F
中华人民共和国国家计量技术规范
JJF1331—2011
电感测微仪校准规范
Calibration Specification for Inductive Micrometers
2012-06-28实施
2011-12-28发布
国家质量监督检验检疫总局发布 JJF1331—2011
电感测微仪校准规范
JJF 1331—2011 代替JJG396—2002
Calibration Specification
forInductiveMicrometers
归口单位：全国几何量工程参量计量技术委员会主要起草单位：河南省计量科学研究院参加起草单位：中原量仪股份有限公司
辽宁省计量科学研究院
上海市计量测试技术研究院
本规范委托全国几何量工程参量计量技术委员会负责解释 JJF1331—2011
本规范主要起草人：
黄玉珠（河南省计量科学研究院）贾晓杰（河南省计量科学研究院）范乃胤 (河南省计量科学研究院)
参加起草人：
于振溪（中原量仪股份有限公司）石作德（辽宁省计量科学研究院）姜志华（上海市计量测试技术研究院） JJF1331—2011
目 录
引言 1 范围· 2 引用文件 3 术语..·
(IⅡ) (1) (1) (1) (1) (2) (2) (2) (2) (2) (2) (2) (3) (3) (3) (3) (3) (3) (3) (8) (8) (9)
概述· 5 计量特性 5.1 零位平衡· 5. 2 漂移 5.3 示值变动性 5. 4 轴向测头测杆径向受力对示值的影响 5. 5 测力及测力变化 5.6 示值误差 5. 7 “和”与“差”演算示值误差
4
校准条件 6.1 环境条件 6.2 校准用设备
6
校准项目和校准方法 7. 1 校准项目.. 7. 2 校准方法· 8校准结果的表达 9
复校时间间隔附录A配对法校准示值误差计算示例附录B0.01um挡位数显式电感测微仪示值误差测量结果的不确定度评定.....（10）
(13) (16)
附录C0.1um挡位数显式电感测微仪示值误差测量结果的不确定度评定... 附录D校准证书内容及内页格式
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引言
JJF1071一2010《国家计量校准规范编写规则》、JJF1001一1998《通用计量术语及定义》、JJF1059一1999《测量不确定度评定与表示》、JJF1094一2002《测量仪器特性评定》、JJG396一2002《电感测微仪》共同构成支撑校准规范制修订工作的基础性系列规范。
与JJG396一2002《电感测微仪》相比，除编辑性修改外，本规范主要技术变化如下：
将检定规程改为校准规范进行修订；一取消了“鉴别力”、“响应时间”计量特性要求；一对“测力”计量特性要求的校准方法进行了修改，增加了测力变化的要求；将对“示值稳定度”的描述改为“漂移”，修改了数显电感测微仪漂移的技术
指标；将原规程中用2等量块以配对法或直接法对示值误差校准改为用量块（2等或
一
3等）进行；一增加了附录B，C，D。
一
JJG396一2002的历次版本发布情况为：
JJG396—1985，JJG804—1993。
II JJF1331—2011
电感测微仪校准规范
1范围
本规范适用于分辨力（分度值）（0.01～10）μm、标称范围（一1000～十1000）μm 电感测微仪的校准。
2引用文件
GB/T26094—2010电感测微仪 GB/T26095一2010电子柱电感测微仪 GB/T26097—2010数显电感测微仪凡是注日期的引用文件，仅注日期的版本适用于本规范；凡是不注日期的引用文
件，其最新版本（包括所有的修改单）适用于本规范。
3术语 3.1零位平衡zerobalance
在转换电感测微仪量程挡位时，各挡零位示值的一致性。
3.2示值变动性thevariationindication
在相同测量条件下，仪器对同一被测量进行多次重复测量其结果之间的最大差异。
4概述
电感测微仪是一种测量微小位移量的高准确度测量仪器，它由轴向或旁向电感传感器（测头）将位移量转换成电信号，通过显示装置将被测量显示出来。电感测微仪按显示装置的不同分为数显式、指针式和电子柱式三种型式。其外形见图1、图2、图3。
2、 3
19998
图1 数显式电感测微仪
1一数字表：2一测量功能选择开关：3一量程转换开关：4一放大倍数调整旋钮：5一零位调整旋钮：6一轴向测头
3
图2指针式电感测微仪
1一指针；2一指示表；3一放大倍数调整旋钮；4一量程转换开关：5一测量功能选择开关；6一轴向测头
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0
.10
图3电子柱式电感测微仪
1一量程转换开关；2一平衡电位器；3一放大倍数调整旋钮；4一“_”超指示灯；5一合格指示灯；
6一“+”超指示灯；7一“十”超量程指示灯；8—指示光柱；9一 “一”超量程指示灯；
10一零位调整旋钮；11一轴向测头
5计量特性 5.1零位平衡
零位平衡不超过表1的规定。 5.2漂移
漂移不超过表1的规定。 5.3示值变动性
示值变动性不超过表1的规定。 5.4 轴向测头测杆径向受力对示值的影响
轴向测头测杆径向受力对示值的影响应不超过表1的规定。
表1计量特性
轴向测头测杆径向受力对示值的影响
电感测微仪的型式
漂移 μm 0. 2 0. 1 0. 2
零位平衡
示值变动性
μm 0.04 0.1 0. 2
0.03 μm
数显式指针式电子柱式
2个分辨力 1/2个分度值 1/3个分度值
1个分度值
1个分度值
5. 5 测力及测力变化
测力不大于设计规定值，测力变化不超过测力值的士20%。 5.6示值误差 5.6.1数显式电感测微仪分辨力为0.01um挡位的最大允许误差为士0.08um；其他各挡位的最大允许误差，按式（1）计算。
(1)
,=±0.3%（s;+l)
式中： S:- 校准点的标称值，um； l一一校准点挡位的量程，um。
2 JJF1331—2011
5.6.2指针式电感测微仪分度值为0.1um挡位的最大允许误差为士0.10um；其他各挡位的最大允许误差按式（2）计算。
(2)
o:=±1%（s+1)
式中：
校准点的标称值，um； l校准点挡位的量程，um。
S;
5.6.3电子柱式电感测微仪各挡位最大允许误差不超过1个分度值。 5.7 “和”与“差”演算示值误差
“和”与“差”演算的示值误差不超过演算范围的1%。 注：以上指标不是用于合格性判别，仅供参考。
6校准条件 6.1环境条件 6.1.1校准室温度（20士1）℃，温度变化不大于0.5℃/h，相对湿度不大于80%。 6.1.2校准室内应无影响测量的灰尘、振动、噪音、腐蚀性气体及较强磁场的影响。 6.1.3校准用的电源应避免电压突变。 6.2校准用设备
校准用设备见表2。
表2校准项目和校准用设备
序号 1 2 3 4 5 6 7
校准项目零位平衡
设备名称及计量特性
测量台架测量台架，3等量块测量台架，3等量块
漂移示值变动性
测量台架，分度值0.01N测力计
轴向测头测杆径向受力对示值的影响
测力仪MPE：±1% 2等、3等量块，测量台架 2等、3等量块，测量台架
测力及测力变化
示值误差
“和”与“差”演算示值误差
校准项目和校准方法校准前，电感测微仪和校准用器具等温平衡时间不少于4h，并使电感测微仪通电
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预热大于30min。用旁向测头校准时，其测杆轴线应和台架工作面的垂直方向垂直
首先检查外观和各部分的相互作用，确定没有影响校准计量性能的因素后再进行校准。 7.1校准项目
校准项目见表2。 7.2校准方法 7.2.1零位平衡
在仪器放大倍数正确的情况时，将测头安装在测量台架（以下简称台架）上，使测
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