JJF
中华人民共和国国家计量技术规范
JJF1682—2017
光栅式测微仪校准规范
Calibration Specification for Grating Micrometers
2017-11-20 发布
2018-05-20实施
国家质量监督检验检疫总局发布 JJF1682—2017
光栅式测微仪校准规范
JJF 1682—2017 代替JJG989—2004
Calibration Specificationfor
Grating Micrometers
归口单位：全国几何量工程参量计量技术委员会
主要起草单位：中国科学院光电技术研究所
中国测试技术研究院
参加起草单位：安徽省计量科学研究院
本规范委托全国几何量工程参量计量技术委员会负责解释 JJF1682—2017
本规范主要起草人：
曹学东（中国科学院光电技术研究所）龙（中国科学院光电技术研究所）冉庆 (中国测试技术研究院)
参加起草人：
范天泉（中国科学院光电技术研究所）马琳（安徽省计量科学研究院) 胡琦（中国科学院光电技术研究所） JJF1682—2017
目 录
引言 1 范围·
(Ⅱ) (1) (1) (1) (1 ) (1) (1) (1) (1) (1) (3) (3) (3) (3) (4) (5) (5) (5) (5) (5) (8) (8) (8) (9) (13) (16) (19)
引用文件· 3 术语·. 3.1示值误差范围.·
2
概述 5 计量特性· 5. 1 测力 5. 2 测杆受径向力引起的示值变化 5.3 重复性· 5. 4 示值误差范围 5. 5 漂移· 6 校准条件 6.1 环境条件 6.2 校准项目和校准用标准器。
4
：
校准方法 7. 1 测力· 7. 2 测杆受径向力引起的示值变化 7.3 重复性 7. 4 示值误差范围 7. 5 漂移 8 校准结果表达 9 复校时间间隔，附录A 示值误差范围校准不确定度评定（测长装置法）附录B 示值误差范围校准不确定度评定（量块-测微仪检定器组合法）附录C示值误差范围校准不确定度评定（量块测量法）附录 D 校准证书内容及内页格式
.
- JJF1682—2017
引言
本规范的编写以JJF1071一2010《国家计量校准规范编写规则》、JJF1001一2011 《通用计量术语及定义》和JJF1059.1一2012《测量不确定度评定与表示》为基础和依据。
本规范替代JJG989一2004《光栅式测微仪》。 与JJG989一2004相比，除编辑性修改外，本规范主要技术变化如下：
本规范取消了“外观”“各部分相互作用”及“抗干扰性”三项通用技术要求；一本规范将准确度级别由“××级”改为“××um级”的形式，并增加了
“0.1um级”及“o.2um级”两种准确度级别；
本规范将示值误差的校准改为示值误差范围的校准；一本规范将示值误差的测量方法由固定零点改为浮动零点形式；本规范在示值误差范围校准方法中增加了“量块测量法”。
本规范的历次版本发布情况：
JJG989—2004。
II JJF1682—2017
光栅式测微仪校准规范
1范围
本规范适用于0.1um级行程为0~10mm、0.2μm级行程为0~25mm、0.5μm 级行程为050mm、1um级～10um级行程为0~100mm的光栅式测微仪校准。
引用文件
2
本规范引用下列文件： JB/T10030—2012光栅线位移测量装置 JB/T10080.2一2011光栅线位移测量系统第2部分：光栅线位移传感器凡是注日期的引用文件，仅注日期的版本适用于本规范；凡是不注日期的引用文
件，其最新版本（包括所有的修改单）适用本规范。
3术语
3.1示值误差范围rangeofindicationerror
指示值误差中最大者与最小者之差。
4概述
光栅式测微仪（以下简称测微仪）也称光栅测微仪、光栅长度计或光电测长仪，是以光栅副作为测量元件，将线位移量转换为光电信号，经电路处理并以数学显示位移量的一种长度精密测量仪器。测微仪按其结构分为整体式和分体式两类。整体式测微仪的传感器与显示单元在一整体上。分体式测微仪主要由传感器（含信号电缆）和数显表两部分组成。整体式测微仪结构示意图见图1。分体式测微仪结构示意图见图2。
5计量特性
5.1测力
按厂家说明书或其他技术文件给出的限定值校准。
5.2测杆受径向力引起的示值变化
按厂家说明书或其他技术文件给出的限定值校准。 5.3重复性
重复性应符合表1规定。
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+10.000
3
1
图 1 整体式测微仪结构示意图
1一测杆；2一装夹套筒；3—测微仪主体；4一显示单元
15.7698
3
具 U 图2分体式测微仪结构示意图
1一测杆；2一装夹套筒；3—测微仪主体；4—数显表
2 JJF1682—2017
表1 重复性及示值误差范围要求
重复性/μm ≤0.01 ≤0.02 ≤0.05 ≤0.1 0.2 ≤0.5
准确度级别 0.1μm级 0.2μm级 0.5μm级 1μm级 2μm级 5μm级 10μm级
示值误差范围/μm
≤0.1 M0.2 ≤0.5 《1 ≤2 N5 ≤10
≤1
5. 4 示值误差范围
示值误差范围应符合表1规定。 5. 5 漂移
漂移应符合表2规定
表2漂移要求
K≥0.5μm ≤2个分辨力
K≤0.01 μm ≤10个分辨力
分辨力K 1h内漂移
0.5 μm>K>0.01 μm
≤5个分辨力
注：校准不判定合格与否，上述计量特性指标仅供参考。 6 校准条件 6.1 环境条件 6.1.1 校准室的温度、温度变化及被校测微仪和校准用标准器平衡温度时间应满足表 3的要求。
表3 校准室的温度、 温度变化及被校测微仪和校准用标准器平衡温度时间要求准确度级别
校准室内温度/℃ 温度变化量/（℃/h）
平衡温度时间/h
0.1μm级 0.2μm级 0.5μm级 1μm级 2μm级 5μm级 10μm级
≥8 ≥8 ≥8 ≥4 ≥4 ≥4 ≥4
20±0.2 20±0.2 20±0.5 20±0.5 20±1 20±2 20±2
M0.1 ≤0.1 M0.2 M0.2 ≤0.5 ≤1 1
6.1.2 校准室内应无影响测量的振动、噪音和空气波动，放置被校仪器的工作台应稳固、可靠。校准应在被校测微仪开机稳定后进行。
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