ICS17.040.20 J 04
GB
中华人民共和国国家标准
GB/T 33523.701—2017/ISO25178-701:2010
产品几何技术规范（GPS）
表面结构 区域法
第701部分：接触（触针）式仪器的
校准与测量标准
Geometrical product specifications (GPS)Surface texture : Areal- Part 7o 1 : Calibration and measurement standards for contact (stylus)
instruments
(ISO25178-701:2010,IDT)
2017-02-28发布
2017-09-01实施
中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局
中国国家标准化管理委员会 发布 GB/T33523.701—2017/IS025178-701:2010
前言
GB/T33523《产品几何技术规范（GPS）表面结构区域法》分为如下部分：
第2部分：术语、定义及表面结构参数：第3部分：规范操作集：
.
一第6部分：表面结构测量方法的分类； -第7部分：软件测量标准；一第601部分：接触（触针）式仪器的标称特性：一第602部分：非接触（共聚焦色差探针）式仪器的标称特性： -第603部分：非接触（相移于涉显微镜）式仪器的标称特性；一第604部分：非接触（相干扫描干涉）式仪器的标称特性：
第605部分：非接触（点自动对焦）式仪器的标称特性：第701部分：接触（触针）式仪器的校准与测量标准。
本部分为GB/T33523的第701部分本部分按照GB/T1.1一2009给出的规则起草。 本部分等同采用ISO25178-701：2010《产品几何技术规范（GPS）表面结构区域法第701部
分：接触（触针）式仪器的校准与测量标准》。
与本部分中规范性弓用的国际文件有一致性对应关系的我国文件如下：
-GB/T6062一2009产品几何技术规范（GPS）表面结构轮廓法接触（触针）式仪器的计量特性（ISO3274：1996,IDT) GB/T18618—2009产品几何技术规范（GPS）表面结构轮廓法图形参数（ISO12085： 1997.IDT) GB/T18779.2一2004产品几何技术规范（GPS）工件与测量设备的测量检验第2部分：测量设备校准和产品检验中GPS测量的不确定度评定指南（ISO/TS14253-2：1999，IDT） GB/T19067.2一2004产品几何量技术规范（GPS）表面结构轮廓法测量标准第2部分：软件测量标准（ISO5436-2：2001，IDT） GB/T24630.1—2009产品几何技术规范（GPS） 平面度 第1部分：词汇和参数（ISO） TS12781-1:2003.IDT) GB/T24631.1—2009产品几何技术规范（GPS） 直线度 第1部分：词汇和参数（ISO TS12780-1:2003.IDT) GB/I24632.1一2009产品儿何技术规范（GPS） 圆度 第1部分：词汇和参数（ISO TS 12181-1:2003) GB/T33523.601一2017产品几何技术规范（GPS） 表面结构 寸区域法第601部分：接触（触针）式仪器的标称特性（ISO25178-601：2010，IDT）
请注意本文件的某些内容可能涉及专利。本文件的发布机构不承担识别这些专利的责任。 本部分由全国产品几何技术规范标准化技术委员会（SAC/TC240）提出并归口。 本部分起草单位：杭州长庚测量技术有限公司、北京时代之峰科技有限公司、哈尔滨量具刃具集团
有限责任公司、华中科技大学、中机生产力促进中心。
本部分主要起草人：赵军、郝建国、吕旭志、郎艳梅、刘晓军、陈景玉。
I GB/T33523.701—2017/IS025178-701:2010
产品几何技术规范（GPS）
表面结构区域法
第701部分：接触（触针）式仪器的
校准与测量标准
1范围
GB/T33523的本部分规定了区域法表面结构接触（触针）式仪器
用作测量标准的实物量具的特性；残余误差的评定方法；校准、验收和周期检定的检测方法
一
本部分适用于用来校准或检定区域法表面结构接触（触针）式仪器的实物测量标准。
2规范性引用文件
下列文件对于本文件的应用是必不可少的。凡是注日期的引用文件，仅注日期的版本适用于本文
件。凡是不注日期的引用文件，其最新版本（包括所有的修改单）适用于本文件。
GB/T19067.1一2003产品几何量技术规范（GPS）表面结构轮廓法测量标准第1部分：实物测量标准（ISO5436-1：2000，IDT）
GB/T19600一2004产品几何量技术规范（GPS）表面结构轮廓法接触（触针）式仪器的校准(ISO12179:2000.IDT)
ISO3274产品几何技术规范（GPS）表面结构轮廓法接触（触针）式仪器的计量特性（GeO metrical Product Specifications (GPS)Surface texture: Profile method-Nominal characteristics of contact(stylus) instruments)
ISO5436-2产品几何量技术规范（GPS）表面结构轮廓法测量标准第2部分：软件测量标准(Geometrical Product Specifications(GPS)Surface texture:Profile method; Measurement stand ards—Part 2:Software measurement standards)
ISO12085产品几何技术规范（GPS）表面结构轮廓法图形参数（GeometricalProduct Specifications(GPS)Surface texture : Profile methodMotif parameters)
ISO/TS12181-1产品几何技术规范（GPS）圆度第1部分：词汇和参数（GeometricalProduct Specifications(GPS)-Roundness-Part 1 : Vocabulary and parameters of roundness)
ISO/TS12780-1产品几何技术规范（GPS）直线度第1部分：词汇和参数（Geometrical Product Specifications(GPS)-Straightness-Part 1: Vocabulary and parameters of straightness)
ISO/TS12781-1产品几何技术规范（GPS）平面度第1部分：词汇和参数（Geometrical Product Specifications(GPS)-Flatness-Part 1 : Vocabulary and parameters of flatness)
ISO/TS14253-2产品几何技术规范（GPS）工件与测量设备的测量检验第2部分：测量设备校准和产品检验中GPS测量的不确定度评定指南（GeometricalProductSpecifications（GPS）一Inspec tion by measurement of workpieces and measuring equipment-Part 2 : Guide to the estimation of un- certainty in GPS measurement in calibration of measuring equipment and in product verification)
1 GB/T33523.701—2017/IS025178-701:2010
ISO25178-2产品几何技术规范（GPS）表面结构区域法第2部分：术语、定义及表面结构参数（Geometrical product specifications（GPS)—Surface texture:ArealPart 2：Terms definitions and surface texture parameters)
ISO25178-601产品几何技术规范（GPS）表面结构区域法第601部分：接触（触针）式仪器的标称特性［Geometrical product specifications（GPS)一Surfacetexture:Areal一Part 6ol：Nominal characteristics of contact(stylus) instruments
ISO/IEC指南99：2007国际计量学词汇基本和通用概念和术语［Internationalvocabularyof metrology-Basic and general concepts and associated terms(VIM)
3术语和定义
ISO3274,ISO25178-2、ISO25178-601和ISO/IECGuide99界定的术语和定义适用于本文件。
4总则
实物测量标准一般可用于两种不同的目的：
仪器计量特性的校准，以及测量不确定度的评定；确定被测量的修正因子，并据此对仪器进行调整。
两种目的的效果均取决于实物测量标准的计量特性本部分适用于这两种目的，但这些实物测量标准用于仪器系统误差的评定和修正更为适合。通过
对修正系数C*C，和C（见ISO25178-601）的评定来对X、Y和Z的值进行校准。
实物测量标准不能用于评价滤波的算法和参数计算的算法带来的误差，这些算法可利用软件测量
标准检测（见ISO5436-2、ISO25178-7）。
另外，本部分大多数实物测量标准均可用来验证和修正驱动单元X与驱动单元Y之间的垂直度偏差
GB/T19067.1定义的测量标准可用于轮廓参数的校准。 本部分为指导校准和测量标准的使用者，提供了评价测量标准特性的缺省方法，但测量标准的特性
及其测量方法应由其制造商提供。
5测量标准
5.1 类型
测量标准的类型（见表1）。
表1测量标准的类型
类型 ER1 ER2 ER3 ES
名称
由两条平行沟槽构成的测量标准由四条沟槽形成的矩形构成的测量标准由圆环沟槽构成的测量标准由球/平面构成的测量标准
2 GB/T33523.701—2017/ISO25178-701:2010
表1(续)
类型 Cs CG
名称
由轮廓图形构成的测量标准由交叉栅线构成的测量标准
选择测量标准时，其特性应与仪器的计量特性保持一致，因此5.2给出了每个测量标准重要特性的简要描述。 5.2 测量标准的描述 5.2.1 ER型：沟槽测量标准 5.2.1.1 基本特性
ER型测量标准包含两个及以上三角形沟槽，这些沟槽有以下特性：
沟槽深度d：沟槽两侧面的夹角α；沟槽两侧面的交线。
由沟槽两侧面的交线确定沟槽的平行度、垂直度以及沟槽间距。 夹角α应大于触针针尖圆锥角度。 沟槽底部圆弧半径rt应大于触针针尖圆弧半径rtip。 沟槽深度d见GB/T19067.1—2003中7.2。
5.2.1.2ER型测量标准的要求
该测量标准的设计特性应满足实际应用要求（如触针针尖的几何特性）。 以下几何特性不应对测量产生显著的影响：
相对于基准平面P的实际组成表面的平面度：沟槽的形状偏差；沟槽底部圆弧半径（r）；三角形两侧面的形状偏差：
一沟槽间的平行度；
沟槽间的垂直度；任意点处的局部斜率。
表面粗糙度不应影响测量。 沟槽或三角形（线、平面或圆柱）的平分线，名义上应垂直于基准平面P。 ER2型测量标准上可标注一个与沟槽成45°角的方向符号，以标明首选的测量方向。
5.2.1.3ER1型：由两条平行沟槽构成的测量标准 5.2.1.3.1用途
该测量标准用于校准测量仪器的垂直和水平放大倍数。
3 GB/T33523.701—2017/ISO25178-701:2010
5.2.1.3.2 设计特性
该测量标准具有两条平行的沟槽（见图1）
说明： d 沟槽深度：
沟槽间距：沟槽两侧面的夹角；基准平面；沟槽底部圆弧半径。
1
a P rf
图1由两条平行沟槽构成的ER1型测量标准
5.2.1.3.3被测量定义
被测量为： L：沟槽间距； d：沟槽深度，见GB/T19067.1—2003中7.2。
5.2.1.4ER2型：由四条沟槽形成的矩形构成的测量标准
5.2.1.4.1用途
该测量标准用于校准测量仪器：
垂直放大倍数a 水平放大倍数aa X轴与Y轴的垂直度△PER。
5.2.1.4.2 2设计特性
该测量标准由四条沟槽组成一个矩形（见图2）。
4 GB/T33523.701—2017/ISO25178-701:2010
说明： 1、2 d l1-l2 沟槽间距；
平行沟槽的对称轴线：沟槽深度；
沟槽间夹角；基准平面；沟槽底部圆弧半径。
0 P rf
图2由四条沟槽形成的矩形构成的ER2型测量标准
5.2.1.4.3 被测量定义
被测量为： 11~12:沟槽间距； d：沟槽深度，见GB/T19067.1—2003中7.2；：沟槽间夹角，定义为两对平行沟槽的对称轴线相交所成夹角（见图2）。
5.2.1.5ER3型：由圆环沟槽构成的测量标准
5.2.1.5.1用途
该测量标准用于校准测量仪器：
垂直放大倍数a；水平放大倍数aa X轴与Y轴的垂直度△PER。
5.2.1.5.2设计特性
本测量标准具有一个圆环沟槽（见图3）。 GB/T33523.701—2017/ISO25178-701:2010
0LDr
说明： A D P 基准平面；
沟槽深度：沟槽直径：
沟槽底部圆弧半径。
rf
图3由圆环沟槽构成的ER3型测量标准
5.2.1.5.3被测量定义
被测量为： Dt：沟槽直径，定义为沟槽两侧面相交圆的直径； d：沟槽深度，见GB/T19067.1—2003中7.2。
5.2.2ES型：由球/平面构成的测量标准 5.2.2.1 用途
该测量标准用于校准测量仪器：
垂直放大倍数α；水平放大倍数aa X轴与Y轴的垂直度APER；探测系统响应曲线F、F，触针的几何特性（H、L）；触针针尖圆弧半径ri 触针针尖圆锥角度。
5.2.2.1.1ES型测量标准的要求
以下几何特性不应对测量产生显著的影响：
相对于基准平面P的实际组成表面的平面度；相对于部分球S的实际组成表面的形状偏差；相对于基准平面P和部分球S的实际组成表面的表面粗糙度。
6