ICS 17.040.30 J 42
92
中华人民共和国国家标准
GB/T26094—2010
电感测微仪 Inductive length measuring instrument
2011-10-01实施
2011-01-10发布
中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局中国国家标准化管理委员会
发布 GB/T 26094—2010
前 言
本标准由中国机械工业联合会提出本标准由全国量具量仪标准化技术委员会（SAC/TC132)归口。 本标准负责起草单位：中原量仪股份有限公司。 本标准参加起草单位：中国计量学院、江苏麦克龙测量技术有限公司、广西壮族自治区计量检测研
究院、河南省计量科学研究院。
本标准主要起草人：金国顺、赵军、黄晓宾、陆蕊、贾晓杰、张红飞
H GB/T26094—2010
电感测微仪
1范围
本标准规定了电感测微仪的术语和定义、型式和基本参数、要求、检验方法、检验规则、标志与包装等。
本标准适用于分度值为0.1μm、1μm，量程不大于2mm，以指针指示的电感测微仪（以下简称“测微仪")。 2规范性引用文件
下列文件中的条款通过本标准的引用而成为本标准的条款。凡是注日期的引用文件，其随后所有的修改单（不包括勘误的内容）或修订版均不适用于本标准，然而，鼓励根据本标准达成协议的各方研究是否可使用这些文件的最新版本。凡是不注日期的引用文件，其最新版本适用于本标准。
GB/T191一2008包装储运图示标志（ISO780：1997，MOD） GB4208—2008外壳防护等级（IP代码）（IEC60529：2001，IDT） GB/T4879--1999防锈包装 GB/T5048-1999 防潮包装 GB/T6388--1986 运输包装收发货标志 GB/T9969一2008工业产品使用说明书总则 GB/T14436—1993 工业产品保证文件总则 GB/T17163--2008 儿何量测量器具术语基本术语 GB/T17164—2008 几何量测量器具术语产品术语 GB/T17626.2—2006电磁兼容试验和测量技术静电放电抗扰度试验（IEC61000-4-2：2001，
IDT)
GB/T17626.3—-2006 6电磁兼容试验和测量技术射频电磁场辐射抗扰度试验（IEC61000-4 3:2002,IDT)
3术语和定义
GB/T17163一2008、GB/T17164一2008中确立的术语和定义适用于本标准。
4型式和基本参数 4.1型式
测微仪由指示器和传感器组成，其型式及装夹尺寸见图1所示。图示仅供图解说明，不表示详细
结构。
1 GB/T26094—2010
零位调整电位器
指示表
放大倍数电位器量程转换开关测量功能选择开关
AA
G
6
-
a）指示器
测头
导线
耳夹孔
测头
a
导线
(o
装夹部位
b）旁向式传感器
c）轴向式传感器
图1电感测微仪的型式示意图
4.2基本参数 4.2.1旁向式传感器装夹部位的型式和尺寸见图2的规定。
单位为毫米
$6.5
2J80
2
7
a）耳夹式
b）支持杆式
图2旁向式传感器装夹部位的型式示意图
4.2.2 轴向式传感器的装夹尺寸及轴向式传感器测头的连接尺寸见表1、图3的规定。
表 1
单位为毫米
D $28f7 $16f7 $8.7
L(参考尺寸)
≥40 ≥20 ≥12
2 GB/T26094—2010
尺寸单位为毫米
表面粗糙度单位为微米
$28f7
M2.5-6g
9
D D
11
0.25
$6f7
M2.5-6H
图3轴向式传感器测头的连接尺寸示意图
4.2.3指示表上相邻两刻线间的距离不小于1mm。 5要求 5.1外观
测微仪表面不应有锈蚀、碰伤和镀层脱落等缺陷，各种标志、数字、刻线应正确清晰。 5.2相互作用
测微仪各紧固部分牢固可靠，各转动部分应灵活，不应有卡滞和松动现象。 5.3硬度和表面粗糙度
传感器测头应选用具有良好耐磨性的材料，其测量面的表面硬度不应低于766HV，表面粗糙度Ra 不应大于0.1μm。 5.4响应时间
测微仪响应时间应小于1s。 5.5调零范围
测微仪调零范围应大于最小分度值档位的满量程。 5.6零位平衡
测微仪零位平衡应小于最小刻线间距的1/2 5.7误差
测微仪的重复性、方向误差、回程误差和最大允许误差见表2的规定。
表 2
重复性
分度值/ μm 0. 1
最大允许误差/
方向误差 1个分度值 1/2个分度值
回程误差 2个分度值 1个分度值
轴向式传感器 旁向式传感器
μm ±(0.2+3×L") ±(0.5+3×L*)
1个分度值 1/2个分度值
1/2个分度值 1/3个分度值
1 a最大允许误差的计算公式中L为校准零位至检测点的距离，单位为mm。
5.8稳定性
在规定时间内，测微仪示值随时间变化的稳定性不应大于表3的规定。
表 3 规定时间/h
稳定性 2个分度值 1个分度值
分度值/μm
0. 1 1
0. 5 4
3 GB/T26094—2010
5.9测量力 5.9.1 传感器的测量力应符合表4的规定。
表4
测量力/N 0. 75 1. 5 2. 5 0. 25
传感器型式
$8f7 $16f7 $28f7
夹持部位直径/
轴向式传感器
mm
旁向式传感器
5.9.2传感器测量力的变化应在75%～125%范围内。 5.10 防护等级(IP)
测微仪应具有防尘、防水能力，其防护等级不得低于IP40（见GB4208一2008）。 5.11抗静电干扰能力和抗电磁干扰能力
测微仪的抗静电干扰能力和抗电磁干扰能力均不应低于1级（见GB/T17626.2--2006、 GB/T17626.3-2006)。 5.12工作环境
测微仪应能在环境温度0℃～40℃、相对湿度不大于80%的条件下进行正常工作。 6检验方法 6.1检验条件
测微仪的检验应在温度为20℃士1℃，温度变化不应大于0.5℃/h的检验室内进行。受检前，测微仪和检验器具应在检验室内等温4h以上。测微仪通电后应预热30min，正式检验在放大倍数调好后进行。 6.2检验项目、方法和检验器具
测微仪的检验项目、检验方法和检验器具见表5。
表 5 检验方法
序号 检验项目
检验器具测盘台架、量块、 秒表
在最小分度值档位上，使测头与测量台架工作台上的量块相接触
1
响应时间 然后迅速使测头移动，测出从给测头等于1/2示值范围的迅速变位
起，到指针指示在个最小分度值之内为止所需的时间在最小分度值档位上，将零位调整旋钮从一端旋到另一端时，读出指针移动的范围
2
调零范围
测量台架、量块
零位平衡 在最小分度值档位上，使指针对准苓位刻度线，依次向各档转动量 测量台架、基块
3
程转换开关，观察各档指针对零位的偏移量在最小分度值档位上，使测头与测量台架工作台上的量块相接触，将测微仪的指针对准任意一条刻度线，用提升机构把测头提起，再使 测量台架、量块、 其自由落下，其提升量应稍大于该档的示值范围，且每次提升量基本 提升机构一致，重复10次取其各次示值中最大值与最小值的差值（见图4）使测头的运动方向垂直于测量台架工作台台面，并与测量台架工作台台面上的半圆柱侧块圆柱面顶部相接触（见图5），调整测微仪的指
重复性
4
测台架、半圆柱侧块
方向误差 针对准任意一个刻度线，以前、后、左、右四个方向推动半圆柱侧块，记
5
下每次半圆柱侧块圆柱面顶部与测头接触时的读数值（示值拐点），计算指示表最大示值与最小示值之差，即为方向误差
4 GB/T260942010
表5（续）检验方法
序号 检验项目
检验器具
使测头与测量台架工作台上的量块相接触，给传感器以正向位移，使指针对准指示表左侧任意一条刻度线后，用提升机构把测头提起，
测量台架、量块、 提升机构
回程误差 其提升量应稍大于该档的示值范围，再缓慢放下，求出提升前后指针
6
指示的差值，重复3次，取最大值（见图4），用同样方法对准指示表右侧任意一条刻度线，再检定一次使测头与测量台架工作台上的量块相接触，将测微仪的指针对准零
示值误差 刻度线，然后根据示值范围的四等分（或六等分）置换相对应的量块，
测量台架、量块*
依次检定出这些受检位置的示值误差，取其最大值（见图4) 在最小分度值档位上，使测头与测量台架工作面相接触，并使指针
稳定性 与满刻度线相邻的刻度线重合，经一定的准备时间后在规定的时间内 测量台架、量块、
8
时钟
读出示值的最大变化量（见图4) 使装在测量台架上的传感器的测头处于自由悬垂状态，然后用测力计沿测头运动方向对测头向上加力，读出指针通过零位时的测力计读数，然后使测头向下移动，当指针通过零位时再次在测力计上读数，取两次读数的平均值，作为测量力（见图6)
测量台架、测力计
测量力
9
检验示值误差用的盘块规定如下：测微仪分度值为0.1μm的选用二等量块；测微仪分度值为1μm的选用三等量块
轴向传感器
劳向传感器
提升机构
块
量块
工作台
H
图4检验重复性、回程误差和示值误差的示意图
轴向传感器
劳向传感器
半圆弧侧块
半圆弧侧块
工作台
工作台
图5检验方向误差的示意图
5 GB/T26094—2010
轴向传感器
旁向传移器
测力计
测力计
图6检验测量力的示意图
7试验方法 7.1防水、防尘试验
测微仪的防水、防尘试验应符合GB4208—2008的规定。 7.2抗静电干扰试验
测微仪的抗静电千扰试验应符合GB/T17626.2一2006的规定。 7.3抗电磁干扰试验
测微仪的抗电磁干扰试验应符合GB/T17626.3一2006的规定。 8标志与包装 8.1标志 8.1.1指示器的标牌或面板上应标志：
a) 制造企业或注册商标； b) 仪器的名称及型号； c) 制造日期及产品序号。
8.1.2 传感器上应标志：
a) 制造企业或注册商标； b) 传感器的型号； c）制造日期及产品序号。
8.1.3测微仪外包装的标志应符合GB/T191—2008和GB/T6388—1986的规定。 8.2包装 8.2.1测微仪的包装应符合GB/T4879—1999和GB/T5048—1999的规定。 8.2.2测微仪应具有符合GB/T14436—1993规定的产品合格证和符合GB/T9969--2008规定的使用说明书，以及装箱单。
6