JJF
福建省地方计量技术规范
JJF（闽）1043—2011
接触（触针）式表面轮廓测量仪校准规范
Calibration Specification for
Contact （Stylus）Surface ContourTester
2011-6-10发布
2011-6-10实施
福建省质量技术监督局发布 接触（触针）式表面轮廓
测量仪校准规范
JJF（闽）1043—2011
CalibrationSpecificationforContact （Stylus）SurfaceContourTester
本规范经福建省质量技术监督局于2011年6月10日批准，并自2011年6
月10日起施行。
归口单位：福建省质量技术监督局
主要起草单位：福建省计量科学研究院
本规范委托起草单位负责解释。 本规范主要起草人：
林景星 （福建省计量科学研究院）张建群 （福建省计量科学研究院）王朝阳 （福建省计量科学研究院）陈晓燕 （福建省计量科学研究院） 目 录
(1) (1) (1) (2) (2) (2) (2) (2) (2) (2) (2) (2) (3) (3) (3) (3) (3) (3) (4) (4) (4) (4) (4) (4) (5) (5) (5) (5) (6) (9) (18)
1范围· 2引用文件 3术语 4概述 5计量特性…· 5.1外观.· 5.2静态测量力 5.3基准导轨直线度 5.4轮廓垂直分量（Z轴）示值误差 5.5轮廓水平分量（X轴）示值误差 5.6半径测量示值误差· 5.7半径测量重复性 5.8角度测量示值误差 5.9角度测量重复性 6校准条件· 6.1环境条件 6.2标准器及其它设备 7校准项目和校准方法 7.1静态测量力? 7.2基准导轨直线度 7.3轮廓垂直分量（Z轴）示值误差 7.4轮廓水平分量（X轴）示值误差 7.5半径测量示值误差· 7.6半径测量重复性 7.7角度测量示值误差 7.8角度测量重复性 8校准结果表达 9复校时间间隔附录A校准记录和校准证书校准结果内页（式样）附录B轮廓仪示值误差校准结果不确定度评定（示例)·. 附录C极差系数C数值表 引言
本规范参照GB/T19600-2004《产品几何量技术规范（GPS）表面结构轮廓法接触（触针）式仪器的校准》、GB/T6062-2009《产品几何技术规范（GPS）表面结构轮廓法接触（触针）式仪器的标称特性》和接触（触针）式仪器使用说明书制定，其编写格式执行JJF1071-2010《国家计量校准规范编写规则》
由于国家标准没有规定技术指标，各个制造厂技术指标不统一。本规范要求的计量特性技术要求（最大允许误差）采取：“验收检验时，按照合同规定；校准时，由用户规定”。
本规范用于接触（触针）式表面轮廓测量仪的校准，为保证其量值的准确可靠而制定的校准技术规范。 接触（触针）式表面轮廓测量仪校准规范
1范围
本规范适用于以扫描法测量工件表面二维形状、位置参数的接触（触针）式表面轮廓测量仪（以下简称“轮廓仪”）的校准。
2引用文件
本规范引用了下列文件： GB/T3505-2009产品几何技术规范（GPS）表面结构轮廓法表面结构的
术语、定义及参数
GB/T6062-2009产品几何技术规范（GPS）表面结构轮廓法接触（触针）式仪器的标称特性
GB/T10610-2009产品几何技术规范（GPS）表面结构轮廓法评定表面结构的规则和方法
GB/T17163-2008几何量测量器具术语基本术语 GB/T19067.1-2003产品几何量技术规范（GPS）表面结构轮廓法测量标
准第1部分实物测量标准
GB/T19600-2004产品几何量技术规范（GPS）表面结构轮廓法接触（触针）式仪器的校准
JJF1059测量不确定度评定与表示 JJF1071-2010国家计量校准规范编写规则凡是注日期的引用文件，仅注日期的版本适用于本规范；凡是不注日期的引
用文件，其最新版本（包括所有的修改单）适用于本规范。
3术语
GB/T6062-2009、GB/T17163-2008中界定的及下列术语和定义适用于本规
范。 3.1接触（触针）式表面轮廓测量仪（Contact（Stylus）SurfaceContourTester）
以直线导轨为基准，触针沿工件表面运动，记录被测表面轮廓曲线，计算并评定被测轮廓的尺寸、角度、圆弧半径等二维形状、位置参数的测量仪器。
1 3.2坐标系（CoordinateSystem）
表面轮廓参数的坐标系采用直角坐标系，X轴与基准导轨方向一致（轮廓的水平方向），Z轴与X轴垂直的铅垂面（轮廓的垂直方向）。
4概述
轮廓仪一般由传感器、驱动箱、电子信号处理装置、计算机系统等组成（见图1)。
-
間
1一底座；2一工作台；3一触针；4一基准导轨；5一立柱： 6一驱动箱；7一传感器；8一电子信号处理装置；9一计算机系统。
图1接触（触针）式表面轮廓测量仪示意图
其工作原理是：仪器的触针在被测轮廓表面滑移，传感器通过锐利触针感受被测表面的几何形状变化，并转换成电信号。该信号经放大和处理，再转换成数字信号贮存在计算机系统的存贮器中。计算机对此原始轮廓的数字信号进行数字滤波，并计算其参数。轮廓仪可用于测量各种机械零件素线形状和截面轮廓形状。 如：凸出量、曲面曲率半径、直线度、平行度、倾斜度、角度等。 5计量特性 5.1各部分部件相互作用：轮廓仪各活动部件运动应平稳、灵活，无卡滞、跳动和爬行等现象；紧固部件作用有效、可靠；可调部分应满足测量要求 5.2静态测量力。 5.3基准导轨直线度。 5.4轮廓垂直分量（Z轴）示值误差。 5.5轮廓水平分量（X轴）示值误差。 5.6半径测量示值误差。 5.7半径测量重复性。
2 5.8角度测量示值误差。 5.9角度测量重复性。
以上计量特性的最大允许误差：
校准时，由用户规定；验收检验时，按照合同规定。
6校准条件
6.1环境条件 6.1.1校准室内温度应在（20土3）℃范围内，相对湿度不超过65%。 6.1.2校准室内应无影响测量的灰尘、振动、气流、腐蚀性气体和较强磁场 6.1.3被校仪器及校准用测量标准及其他设备在室内连续平衡温度的时间不少于 1h. 6.2测量标准及其他设备
校准用测量标准及其他设备见表1。
表1校准用测量标准及其他设备校准项目
序号 1 2 基准导轨直线度
测量标准及其他设备
中准确度等级电子天平，其分辨力为 0.01g 1级平面平晶
静态测量力
轮廓垂直分量（Z轴）示值误差轮廓水平分量（X轴）示值误差半径测量示值误差
4等量块，2级平面平晶
3
激光干涉仪，MPE：±（0.03+1.5L）um 半径和形状经校准的标准球或标准半球(R10mmR20m和R70mm~R90mm 各一个)
4
5 6 半径测量重复性
角度测量示值误差角度测量重复性
7 9
四等棱体
注：也可采用满足测量准确度要求的其它测量标准及其他设备进行校准。
校准项目和校准方法
7
检查轮廓仪各部分相互作用，确定没有影响校准计量特性的因素后按7.1～
7.8校准。也可采用满足测量准确度要求的其它校准方法进行校准。校准前，被校仪器连续通电预热时间不少于30min。
3