ICS 77.150.40 H 62
YS
中华人民共和国有色金属行业标准
YS/T9362013
集成电路器件用镍钒合金靶材
Sputtering nickel vanadium alloy target used in integrated circuit device
2013-10-17发布
2014-03-01实施
发布
中华人民共和国工业和信息化部 YS/T936—2013
前言
本标准按照GB/T1.1一2009给出的规则起草。 本标准由全国有色金属标准化技术委员（SAC/TC243)归口。 本标准负责起草单位：有研亿金新材料股份有限公司。 本标准参加起草单位：北京有色金属研究总院、宁波江丰电子材料股份有限公司、中国有色金属工
业标准计量质量研究所。
本标准主要起草人：董亭义、何金江、刘红宾、张涛、姚力军、王学泽、向磊、徐学礼、朱晓光、丁照崇、 吕超、雷继峰、熊晓东、张殿凯、李娜。
I YS/T936-—2013
集成电路器件用镍钒合金靶材
1范围
本标准规定了集成电路器件用镍钒合金溅射靶材的要求、试验方法、检验规则和标志、包装、运输、 贮存、质量证明书及合同或订货单内容。
本标准适用于电子薄膜制造用的各类镍钒合金溅射靶材。
2 规范性引用文件
下列文件对于本文件的应用是必不可少的。凡是注日期的引用文件，仅注日期的版本适用于本文件。凡是不注日期的引用文件，其最新版本（包括所有的修改单）适用于本文件。
GB/T1031 产品几何技术规范（GPS）表面结构轮廊法表面粗糙度参数及其数值 GB/T6394 金属平均晶粒度测定法 GB/T14265金属材料中氢、氧、氮、碳和硫分析方法通则 GJB1580A 变形金属超声检验方法 YS/T837 溅射靶材-背板结合质量超声波检验方法
3术语和定义
下列术语和定义适用于本文件。
3.1
靶材target 溅射沉积技术中的阴极部分。该阴极材料在带正电荷的阳离子撞击下以分子、原子或离子的形式
脱离阴极而在阳极表面沉积， 3.2
靶坏 targetblank 阴极上用作目标材料的部分。
3.3
背板 backingplate 用来支撑或固定靶坏的部分。靶材与背板可以通过焊接（如钎焊、电子束焊、扩散焊等）、机械复合、
粘接等方式连接。
4要求
4.1产品分类 4.1.1按照结构形式分为单体和复合两种，如图1所示。
1 YS/T936--2013
靶还一焊接层背板
a) 复合靶材
b) 单体靶材
图1 靶材结构示意图
4.1.2 按照形状分类主要为圆形、矩形和异形（如三角形等）。 4.1.3 靶材的背板可包括铜及铜合金、铝及铝合金等。 4.2 牌号表示方法和标记示例
口-
产品等级合金元素含量（质量分数）产品名称
示例：重量百分比为7的2级镍钒合金表示为NiV7-2。 4.3 化学成分
镍钒合金溅射靶材的成分及杂质元素要求应符合表1规定。
表1 镍钒合金溅射靶材牌号和对应的化学成分表化学成分
金属杂质含量(1×10-*)/% <
牌 号 NiV7-1 NiV7-2 NiV7-3
(1×10-*)/% Ni
V
Ag Al As Ca Co Cr Cu Fe K Li 5 50 3 1 15 25 15 15 I 1 5 80
余量
30 50 50 60 100 5 5
7.0±0.5
-
100 100 100 300 一
金属杂质含量(1×10-)/% L Mn
杂质总含量 (1×10-)/% <
牌 号
Mg 2 50
Mo Na Pb Si Ti W Zn 15 1 5 5 25 5 3 20 5 5 200 50
NiV7-1 NiV7-2 NiV7-3 牌号 NiV7-1 NiV7-2 NiV7-3 注1：用户对合金元素和杂质元素有特殊要求的，由供需双方协商。 注2：镍钒合金溅射靶材的纯度为100%减去表中金属杂质实测总和的余量(不含C、N、O、S)。 注3：“二”表示不作要求。 2
5 10 0.01
100 500 1 000
气体杂质含量(1×10-*)/%
c 100 400
N 30 50
0 100 150
S 20 30 YS/T936—2013
4.4 晶粒尺寸
镍钒合金溅射靶材的晶粒尺寸应符合表2规定，并且晶粒分布均匀。
表2镍钒合金溅射靶材晶粒尺寸要求
平均值/μm ≤100
最大值/μm ≤150
注：需方如有特殊要求时，由供需双方商定，并在合同（或订货单)中注明。
4.5 内部质量
镍钒合金溅射靶材内部不应有夹杂和气孔等缺陷。需方如有特殊要求时，由供需双方商定。 4.6 5焊接质量
镍钒合金溅射靶材的焊接分为钎焊和扩散焊。焊接质量应符合表3的规定，需方如有特殊要求时，由供需双方商定。
表3 焊接质量要求
焊接方式钎焊扩散焊
单个未焊合间隙面积占总面积的百分比
焊接结合率 ≥95% ≥98%
≤2% ≤1%
4.7 外形尺寸与允许偏差
镍钒合金溅射靶材尺寸一般由需方提供图纸，经供需双方确认后，方可生产。 4.8表面粗糙度
镍钒合金溅射靶材表面粗糙度应符合图纸要求，图纸无要求时Ra值应不大于1.6μm。需方如有特殊要求时，由供需双方商定，并在合同（或订货单)中注明。 4.9 外观质量
镍钒合金溅射靶材表面应清洁、光滑，无指痕、油污、锈蚀、颗粒附加物或其他沾污。
5 试验方法
5.1化学成分的分析方法 5.1.1化学成分分析按照附录A和附录B的规定进行。 5.1.2气体元素C、N、O、S的分析按照GB/T14265的规定执行。
3 YS/T936—2013
5.2 2晶粒尺寸检验
按照GB/T6394进行观察、评定和确认。 5.3内部质量检验
按GJB1580A的规定进行。 5.4焊接质量检验
按YS/T837的规定进行。 5.5产品外形尺寸及其允许偏差
应用相应精度的测量工具进行测量。 5.6表面粗糙度检测
按照GB/T1031的规定进行。 5.7 外观质量
用目视检查，如发现异常现象，在10倍放大镜条件下进行目视检查。 5.8 包装质量
用目视检查。
检验规则
6
6.1 1检验和验收
6.1.1产品应由供方检验部门进行检验，保证产品质量符合本标准及合同（或订货单）的规定，并填写质量证明书， 6.1.2需方应对收到的产品按本标准的规定进行检验。如检验结果与本标准及合同（或订货单)的规定不符时，应在收到产品之日起1个月内向供方提出，由供需双方协商解决。如需仲裁，仲裁取样应由供需双方在需方共同进行。 6.2 组批
产品应成批提交验收。每批应由同一炉次、同种牌号和规格的产品组成。 6.3 检验项目、取样规定 6.3.1产品应进行化学成分、晶粒尺寸、内部质量、焊接质量、几何尺寸、表面粗糙度、外观质量、包装质量检验。检测项目、取样位置及数量见表4。 YS/T936—2013
表4检测项目、取样位置及数量
取样位置铸锭缩孔下见6.3.2 焊接前焊接后成品成品成品成品
检验项目化学成分晶粒尺寸内部质量焊接质量几何尺寸表面粗糙度外观质量包装质量
取样数量 1个样品/锭 2个样品/批
检验的章条号
要求的章条号
4.3 4.4 4.5 4.6 4.7 4.8 4.9 7.2
5.1 5.2 5.3 5.4 5.5 5.6 5.7 5.8
逐件逐件逐件逐件逐件逐件
6.3.2 取样：晶粒尺寸的检测在靶坏焊接前进行。取样如图2所示。
样品2
样品2 口
样品1
样品1
a) 圆形艳还
b）矩形靶坏
图2 镍钒合金溅射靶材坏晶粒尺寸分析取样示意图
6.4检验结果判定 6.4.1化学成分检测不合格时，则判该批生产的靶材不合格。 6.4.2晶粒尺寸抽检不合格时，判该件不合格；剩余产品双倍抽样进行检验，若有一项结果不合格，则判整批产品不合格。 6.4.3内部质量检测、焊接质量检测、几何尺寸检测、表面粗糙度检验、外观质量检测，有一项不合格时，判该件不合格。 6.4.4包装质量不合格时，判该件产品不合格，可进行再次包装，合格后重新组批交货。
标志、包装、运输、贮存和质量说明书
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7.1标志 7.1.1每块检验合格的镍铂靶材上应进行如下标记：
a) 供应商名称； b）产品名称和牌号； c) 批号。
7.1.2 产品外包装上应贴标签，内容包括：
供应商名称；
a)
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b) 产品名称和牌号； c) 批号； d) 生产日期。
7.2 包装 7.2.1 包装应在100级洁净间内进行，每块镍铂靶材独立真空包装。 7.2.2 外包装采用纸盒或中空盒包装。包装盒内应有软质填充。将质量证明书用塑封袋装好后放于包装盒内。 7.2.3 包装产品应保存于清洁的环境中。 7.3 运输与贮存
运输及贮存过程中，应注意防震、防潮、防压、防二次污染。 7.4 质量证明书
每批产品应附有质量证明书，其上注明： a) 供方名称； b) 产品名称和牌号； c) 规格； d) 数量； e) 净重； f) 批号； g) 检测报告和技术监督部门印记； h) 生产日期； i) 本标准号。
合同（或订货单）内容
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本标准所列材料的合同(或订货单)内应包括下列内容： a) 产品名称和牌号； b) 规格； c) 数量； d) 本标准编号； e) 其他。
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