YS/T 954-2014
金砷蒸发料
Gold-arsenic alloy for evaporating
2014-10-14 发布
2015-04-01实施
本标准按照 GB/T1.1—2009 给出的规则起草。
本标准由全国有色金属标准化技术委员会（SAC/TC 243）负责归口。
1范围
本标准规定了金砷蒸发料的要求、试验方法、检验规则和标志、包装、运输、贮存及质量证明书与合同（或订货单）等内容。
本标准主要适用于半导体芯片制造背金时用的金砷蒸发料。
2 规范性引用文件
下列文件对于本文件的应用是必不可少的。凡是注日期的引用文件，仅注日期的版本适用于本文件。凡是不注日期的引用文件，其最新版本（包括所有的修改单）适用于本文件。
GB/T 11066.1 金化学分析方法 金量的测定 火试金法
GB/T15077 贵金属及其合金材料几何尺寸测量方法
GB/T 25934.1 高纯金化学分析方法 第1部分∶乙酸乙酯萃取分离-ICP-AES 法测定杂质元素的含量