GB/T 38614-2020
基于柔性铵链机构和压电陶瓷驱动器的纳米定位与扫描平台测量方法
Measurement method for nano positioning and scanning stage based on flexure hinge mechanism and piezo actuator
2020-11-01实施
2020-04-28发布
本标准按照GB/T 1.1一2009 给出的规则起草。
本标准由全国电子测量仪器标准化技术委员会（SAC/TC153）提出并归口。