ICS 77.150.99 H 68
GB
中华人民共和国国家标准
GB/T 26028—2010
铝蒸发料 Evaporated aluminum material
2011-10-01实施
2011-01-10发布
中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局中国国家标准化管理委员会
发布 GB/T26028—2010
前言
本标准由全国有色金属标准化技术委员（SAC/TC243)归口。 本标准由有研亿金新材料股份有限公司负责起草。 本标准主要起草人：尚再艳、王永辉、王鹏、杨永刚、熊晓东、江轩。 GB/T 26028—2010
铝蒸发料
1范围
本标准规定了铝蒸发料的要求、试验方法、检验规则和标志、包装、运输、贮存及质量证明书与订货单(或合同)内容。
本标准适用于半导体行业用的各类铝蒸发料。其他用途的铝蒸发料也可参照使用。
2 规范性引用文件
下列文件对于本文件的应用是必不可少的。凡是注日期的引用文件，仅所注日期的版本适用于本文件。凡是不注日期的引用文件，其最新版本（包括所有的修改单）适用于本文件。
GB/T2828.1计数抽样检验程序第1部分：按接收质量限（AQL)检索的逐批检验抽样计划 GB/T15077贵金属及其合金材料几何尺寸测量方法
3要求
3.1产品分类
铝蒸发料的类型按铝的纯度分为IC-A199.999和IC-A199.9995两种。 铝蒸发料形状主要分为片状和柱状两种，如图1所示。
LD
A
-
片状
柱状
图1铝蒸发料示意图
3.2成分要求
铝蒸发料的化学成分要求见表1。
1 GB/T26028—2010
表1铝蒸发料的化学成分
%
牌号 Al含量不小于
IC-A199. 999 99.999
IC-A199. 9995
99.9995
As、Ag、Au、B、Be、Ca、Ce、Cr、Cs、Cu、Fe、K、Li、Mg、Mn、Na、Ni、P、Sb、Si、Sn、Th、 Ti.U、V、Zr、Zn
必检杂质元素
0.001
0.000 5
杂质总含量不大于
其中：K+Na+Li:≤0.0001
其中：K+Na+Li:≤0.0001
注1：铝的含量为100%减去表中杂质元素实测总和的余量。 注2：顾客对某种特定杂质元素含量有要求的，由供需双方协商确认。
铝蒸发料的非金属元素含量（%）要求如下： C:≤0.0020.CI:≤0.0004、N:≤0.001 0、O:≤0.0030、H:≤0.0001、S:≤0.0010
3.3供货状态
铝蒸发料以加工态供货。 3.4几何尺寸
铝蒸发料的规格及允许偏差如表2所示。
表2铝蒸发料规格
片状
柱状
项 目
c 2 2
A 10 15
B 10 15
D 3 6 7 ±1
R
L 6 6 20 ±1
1
尺寸/mm
1. 5 -
-
允许偏差/mm 注：经双方协商，可提供其他规格及允许偏差的铝蒸发料。
±0.5
±0.5
±0.2
3.5外观质量
铝蒸发料表面应光亮平整、洁净，边、角完整，无飞边、无毛刺、无夹杂、无裂纹等缺陷；应清洁、无油污和锈蚀；应无颗粒附加物和其他沾污。
4试验方法
4.14 铝蒸发料的金属杂质、CI含量采用辉光放电质谱（GDMS)检测。非金属杂质元素C、N、O、H、S 2 GB/T26028—2010
的分析方法由供需双方协商决定。 4.2铝蒸发料几何尺寸的测量按GB/T15077规定进行。客户特别要求，可按技术协议或按需方图纸、来样检查验收。 4.3外观质量用目视检查，如发现异常现象，用10倍放大镜鉴别。
5检验规则
5.1检查和验收 5.1.1铝蒸发料由供方检验部门进行检验，保证产品质量符合本标准（或订货合同)的规定，并填写质量证明书。 5.1.2需方应对收到的产品按本标准的规定进行检验，如检验结果与本标准（或订货合同)的规定不符时，应在收到产品之日起3个月内向供方提出，由供需双方协商解决。如需仲裁，仲裁取样由供需双方共同进行。 5.2组批
铝蒸发料应成批提交检验。每批应由同一炉次、牌号和规格的产品组成，
5.3检验项目、取样位置和取样数量
取样位置和取样数量按表3的规定进行。
表3检验项目、取样位置及数量
要求的章条号 检验方法的章条号
取样数量每炉1个
检验项目化学成分
取样位置熔炼留样
3. 2
4. 1
按GB2828.1标准取S-1， AQL=1.5抽取样品
尺 寸
成品随机取样
3. 4
4. 2
按GB2828.1标准取S-1，
3. 5
4. 3
表面质量
成品随机取样
AQL=1.5抽取样品
包装质量
逐件
6. 2.1
4. 4
5.4检验结果判定 5.4.1化学成分不合格时，重新取双倍样进行重复试验，若检验合格，判该炉铸锭成分合格，若仍有不合格，则判该炉铸锭不合格。 5.4.2尺寸不合格时，判该批产品不合格。 5.4.3外观质量不合格时，判该批产品不合格。
3 GB/T26028—2010
6标志、包装、运输、贮运
6.1标志
在已检验合格的每瓶或每袋产品上应附标签，注明： a）产品名称； b）纯度； c）规格； d）净重； e）批号； f）生产日期； g）供方名称； h)、生产厂家地址电话。
6.2包装、运输和贮存 6.2.1 铝蒸发料内包装可采用塑料瓶包装和真空封装两种，塑料瓶包装的瓶口铝封膜要封口完整，无开裂，无贯通。真空袋封口要平整无贯通，真空袋体无漏洞，无真空泄漏。 6.2.2外包装采用纸箱或木箱包装。经供需双方协商还可采用其他方式包装。 6.2.3产品运输过程中应防止碰伤、擦伤，不得损坏和沾污产品，并保证运输过程中产品及包装完整。 6.2.4产品应保存于清洁、干燥的环境中。 6.3质量证明书
每批产品应附有质量证明书，注明： a）客户名称； b）供方名称； c）产品名称； d）纯度； e）规格； f）数量; g）净重; h）批号； i) 检测报告和技术监督部门印记；
? 生产日期； k） 执行标准号。 7订货单(或合同)内容
订购本标准所列产品的订货单（或合同)内应包括下列内容： a）产品名称； b）纯度； 4 GB/T26028—2010
c) 规格； d) 数量； e) 执行标准号； f) 其他。
5 中华人民共和国
国家标准铝蒸发料 GB/T26028—2010
中国标准出版社出版发行北京复兴门外三里河北街16号
邮政编码：100045 网址www.spc.net.cn 电话：6852394668517548
中国标准出版社秦皇岛印刷厂印刷
各地新华书店经销
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开本880×12301/16 印张0.75字数10千字
2011年3月第一版 2011年3月第一次印刷
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书号：155066·1-41724定价16.00元
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GB/T26028-2010
打印日期：2011年4月1日F009A