第33卷第4期 2012年8月
热处理技术与装备
RECHULIJISHUYUZHUANGBEI
Vol.33,No.4 Aug,2012
·设
基于压电双晶片驱动微位移放大机构设计
聂海旭'，张斌2
（1.义马煤业集团股份有限公司新安煤矿，河南新安471842；
2.郑州远见矿用设备有限公司，河南新密452394）
备
摘要：本文主要介绍了以压电双晶片驱动微位移放大机构的设计，该放大机构以三角放大机理构造的柔性铰链机构作为位移输出。并通过理论计算、建模以及有限元软件对微位移放大机构进行设计，最后制作了微位移放大机构的样机，并进行了实验测试。对得到的测试数据进行分析，结果表
明：微位移放大机构的行程为0~77.8um，放大倍数约为6.2倍。关键词：三角放大机理；压电双晶片；微位移放大机构
中图分类号：TN722文献标识码：A文章编号：1673-4971(2012)04-0049-04
The Design ofMicro-displacement Amplification Mechanism
Based onPiezoelectricBimorphActuation
NIE Hai-xu', Zhang Bin?
(1. Yima Coal Industry Group Co. , Lid. , Xinan Henan 471842,China; 2. Zhengzhou Vision Mine Equiprnent Co., Ltd., Xinmi Henan 452394,China)
Abstract: This paper mainly introduced the design of micro-displacement amplification mechanism based on the piezoelectric bimorph actuation, according to the triangular amplification mechanism constructed flexure hinge mechanism which was used to displacement output. Through theoretical calculation, model-ing and finite element software, the micro-displacement amplification mechanism was designed, a prototype aaaoesaeaooeeaaoaeaoero were done to test. The analysis of test result was presented, the results showed that travel of the micro-dis-placement amplification mechanism was 0~77.8 μm, magnification was about 6.2 times.
Key words: triangular amplification mechanism; piezoelectric bimorph; micro-displacement amplification mechanism
0引言
近年来，随着大规模和超大规模集成电路的蓬勃发展，微机械的研究也随之逐步兴起，对微位移驱动技术的要求也越来越高。压电驱动器是基于波动原理的新型控制与驱动的微驱动器，利用压电元件所具有的逆压电效应，将电能转换为机械能的新型
收精日期：20120605
驱动装置。压电陶瓷微位移器件具有体积小、出力大、分辨率高和频响高的优点，同时还不发热、无噪声、易于控制，是纳米驱动定位技术中比较理想的微位移器件，这类高精度仪器和装备正在激光通讯、生物工程、纳米加工、自动控制、机器人等高新技术领域得到推广应用，将会在国民经济中发挥越来越重
作者离介：录海旭（1984-），男，助理工程师，主要从事煤矿机械研发、设计工作。
联系电话：15515666220;Email;286090947qq.com