ICS 13.040.35 C 70
GB
中华人民共和国国家标准
GB/T25915.8—2010/ISO14644-8:2006
洁净室及相关受控环境第8部分：空气分子污染分级
Cleanroomsandassociatedcontrolledenvironments- Part8:Classificationof airbornemolecularcontamination
(ISO14644-8:2006,IDT)
2011-06-01实施
2011114发布
中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局中国国家标准化管理委员会
发布 GB/T25915.8—2010/ISO14644-8:2006
目 次
前言引言
范围 2 规范性引用文件 3 术语和定义分级
1
2
7
5 合格的证明附录A（资料性附录） 所需考虑的因素附录B（资料性附录） 常见污染物附录C（资料性附录） 常用测量方法附录D（资料性附录） 隔离装置的特殊要求参考文献
O
11 14
15 GB/T25915.8—2010/ISO14644-82006
前言
GB/T25915《洁净室及相关受控环境》分为八个部分：
第1部分：空气洁净度等级；第2部分：证明持续符合GB/T25915.1的检测与监测技术条件；第3部分：检测方法；第4部分：设计、建造、启动；第5部分：运行；第6部分：词汇；第7部分：隔离装置（洁净风罩、手套箱、隔离器、微环境）；第8部分：空气分子污染分级。
本部分是GB/T25915的第8部分。 本部分按照GB/T1.1-一2009给出的规则起草。 本部分使用翻译法等同采用ISO14644-8：2006《洁净室及相关受控环境第8部分：空气分子污染
分级》。
本部分由全国洁净室及相关受控环境标准化技术委员会（SAC/TC319)提出并归口。 本部分由中国电子工程设计院、北京世源希达工程技术公司、北京希达建设监理有限责任公司负责
起草，中电投工程研究检测评定中心、苏州华泰空气过滤器有限公司、苏州市恩威特环境技术有限公司、 美埃净化科技（上海）有限公司参加起草。
本部分主要起草人：王尧、蔡杰、王大千、张利群、张申元、徐勤、刘卫红、徐小浩、张凯、叶伟强、姚东、 秦学礼、吕希洲、刘玥。 GB/T25915.8—2010/ISO14644-8:2006
引言
洁净室及相关受控环境将空气中的颗粒物控制在适当的水平，以完成对污染敏感的作业。航空航天、微电子、制药、医疗器械、食品、医疗卫生等行业的产品和工艺受益于对空气污染的控制。
有些行业存在源自外部、工艺、或其他来源的空气分子污染，它们会影响甚至破坏产品或工艺 GB/T25915的本部分中，悬浮于空气中的分子用空气分子污染（AMC)表示。分子污染分3阶段
第一阶段是“产生”，即外部源、工艺的泄漏、建筑材料或人身上材料的气体释放；第二阶段是AMC的 “传播”；第三阶段是敏感表面的“吸附”，此阶段的表面分子污染（SMC)可以量化
除了实际AMC外，释放气体的材料及吸附表面对“产生”和“吸附”2个阶段也有很大的影响。因此，对于这两个阶段，不仅需明确AMC，还需明确所涉及的材料和表面。为了制定适用于各类洁净室及相关受控环境的通用标准，选择对AMC进行分级。
在洁净室及相关受控环境中的分子污染危害产品或工艺的场合，本部分所确定的ISO等级用来规定其中的AMC浓度限值。
为分级的目的，本部分局限于规定AMC的浓度范围，并考虑到化合物、检测和分析方法、时间加权
系数等因素给出规定浓度的标准规程。
本部分包含下述资料性附录：
附录A：需要考虑的参数；一附录B：常见污染化学品和物质；附录C：常用测量和分析方法；
一
附录D：隔离装置的特殊要求。 本部分是有关洁净室与污染控制GB/T25915标准中的一部分。洁净室及受控环境的设计、技术
一
要求、运行和控制中，除AMC外，尚有许多其他需要考虑的因素，那些问题包含在SAC/TC319编制的其他国家标准中。要特别注意GB/T25916（所有部分）。有些情况下，相关管理机构可能会规定某些补充政策或限制，此时可能需要对本部分进行适当修改。
II GB/T25915.8—2010/ISO14644-8:2006
3. 1. 4
污染物类别contaminantcategory 沉积在关注表面时有特定和类似危害结果的一组化合物的统称。
3.1.5
释放气体outgassing 从材料中释放气态或蒸气态分子物质。
3.2污染物类别 3. 2. 1
酸acid 以接受电子对并建立新化学键为化学反应特性的物质
3.2.2
碱base 以给出电子对并建立新化学键为化学反应特性的物质。
3.2.3
生物毒素 biotoxic 危害生物、微生物、生物组织或细胞个体的生长与存活的物质。
3. 2. 4
可凝聚物 condensable 可在洁净室运行状态下因凝聚而沉积在表面上的物质
3.2.5
腐蚀剂 corrosive 使表面产生破坏性化学变化的物质
3.2.6
掺杂物 dopant 经产品本体吸收或（和）经扩散后
使为微量亦可改变材料特性的物质。
3.2.7
有机物organic 以碳为基本元素，含氢，含或不含氧、氮等其他元素的物质。
3.2.8
氧化剂 oxidant 沉积在关注表面或产品上后，形成氧化物（O，/O，）或参与氧化还原反应的物质。
4分级
4.1概述
应按4.2给出的分级描述符表示分级。描述符的形式为“ISO-AMC”，它规定了空气中某类污染物、某种污染物、或某组污染物的最大允许浓度。 4.2ISO-AMC描述符格式
应依据相应的ISO-AMC描述符确定洁净室或相关受控环境中关注的某类污染物、某种污染物、或某组物质的AMC等级。
ISO-AMC描述符的格式为：
2 GB/T25915.8—2010/IS014644-8:2006
浓度/(g/m3)
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-10
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X1
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00
2
02
E
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图1浓度与ISO-AMC等级的关系
5合格的证明
5.1原理
通过执行供需双方协议商定的检测规程，并提供检测结果和检测条件的规定文件，来验证其符合需方规定的（ISO-AMC)等级要求 5.2检测
附录C列举了部分常用检测方法，所列方法并不详尽。可商议规定具有相同准确度的其他方法。 注1：不同的分析方法，即便使用正确，也能出现同样有效但不同的结果。 应采用合适的检测方法和经过校准的仪器进行合格性检测。 采样点位置应由需方与供方商定。 建议在商定的采样点进行重复采样。 注2：分析测量中，不是总能排除颗粒污染物的影响。 需方与供方应商定测前时间段，见A.4.3。
5.3检测报告
记录每个洁净室或相关受控环境的检测结果并提交综合性报告，报告中应写明与规定的ISO-AMC 等级相符，或与规定的ISO-AMC等级不符。