ICS 77.150.99 H 68
YS
中华人民共和国有色金属行业标准
YS/T1069—2015
金铍蒸发料
Gold-beryllium alloy evaporation material
2015-10-01实施
2015-04-30发布
中华人民共和国工业和信息化部 发布 YS/T1069—2015
前言
本标准按照GB/T1.1一2009给出的规则起草。 本标准由全国有色金属标准化技术委员会（SAC/TC243)提出并归口。 本标准起草单位：贵研铂业股份有限公司、有色金属技术经济研究院。 本标准主要起草人：谢宏潮、阳岸恒、向磊、朱勇、朱武勋。
1 YS/T1069—2015
金铍蒸发料
1范围
本标准规定了金铍合金蒸发料的技术要求、试验方法和检验规则及标志、包装、运输、贮存及质量证明书与订货单（或合同)内容。
本标准适用于半导体行业用金铍合金蒸发材料。
2规范性引用文件
下列文件对于本文件的应用是必不可少的。凡是注日期的引用文件，仅注日期的版本适用于本文
件。凡是不注日期的引用文件，其最新版本（包括所有的修改单）适用于本文件
GB/T15072.11 贵金属合金化学分析方法 金合金中钒和铍量的测定 电感耦合等离子体原子发射光谱法
GB/T 15077 贵金属及其合金材料几何尺寸测量方法 GB/T26292—2010金锗蒸发料 GJB 950.1A 贵金属及其合金微量元素分析方法
3要求
3.1产品分类
按合金元素组成分为3个牌号：Au99.5Be、Au99Be、Au98Be。
3.2 化学成分
产品的化学成分应符合表1的规定。
表1化学成分
%（质量分数)
杂质含量不大于
主成分
合金牌号
Be
Fe
Pb
Cd 总量
Au
Sb
Zn
Bi
Au99.5Be 余量 0.45~0.55 0.002 0.002 0.002 0.002 0.005 0.005 0.02
余量 0.90~1.10 0.002 0.002 0.002 0.002 0.005 0.005 0.02 余量 1.98~2.20 0.002 0.002 0.002 0.002 0.005 0.005 0.02
Au99Be Au98Be
几何尺寸和偏差
3.3
产品的几何尺寸及其允许偏差应符合表2的规定。经双方协商.可提供其他规格的产品。
1 YS/T1069—2015
表2 外形尺寸及允许偏差
几何尺寸及允许偏差/mm
合金牌号
形态
长度
直径
直径允许偏差
长度允许偏差
Au99.5Be Au99Be Au98Be
圆柱状
2~7
±0.2
3~10
±0.5
3.4外观质量
产品表面应光洁、平整，不允许有裂纹、起皮、气泡、夹杂物等缺陷，但允许有轻微的、局部的表面划
伤、凹坑、剪切痕迹
4 检验方法
4.1化学成分中金和铍量的分析按GB/T15072.11的规定进行，锌和元素含量的分析按GB/T26292- 2010附录A的规定进行，其余杂质元素含量的分析按GJB950.1A的规定进行。 4.2几何尺寸检测按GB/T15077的规定进行。 4.3 外观质量采用目视检查。
5检验规则
5.1检验和验收 5.1.1产品应由供方检验部门进行检验，保证产品质量符合本标准和订货单（或合同）的规定，并填写质量证明书。 5.1.2需方应对收到的产品按本标准的规定进行检验，如检验结果与本标准（或订货合同)的规定不符时，应在收到产品之日起一个月内向供方提出，由供需双方协商解决。如需仲裁，仲裁取样由供需双方在需方共同进行，取样2个。 5.2组批
产品应成批提交验收。每批应由同一合金牌号、同一炉号和规格尺寸的产品组成，
5.3检验项目及取样
检验项目、取样位置及数量应符合表3的规定。
表3# 检验项目、取样位置及数量
检验项目化学成分几何尺寸外观质量仲裁样品
取样位置铸棒头尾随机随机随机
取样数量每炉2个每批10个每批10个每批2个
要求的章条号
检验的章条号
3.2 3.3 3.4
4.1 4.2 4.3
3.2、3.3,3.4
4.1、4.2、4.3
2 YS/T1069—2015
5.4检验结果的判定 5.4.1 化学成分不合格时，判该炉不合格 5.4.2 2几何尺寸和外观质量不合格时，允许从该批产品中取双倍试样进行重复试验。重复试验结果如有一项不合格，判该批产品不合格。
6标志、包装、运输和贮存
6.1标志
在已检验合格的产品上应附上如下标记： a) 产品名称； b) 合金牌号； c) 批号； d) 规格； e) 质量； f) 生产日期； g) 生产厂家地址及电话。
6.2 包装、运输和贮存 6.2.1 产品固定在不易损坏的纸箱或木箱中。 6.2.2 产品运输过程中要防止碰伤和压伤，不得损坏和沾污产品。 6.2.3 产品应保存在干燥、清洁、无腐蚀性气氛的环境中。 6.3 质量证明书
每批产品应附有质量证明书，注明： a) 供方名称、地址、电话、传真； b) 产品名称； c) 合金牌号； d) 批号； e) 规格； f) 净重； g) 各项检验结果和技术监督部门印记； h) 出厂日期。
订货单（或合同)内容
7
订购本标准所列产品的订货单（或合同）内应包括下列内容： a) 产品名称； b) 合金牌号； c) 规格； d) 数量； e) 本标准编号； f) 其他。 SL0Z—6901 L/SX
中华人民共和国有色金属
行业标准金铍蒸发料 YS/T1069—2015
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中国标准出版社出版发行北京市朝阳区和平里西街甲2号（100029）北京市西城区三里河北街16号（100045）
网址：www.gb168.cn 服务热线：400-168-0010
010-68522006
2015年9月第一版
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书号：155066·2-28954
版权专有 侵权必究
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