JJF
中华人民共和国国家计量技术规范
JJF 1806—2020
微小孔径测量仪校准规范
Calibration Specification for Measuring Equipment
of Diameter of Micro and Small Hole
2020-01-17发布
2020-04-17实施
国家市场监督管理总局发布 JJF1806—2020
微小孔径测量仪校准规范 Calibration Specification for Measuring Equipment of Diameter of Microand
JJF 1806—2020
Small Hole
归口单位：全国几何量工程参量计量技术委员会起草单位：哈尔滨工业大学
黑龙江省计量检定测试院
本规范委托全国几何量工程参量计量技术委员会负责解释 JJF1806—2020
本规范起草人：
谭久彬 乡（哈尔滨工业大学）崔继文（哈尔滨工业大学）崔俊宁 (哈尔滨工业大学）刘文滨 （黑龙江省计量检定测试院） JJF1806—2020
目 录
引言 1
(Ⅱ) (1) (1 ) (1) (1) (1) (1) (1) (1) (1) (2) (2) (2) (2) (3) (3) (3) (3) (3) (3) (4) (4) (5) (6) (6) (6) (6) (7) (8) (13) (14)
范围· 2 引用文件 3术语和计量单位· 3.1 瞄准触发· 3.2 瞄准触发测量· 3.3 微小孔· 3. 4 深径比 3.5 尺寸桥…
概述· 5 计量特性 5.1 X、Z轴运动的直线度 5.2X、Z轴运动的定位精度 5.3Y轴运动的最小有效位移 5. 4 重复性· 5. 5 示值误差 5.6激光干涉仪 6校准条件 6.1环境条件 6.2测量标准及其他设备· 7校准项目和校准方法 7.1X、Z轴运动的直线度 7. 2 X、Z轴运动的定位精度 7.3Y轴运动的最小有效位移 7.4重复性 7. 5 示值误差 8 校准结果表达 9 复校时间间隔附录A 微小孔径测量仪示值误差测量结果不确定度评定附录B 校准证书内容附录 C 校准证书内页格式
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I JJF1806—2020
引言
JJF1071《国家计量校准规范编写规则》、JJF1001《通用计量术语及定义》、 JJF1059.1一2012《测量不确定度评定与表示》、JJF1064一2010《坐标测量机校准规范》、JJF1094一2001《测量仪器特性评定》、JJF1130一2005《几何量测量设备校准中的不确定度评定指南》共同构成支撑本校准规范制定的基础性系列规范
本规范为首次发布。
Ⅱ JJF1806—2020
微小孔径测量仪校准规范
1范围
本规范适用于微小孔径测量仪的校准，该测量仪用于测量范围为（$0.1～Φ1）mm、 深度不超过3mm、深径比不大于9：1的微孔和测量范围为（Φ1～Φ20）mm、深度不超过150mm、深径比不大于13：1的小孔的测量。
2 引用文件
本规范引用了下列文件： JJG739—2005激光干涉仪 JJF1251一2010坐标定位测量系统校准规范 GB/T11336一2004直线度误差检测 GB/T17421.2一2016机床检验通则第2部分：数控轴线的定位精度和重复定
位精度的确定
凡是注日期的引用文件，仅注日期的版本适用于本规范；凡是不注日期的引用文件，其最新版本（包括所有的修改单）适用于本规范。
3术语和计量单位
3.1瞄准触发aimingandtriggering
传感器移动到测量方案所规定的指定位置时，发出“已瞄准”的信号，此信号启动测量仪的相关测量机构和部件开始或结束工作的过程。 3.2瞄准触发测量measurementwithaimingandtriggering
应用瞄准触发原理进行的测量。 3.3微小孔microand small hole
微孔和小孔的统称。微孔是指直径小于1mm的孔，小孔是指直径不小于1mm且不大于20mm的孔。 3.4深径比aspectratio
孔的深度和直径的比值。 3.5尺寸桥　gauge bridge
由量块按U型结构研合而成的标准尺寸体。
4概述
微小孔径测量仪（以下简称测量仪）是应用瞄准触发原理进行微小孔径测量的
仪器。
测量仪的典型结构如图1所示，其Z轴导轨和Y轴导轨位于工作台下方。
1 JJF1806—2020
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图1测量仪结构示意图
1一基座；2一立柱；3一干涉仪支座；4一激光干涉仪；5一反射镜架； 6一X轴导轨：7一滑架；8一传感器支架；9一瞄准触发传感器；10一工作台
常用的瞄准触发传感器（以下简称传感器）有光纤传感器和电容传感器。微孔测量推荐采用光纤传感器；小孔测量推荐采用电容传感器等非接触式传感器
光纤传感器和电容传感器推荐适用范围见表1。
表1传感器推荐适用范围
测量范围/mm 0.1≤D<1 1≤D≤20
传感器类型光纤传感器电容传感器工作时，首先调整被测孔轴线与测量仪Z轴平行，然后移动Y轴，将传感器测头
适用对象微孔小孔
深径比不大于9：1 不大于13：1
最大深度/mm
3 150
定位到被测孔直径测量线上。测量时，沿X轴移动测头到被测孔的一个端点，传感器在该位置发出瞄准触发信号，激光干涉仪清零；然后将测头移动到被测孔的另一个端点，传感器在此位置再次发出瞄准触发信号，激光干涉仪计数，则被测孔的直径为：
D=L+d
(1)
式中： D 被测孔直径； L一一激光干涉仪读数的绝对值； d 传感器测头的等效直径。
5计量特性 5.1X、Z轴运动的直线度
X、Z轴运动的直线度要求见表2。 5.2X、Z轴运动的定位精度
X、Z轴运动的定位精度要求见表2。 5.3Y轴运动的最小有效位移
Y轴运动的最小有效位移要求见表2。
2 JJF1806—2020
表2测量仪各运动轴计量特性要求
计量特性
技术要求
直线度定位精度直线度定位精度
不大于0.2μm/40mm
X轴运动
不大于0.1μm 不大于3.0μm/150mm
Z轴运动
不大于4.0μm 不大于0.3μm
Y轴运动的最小有效位移
5.4重复性
测量仪的重复性要求见表3。 5.5 示值误差
测量仪的最大允许误差见表3。
表3测量仪重复性与示值误差计量特性要求
计量特性重复性最大允许误差
技术要求不大于0.2μm
±0.8 μm
5.6激光干涉仪
激光干涉仪的检定按照JJG739一2005执行。 注：校准工作不判断合格与否，上述计量特性的指标仅提供参考。
6 校准条件 6.1环境条件
校准所需环境条件要求如下： a）室内温度：20℃士0.5℃，温度变化不超过士0.1℃/h。 b）室内湿度：30%RH～65%RH。 c）恒温时间：校准前测量仪与校准器具在校准实验室内恒温时间不小于8h。 d）其他要求：电源电压、气源气压与流量等应符合使用说明书的要求，测量仪周
围无影响校准的振源、电磁场干扰等。 6.2测量标准及其他设备
推荐使用表4所列测量标准及其他设备，允许使用满足测量不确定度要求的其他测量标准及其他设备进行校准。
表4测量标准及其他设备
序号 1 2 3
设备名称位移传感器平面平晶激光干涉仪
技术要求 MPE：±50nm D150mm，1级
MPE：±(0.03μm+0.5X10-6L)
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