ICS 77. 150. 99 CCS H 68
YS
中华人民共和国有色金属行业标准
YS/T15082021
钯蒸发料 Palladium evaporating material
2021-12-02发布
2022-04-01实施
中华人民共和国工业和信息化部 发布 YS/T1508—2021
前言
本文件按照GB/T1.1一2020《标准化工作导则第1部分：标准化文件的结构和起草规则》的规定起草。
请注意本文件的某些内容可能涉及专利。本文件的发布机构不承担识别专利的责任本文件由全国有色金属标准化技术委员会（SAC/TC243)提出并归口。 本文件起草单位：有研亿金新材料有限公司、成都光明派特贵金属有限公司、北京翠铂林有色金属技
术开发中心有限公司、北京有色金属与稀土应用研究所。
本文件主要起草人：侯智超、高岩、贺昕、石映奔、王鹏、牟冉冉、滕海涛、罗瑶、张巧霞、吕保国、 董亭义、王炜。 YS/T 15082021
钯蒸发料
1范围
本文件规定了钯蒸发料的分类和标记、技术要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输、贮存及随行文件和订货单内容。
本文件适用于半导体行业用的钯蒸发料。
2规范性引用文件
下列文件中的内容通过文中的规范性引用而构成本文件必不可少的条款。其中，注日期的引用文件，仅该日期对应的版本适用于本文件；不注日期的引用文件，其最新版本（包括所有的修改单）适用于本文件。
GB/T1420—2015海绵钯 GB/T2828.1计数抽样检验程序第1部分：按接收质量限（AQL)检索的逐批检验抽样计划 GB/T8170数值修约规则与极限数值的表示和判定 GB/T15077一2008贵金属及其合金材料几何尺寸测量方法 GB/T19445 5贵金属及其合金产品的包装、标志、运输、贮存
3术语和定义
本文件没有需要界定的术语和定义。
4分类和标记
4.1产品分类
产品的牌号、状态、形状、规格应符合表1的规定。
表1） 牌号、状态、形状、规格
规 格 mm
状态
形状
牌 号
直径
高度 0.1~5 3~10 0.1~5 3~10
宽度 5~20
长度 5~20
片状柱状片状柱状
-
IC-Pd99. 95
硬态
2~8 - 2~8
5~20
5~20
IC-Pd99. 99
硬态
-
4.2产品标记
产品标记按产品名称、文件编号、牌号、规格的顺序表示。
1 YS/T1508—2021
示例1：
用IC-Pd99.95牌号制造的、高为1mm、宽为5mm、长为5mm的片材，标记为：
片YS/T1508-IC-Pd99.95-1X5X5
示例2：
用IC-Pd99.99牌号制造的、直径为3mm、高为3mm的柱材，标记为：
柱 YS/T 1508-IC-Pd99.99-Φ 3X3
5技术要求
5.1化学成分
IC-Pd99.95牌号、IC-Pd99.99牌号的化学成分应分别符合GB/T1420—2015海绵钯SM-Pd99.95 和SM-Pd99.99的成分要求。 5.2 外形尺寸及其允许偏差 5.2.1高度及其允许偏差
钯蒸发料片状产品的高度及其允许偏差应符合表2的规定。
表2高度及其允许偏差
单位为毫米
高度 0.1~1 >1~2 >2~5
高度允许偏差
±0. 05 ±0.10 ±0.20
5.2.2宽度及其允许偏差
钯蒸发料片状产品的宽度及其允许偏差应符合表3的规定。
表3宽度及其允许偏差
单位为毫米
宽度 5~20
宽度允许偏差
±0.5
5.2.3长度及其允许偏差
钯蒸发料的长度及其允许偏差应符合表4的规定。
表4长度及其允许偏差
单位为毫米
长度 3~5 5~20
长度允许偏差
±0.2 ±0.5
5.2.4直径及其允许偏差
钯蒸发料柱状产品的直径及其允许偏差应符合表5的规定。
2 YS/T1508—2021
表5直径及其允许偏差
单位为毫米
直径 2~8
直径允许偏差
±0.2
5.3外观质量 5.3.1产品表面应光亮平整，允许有轻微的冲、剪、裁等痕迹。边角完整、无飞边、毛刺、夹杂和裂纹等缺陷。 5.3.2产品表面应清洁、无油污和锈蚀。应无颗粒附加物和其他沾污。
6试验方法
6.1化学成分
称取0.3g钯蒸发料试料，精确至0.001g，将试料置于100mL聚四氟乙烯烧杯中，加人6mL盐酸 2mL硝酸，盖上表面皿，低温溶解至完全。取下，冷却，转入25mL容量瓶中，用水稀释至刻度，混匀得到试样溶液。然后将试样溶液按GB/T1420一2015中附录A的规定进行化学成分分析。 6.2外形尺寸及其允许偏差
产品的外形尺寸及其允许偏差的测量方法按GB/T15077一2008方法1的规定进行。 6.3外观质量
外观质量用目视检查，如发现异常现象，用10倍放大镜鉴别。
7检验规则
7.1检查和验收 7.1.1产品应由供方或第三方进行检验，保证产品质量符合本文件及订货单的规定。 7.1.2需方可对收到的产品按本文件的规定进行检验。如检验结果与本文件及订货单的规定不符时，应以书面形式向供方提出，由供需双方协商解决。属于表面质量、外形尺寸或化学成分的异议，应在收到产品之日起30日内提出。如需仲裁，应由供需双方在需方共同取样或协商确定。 7.2组批
产品应成批提交验收，每批应由同一炉次、牌号、状态、形状和规格的产品组成。 7.3检验项目
产品应进行出厂检验，检验项目应包含化学成分、外形尺寸及其允许偏差、外观质量。 7.4取样和制样
产品的取样应符合表6规定。 7.5检验结果的判定 7.5.1检验结果的数值按照GB/T8170的规定进行修约，并采用修约值比较法判定。
3 YS/T1508—2021
表6取样
取样规定每批随机取2粒
技术要求的章节号 试验方法的章节号
检验项目化学成分
5. 1 5. 2 5. 3
6.1 6. 2 6.3
外形尺寸及其允许偏差 按GB/T2828.1取S-1,AQL=1.2抽取样品
外观质量
按GB/T2828.1取S-1,AQL=1.2抽取样品
7.5.2化学成分不合格时，则判该批产品不合格。 7.5.3外形尺寸及其允许偏差和外观质量不合格时，按件判不合格。每批中不合格件数超出接收质量限时判整批不合格。
8标志、包装、运输、贮存及随行文件
8.1标志 8.1.1产品标志
应在检验合格的产品上挂标签如下标记： a）牌号； b）状态； c）规格； d）产品批号。
8. 1.2 包装标志
产品的包装箱标志运输贮存应符合GB/T19445的规定。 8.2包装、运输、贮存 8.2.1产品内包装可采用塑料瓶包装和真空封装两种。塑料瓶包装的瓶口铝封膜要封口完整，无开裂、 无贯通。真空袋封口要平整无贯通，真空袋体无漏洞，无真空泄漏。 8.2.2产品外包装采用纸箱或木箱包装。经供需双方协商还可采用其他方式包装。 8.2.3产品运输过程中应防止碰伤、擦伤，并保证运输过程中产品及包装完整。 8.2.4产品应保存于清洁、干燥的环境。 8.3随行文件
每批产品应附有随行文件，其中除应包括供方信息、产品信息、本文件编号、出厂日期或包装日期除外，还宜包括：
a）产品质量保证书，内容如下：
：产品特点（包括制造工艺及原材料的特点）；对产品质量所负的责任；：产品获得的质量认证及带供方技术监督部门检印的各项分析检验结果。
b) 产品合格证，内容如下：
：检验项目及其结果或检验结论； ·批量或批号； ·检验日期；：检验员签名或盖章。
4 YS/T15082021
c) 产品使用说明：正确搬运、使用、贮存方法等。 其他。
d)
订货单内容
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需方可根据自身的需要，在订购本文件所列产品的订货单内，列出如下内容： a) 产品名称； b) 牌号； c) 状态； d) 规格； e) 净重（或件数）； f) 本文件编号； g) 其他。
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中华人民共和国有色金属
行业标准钯蒸发料 YS/T1508—2021
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冶金工业出版社出版发行北京市东城区嵩祝院北巷39号
邮政编码：100009 北京建宏印刷有限公司印刷
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155024·3196
开本880×1230 1/16 印张0.75 字数16千字 2022年3月第一版 2022年3月第一次印刷
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统一书号：155024·3196 定价：60.00元
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