GB/T 38616-2020
纳米定位与扫描平台术语
Terminology for nano positioning and scanning stage
2020-11-01 实施
2020-04-28发布
目 次
前言………………………………………………………………………………………………………… 1
1 范围 ……………………………………………………………………………………………………… 1
2 通用术语 ………………………………………………………………………………………………… 1
3 检测术语 ………………………………………………………………………………………………… 2
索引……………………………………………………………………………………………………………7
本标准按照GB/T 1.1—2009给出的规则起草。
本标准由全国电子测量仪器标准化技术委员会（SAC/TC153）提出并归口。