ICS 77.150.99 H 68
GP
中华人民共和国国家标准
GB/T260322010
镍蒸发料
Evaporatednickel'material
2011-10-01实施
2011-01-10发布
中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局中国国家标准化管理委员会
发布 GB/T26032—2010
前言
本标准由全国有色金属标准化技术委员会（SAC/TC243)归口。 本标准由有研亿金新材料股份有限公司负责起草。 本标准主要起草人：尚再艳、雷继峰、朱晓光、杨永刚、班立志、熊晓东、江轩。
H GB/T26032—2010
镍蒸发料
1范围
本标准规定了镍蒸发料的要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输、贮运及质量证明书与订货单 (或合同)内容。
本标准适用于半导体行业用的各类镍蒸发料。其他用途的镍蒸发料也可参照使用。
2 规范性引用文件
下列文件对于本文件的应用是必不可少的。凡是注日期的引用文件，仅所注日期的版本适用于本文件。凡是不注日期的引用文件，其最新版本（包括所有的修改单）适用于本文件。
GB/T2828.1计数抽样检验程序第1部分：按接收质量限（AQL)检索的逐批检验抽样计划 GB/T8647.8镍化学分析方法硫量的测定高频感应炉燃烧红外吸收法 GB/T 8647.9 镍化学分析方法碳量的测定高频感应炉燃烧红外吸收法 GB/T15077 贵金属及其合金材料几何尺寸测量方法 GB/T26016—2010高纯镍
3要求
3.1产品分类
镍蒸发料的类型按镍的纯度分为IC-Ni99.99和IC-Ni99.995两种。 镍蒸发料形状主要分为片状和柱状两种，如图1所示。
LDJ
Ic
A
-
a)片状
b)柱状
图1镍蒸发料示意图
3.2化学成分要求 3.2.14 镍蒸发料的化学成分要求见表1。
1 GB/T26032—2010
表1镍蒸发料化学成分要求
牌 号 Ni含量不小于/%
IC-Ni99, 99 99. 99 0. 05
IC-Ni99. 995 99.995
K Na Li Be Mg Ca Mn Fe Co Cu Zn Cd Al Sn Sb Pb Bi B As Si P Ti v Cr
0. 05 0. 5 0. 01 0. 01 1 0. 05 0. 1 20 20 20 0. 1 0. 05 5 0. 1 0. 1 1 0. 05 0. 1 5 10 0. 1 20 20 20 50
0. 5 0. 01 0. 01 10 0. 05 10 20 20 20 0. 1 0. 05 10 3 3 3 3 20 5 50 1 20 20 20 100
杂质含量/（×10-），不大于
杂质总量/（X10-6），不大于
注1：镍的含量为100%减去表中杂质元素实测总和的余量注2：顾客对某种特定杂质元素含量有要求的，由供需双方协商确认
3.2.2 镍蒸发料的非金属元素含量要求见表2。
表2 镍蒸发料非金属元素含量要求
牌号
IC-Ni99. 99
IC-Ni99.995
c H N 0 s
100 10 20 100 10
50 10 10 50 10
非金属元素含量/（×10-），不大于
2 GB/T 26032—2010
3.3供货状态
镍蒸发料以加工态供货。
3.4几何尺寸
镍蒸发料的规格及允许偏差如表3所示。
表3镍蒸发料规格
片状
柱状
A 10 15
B 10 15 一 ±0, 5
c 2 2 - ±0. 2
R 1 1. 5
D 3 6 7 ±0.2
L 6 6 20 ±0. 5
尺寸/mm
一
± 0.5
允许偏差/mm 注：经双方协商，可提供其他规格及允许偏差的镍蒸发料。
3.5外观质量
镍蒸发料表面应光亮平整、洁净，边、角完整，无飞边、无毛刺、无夹杂、无裂纹等缺陷；应清洁、无油污和锈蚀；应无颗粒附加物和其他沾污。
4试验方法
4.1镍蒸发料的杂质含量参考GB/T26016一2010附录A采用辉光放电质谱（GDMS)进行检测；非金属杂质元素S的含量参考GB/T8647.8进行检测；非金属杂质元素C的含量分别参考GB/T8647.9 进行检测；非金属杂质元素N、O、H的分析方法由供需双方协商决定。 4.2镍蒸发料几何尺寸的测量按GB/T15077规定进行。客户特别要求，可按技术协议或按需方图纸、来样检查。 4.3外观质量用目视检查，如发现异常现象，用10倍放大镜鉴别。
5检验规则
5.1检查和验收 5.1.1镍蒸发料由供方检验部门进行检验，保证产品质量符合本标准（或订货合同)的规定，并填写质量证明书。 5.1.2需方应对收到的产品按本标准的规定进行检验，如检验结果与本标准（或订货合同)的规定不符时，应在收到产品之日起3个月内向供方提出，由供需双方协商解决。如需仲裁，仲裁取样由供需双方共同进行。 5.2组批
镍蒸发料应成批提交检验。每批应由同一投料批、规格和牌号的产品组成。
3 GB/T26032—2010
5.3检验项目、取样位置和取样数量
检验项目、取样位置及数量应符合表4的规定。
表4检验项目、取样位置及数量
检验项目
取样位置
取样数量
要求的章条号
检验方法的章条号
按铸锭数量的20%进行抽检，
化学成分
但不少于1个铸锭；每铸锭取1个样按GB2828.1标准取S-1， AQL=1.5抽取样品按GB2828.1标准取S-1， AQL=1.5抽取样品
铸锭缩孔下
3. 2
4. 1
尺 寸
成品随机取样
3. 4
4.2
表面质量包装质量
成品随机取样
3. 5 6. 2.1
4, 3 4. 4
逐件
-
5.4检验结果判定 5.4.1化学成分不合格时，判该锭不合格。重新取双倍数量的铸锭取样进行重复试验，若仍有不合格，则判该批不合格。 5.4.2几何尺寸不合格时，判该批产品不合格。 5.4.3外观质量不合格时，判该批产品不合格。
6标志、包装、运输、贮存
6.1标志
在已检验合格的每瓶或每袋产品上应附标签，注明： a）产品名称； b) 纯度； c) 规格； d) 净重； e) 批号； f) 生产日期； g) 供方名称； h) 生产厂家地址电话。
6.2 2包装、运输和贮存 6.2.1镍蒸发料内包装可采用塑料瓶包装和真空封装两种，塑料瓶包装的瓶口铝封膜要封口完整，无开裂，无贯通。真空袋封口要平整无贯通，真空袋体无漏洞，无真空泄漏。 6.2.2外包装采用纸箱或木箱包装。经供需双方协商还可采用其他方式包装。 6.2.3产品运输过程中应防止碰伤、擦伤，不得损坏和沾污产品，并保证运输过程中产品及包装完整。 6.2.4产品应保存于清洁的环境中。
4 GB/T26032—2010
6.3 质量证明书
每批产品应附有质量证明书，注明：
客户名称； b) 供方名称； c) 产品名称； d) 纯度； e) 规格； f) 数量； g) 净重； h) 批号； i) 检测报告和技术监督部门印记； j) 生产日期； k) 执行标准号。
a)
A
订货单（或合同)内容
订购本标准所列产品的订货单（或合同)内应包括下列内容： a) 产品名称； b) 纯度； c) 规格； d) 数量； e) 执行标准号； f) 其他。
5 中华 人民共 和 中国
国家标 准镍蒸发 料 GB/T26032—2010
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中国标准出版社出版发行北京复兴门外三里河北街16号
邮政编码：100045 网址www.spc.net.cn 电话：6852394668517548
中国标准出版社秦皇岛印刷厂印刷
各地新华书店经销
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开本880×12301/16 印张0.75 字数10千字
2011年3月第一版 2011年3月第一次印刷
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书号：155066·1-41728 3定价16.00元
如有印装差错 由本社发行中心调换
版权专有侵权必究举报电话：(010)68533533
GB/T26032-2010
打印日期：2011年3月28日F009