳米定位与扫描平台术语
Terminology for nano positioning and scanning stage
2020-11-01实施
2020-04-28发布
本标准按照GⅣVT 1.1一2009给出的规则起草。
本标准由全国电子测量仪器标准化技术委员会（SAC/TC153）提出并归口。