JJF
山东省地方计量技术规范
JJF（鲁）127—2022
接触（触针）式表面轮廓测量仪
校准规范
Calibration Specification for Contact (Stylus) Surface Contour Tester
2022—06—24发布
2022—07—01实施
山东省市场监督管理局 发布 JJF（鲁） 127—2022
接触（触针）式表面轮廓测量仪
校准规范
JJF (鲁) 127
2022
CalibrationSpecificationforContact(Stylus)
SurfaceContourTester
归口单位：山东省几何量计量技术委员会
主要起草单位：山东省计量科学研究院
山东省计量检测中心
参加起草单位：威海市产品质量标准计量检验研究院
本规范委托山东省几何量计量技术委员会负责解释 JJF（鲁） 127—2022
本规范主要起草人：
何庆雨（山东省计量检测中心）
张健（山东省计量科学研究院）臧军 (山东省计量检测中心) 参加起草人：刘大忠（山东省计量科学研究院）孙磊 （山东省计量检测中心) 唐莹（山东省计量科学研究院）迟军科（威海市产品质量标准计量检验研究院） JJF（鲁） 127—2022
目 录
引言 1 范围. 2 引用文件. 3 概述， 4 计量特性 4.1 基准导轨直线度 4.2轮廓垂直分量（Z轴）示值误差. 4.3轮廓水平分量（X轴）示值误差. 4.4圆弧半径测量示值误差 4.5圆弧半径测量重复性 4.6角度测量示值误差. 4.7角度测量重复性. 5 校准条件.. 5.1 环境条件. 5.2 测量标准及其它设备 6 校准项目和校准方法. 6.1 基准导轨直线度. 6.2轮廓垂直分量（Z轴）示值误差 6.3轮廓水平分量（X轴）示值误差. 6.4圆弧半径测量示值误差.. 6.5圆弧半径测量重复性 6.6角度测量示值误差... 6.7角度测量重复性 7校准结果表达.. 7.1校准证书. 7.2复校时间间隔. 附录A轮廓垂直分量（Z轴）示值误差测量结果的不确定度评定示例. 附录B校准原始记录信息及格式附录C 校准证书内页信息及格式
(II) (1) (1) (1) (2) (2) (2) (2) (2) (2) (2) (2) (2) (2) (2) (2) (3) (3) (3) (3) (4) (4) (5) (5) (5) (6) (7) (9) (11)
- JJF（鲁）127—2022
引言
JJF1071-2010《国家计量校准规范编写规则》、JF1001-2011《通用计量术语及定义》 JJF1059.1-2012 《测量不确定度评定与表示》共同构成支撑本校准规范制定工作的基础性系列规范。
本规范为首次发布。
II JJF（鲁）127—2022
接触（触针）式表面轮廓测量仪校准规范
1范围
本规范适用于接触（触针）式表面轮廓测量仪的校准。
2引用文件
本规范引用了下列文件： GB/T6062-2009产品几何技术规范（GPS）表面结构轮廓法接触（触针）式仪器的
标称特性
GB/T19600-2004产品几何技术规范（GPS）表面结构轮廓法接触（触针）式仪器的校准
JB/T11271-2012接触（触针）式表面轮廓测量仪凡是注日期的引用文件，仅注日期的版本适用于本规范；凡是不注日期的引用文件，
其最新版本（包括所有的修改单）适用于本规范。 3概述
接触（触针）式表面轮廓测量仪（以下简称“轮廓仪”）一般由传感器、驱动箱、立柱、电子信号处理装置、计算机和打印机等组成。其工作原理是仪器的驱动箱带动传感器沿被测表面作匀速滑行，传感器通过触针感受被测表面的几何形状变化，并转化成电信号，该信号经放大和处理后转换成数字信号，再由软件系统分析处理得到需要测量的几何参数轮廓仪主要用于测量机械零部件的二维形状和位置参数，如角度、直线度、曲面曲率半径、 线轮廓度等。典型的仪器结构见图1。
图1接触（触针）式表面轮廓测量仪
1一底座；2一工作台；3一触针；4一基准导轨；5一立柱；
6驱动箱；7一传感器；8一计算机系统 JF（鲁）127—2022
4计量特性 4.1基准导轨直线度
基准导轨直线度可用任意指定测量长度基准导轨直线度和全行程基准导轨直线度两种方式表述。 4.2轮廓垂直分量（Z轴）示值误差 4.3轮廓水平分量（X轴）示值误差 4.4圆弧半径测量示值误差 4.5圆弧半径测量重复性 4.6角度测量示值误差 4.7角度测量重复性 5校准条件 5.1环境条件 5.1.1校准实验室温度：（20±3）℃，相对湿度不超过65%； 5.1.2校准室内应无影响测量的灰尘、振动、噪音、气流、腐蚀性气体和较强磁场； 5.1.3被校仪器及测量标准在室内连续平衡温度的时间不少于2h； 5.1.4校准前，被校仪器连续通电预热时间应不少于30min。 5.2测量标准及其他设备
轮廓仪校准项目和测量标准见表1，也可采用满足测量准确度要求的其他标准器进行校准。
表1校准项目和测量标准
序号 1 2 轮廓垂直分量（Z轴）示值误差 3 轮廓水平分量（X轴）示值误差
校准项目
测量标准及技术要求
基准导轨直线度
1级平面平晶或长平晶量块，3等；1级平面平晶或长平晶激光干涉仪，MPE:±（0.03μm+1.5×10-L）标准球或标准半球，U≤2.0μm（k=2）标准球或标准半球，U<2.0um（k-2）角度块，2级角度块，2级
圆弧半径测量示值误差
4 5 圆弧半径测量重复性 6 角度测量示值误差
角度测量重复性
7 6 校准项目和校准方法
校准前，应确认仪器无影响使用性能的锈蚀、碰伤等缺陷；各活动部件运动应平稳灵活，无卡滞、跳动和爬行现象；紧固部件作用有效、可靠；可调部分应有足够的调整范围。确定无影响校准计量特性的因素后再校准，允许采用满足测量不确定度要求的其他校
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